샘플 표면 상의 표면 특징들을 측정 및/또는 변경하기 위한 장치 및 방법

    公开(公告)号:KR20180039694A

    公开(公告)日:2018-04-18

    申请号:KR20187006924

    申请日:2016-08-18

    CPC classification number: G01Q70/02 G01Q70/06

    Abstract: 본문헌은샘플의표면아래또는위의표면특징들및/또는서브-표면특징들을측정및/또는변경하기위한장치를기술한다. 시스템은샘플캐리어, 하나이상의헤드들, 및지지구조를포함한다. 지지구조는위치레퍼런스를제공하기위한레퍼런스표면을포함한다. 헤드들은샘플캐리어및 지지구조와분리되어있고, 장치는개별적인작업위치들에헤드들을위치시키기위해배열된픽 앤플레이스매니퓰레이터를더 포함한다. 매니퓰레이터는그리퍼및 그리퍼를이동시키는액츄에이터를포함하고, 액츄에이터는레퍼런스표면에가로지르는방향으로움직임을제공하기위해배열된다. 그리퍼는가로지르는방향으로부터개별적인헤드들을결합시키고해제하기위해배열된다. 본문헌은또한샘플의표면상의표면특징들을측정및/또는변경하는방법을기술한다.

    고종횡비 구조를 제조하는 장치 및 방법
    167.
    发明公开
    고종횡비 구조를 제조하는 장치 및 방법 审中-公开
    用于制造高纵横比结构的设备和方法

    公开(公告)号:KR20180030576A

    公开(公告)日:2018-03-23

    申请号:KR20187003673

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 기판면 상에필러(pillar)로형성된전류수집기를갖는리튬배터리를제조하는방법으로서, 상기방법은기판면 상에전기전도성필러를형성하는신장되고정렬된구조물을형성하는단계로서, 상기기판면에필러기저부터필러상단까지연장하는필러벽이직립되어있는것인, 단계;를포함하고; 상기필러는제1 전극, 고체상태전해질층; 제2 전극층, 및전극부분을형성하는탑스트레이트를포함하는라미네이트로피복되고; 상기제1 전극층, 제2 전극층 및탑스트레이트층의적어도하나는컨포멀하지않게피복됨으로써필러기저근처의제1 전극또는제2 전극으로의리튬인터칼레이션을예방하는것인, 방법.

    Abstract translation: 1。一种制造锂电池的方法,所述锂电池具有在基板表面上由柱形成的集流体,所述方法包括:形成细长且对准的结构以在基板表面上形成导电填料, 从填料底部延伸到填料顶部的填料壁是直立的; 所述填料包含第一电极,固态电解质层; 第二电极层和形成电极部分的顶部支柱; 其中第一电极层,第二电极层和顶片层中的至少一个被共形涂覆以防止锂嵌入到填料基底附近的第一或第二电极。

    샘플의 표면 위의 나노구조물들을 맵핑하기 위한 스캐닝 프로브 현미경 시스템 및 이를 위한 메트롤로지 프레임
    168.
    发明公开
    샘플의 표면 위의 나노구조물들을 맵핑하기 위한 스캐닝 프로브 현미경 시스템 및 이를 위한 메트롤로지 프레임 审中-公开
    一种扫描探针显微镜系统,用于在样品表面上绘制纳米结构以及为其测量框架

    公开(公告)号:KR20180030067A

    公开(公告)日:2018-03-21

    申请号:KR20187002966

    申请日:2016-07-14

    CPC classification number: G01Q30/20 G01Q70/04

    Abstract: 샘플의표면위의나노구조물들을맵핑하기위한스캐닝프로브현미경시스템은메트롤로지프레임, 프로브팁을포함하는센서헤드및 상기샘플표면에대하여상기프로브팁을스캔하기위한액추에이터를포함한다. 상기시스템은상기샘플을클램프하기위한클램프를포함하고, 상기클램프는상기메트롤로지프레임에고정되며상기센서헤드의아래에배열된다. 상기클램프는상기프로브팁의아래의클램핑구역에상기샘플을국소적으로클램프하기위해배열되고, 상기클램핑구역은상기샘플의일부만클램프하도록상기샘플의크기보다작다. 게다가, 설명된스캐닝프로브현미경시스템에사용하기위한메트롤로지프레임은샘플을클램프하기위한클램프를포함하고, 상기클램프는상기센서헤드의아래에배열되도록상기메트롤로지프레임에고정된다.

    Abstract translation: 用于将纳米结构映射到样品表面上的扫描探针显微镜系统包括计量框架,包括探针尖端的传感器头以及用于相对于样品表面扫描探针尖端的致动器。 该系统包括一个用于夹紧样品的夹具,夹具固定在计量框架上,并设置在传感器头下方。 夹具布置成将样本局部夹持在探针尖端下方的夹持区域中,夹持区域小于样本的尺寸以仅夹持样本的一部分。 另外,在所描述的扫描探针显微镜系统中使用的计量框架包括用于夹紧样本的夹具,并且夹具固定到计量框架以布置在传感器头下方。

    지지 표면 상에 스캔 헤드를 포지셔닝하기 위한 포지셔닝 암 및 방법
    170.
    发明公开
    지지 표면 상에 스캔 헤드를 포지셔닝하기 위한 포지셔닝 암 및 방법 审中-公开
    定位臂和用于将扫描头定位在支撑表面上的方法

    公开(公告)号:KR20180030079A

    公开(公告)日:2018-03-21

    申请号:KR20187003499

    申请日:2016-07-14

    CPC classification number: G01Q10/04 B23Q1/34

    Abstract: 본발명은표면에대해스캐닝프로브현미경장치와같은, 표면스캐닝특정장치의스캔헤드를위치시키기위한포지셔닝암에관한것이다. 포지셔닝암은베이스를갖는암을정적기준구조에장착하기위해, 포지셔닝암의제 1 단부에베이스를포함한다. 포지셔닝암은베이스로부터연장하는제 1 암부재및 제 2 암부재를더 포함하고, 제 2 암부재는제 1 암부재에평행하게연장된다. 암은암의제 2 단부에서브릿지부재를포함하고, 브릿지부재는제 1 암부재및 제 2 암부재를연결한다. 제 1 암부재및 제 2 암부재는힌지연결에의해상기베이스및 상기브릿지부재중 어느하나에각각연결된다. 포지셔닝암은측 방향변위를가로지르는방향으로포지셔닝암의제 2 단부를스윙시키기위해, 제 1 암부재및 제 2 암부재의길이방향에있어서제 1 암부재및 제 2 암부재의상대변위를유도하기위한액츄에이터를더 포함한다. 브릿지부재는스캔헤드를지지하는지지부를포함한다.

    Abstract translation: 定位臂技术领域本发明涉及一种用于将诸如扫描探针显微镜装置的表面扫描专用装置的扫描头抵靠表面定位的定位臂。 定位臂包括位于定位臂的第一端处的基座,用于将具有基座的臂安装至静态参考结构。 定位臂还包括第一臂部件和从基部延伸的第二臂部件,并且第二臂部件平行于第一臂部件延伸。 臂包括在臂的第二端处的桥接构件,并且桥接构件连接第一臂构件和第二臂构件。 第一臂构件和第二臂构件分别通过铰链连接件连接到基部和桥构件中的一个。 定位臂适于在横向于横向位移的方向上摆动定位臂的第二端并且引导第一臂构件和第二臂构件在第一臂构件和第二臂构件的纵向方向上的相对位移 并且还包括致动器。 桥构件支撑或支撑扫描头。

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