公开(公告)号：CN103698021A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310631237.5

申请日：2013-12-02

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛婧 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: G01J5/12

Abstract: 本发明涉及热电堆红外探测器，具体是一种基于TiN反射层的热电堆红外探测器。进一步改进了现有热电堆红外探测器。所述探测器的加工步骤包括：1、在SOI衬底正面加工内、外两个隔离槽，划分出各加工区；2、加工SiO2介质支撑膜；3、加工构成热电偶的P/N型多晶硅条；4、加工下层SiO2隔离层及后续加工用金属连接加工孔；5、完成金属连接；6、加工上层SiO2隔离层；7、加工TiN反射层；8、加工SiN导热层；9、加工热辐射吸收层；10、形成后续加工用释放孔；11、将SiO2介质支撑膜下的热电偶加工区及热辐射吸收区空腔化；12、实现纳米森林结构的热辐射吸收层。本发明结构设计合理，制作工艺易于实现，成品性能提高明显，具有良好的发展前景。

公开(公告)号：CN103500770A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310500970.3

申请日：2013-10-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛靖 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/20 ,  G01N21/3504

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/14 ,  H01L31/1804

Abstract: 本发明公开了一种多气体检测的红外气体传感器，将红外辐射源与多个热电堆传感器采用标准CMOS／MEMS工艺制备于同一个芯片，各芯片间通过热隔离墙、隔热沟道和真空晶圆级对准封装的方式，实现对共面传感器之间的热串扰的降低。采用单片集成工艺方法，对多传感器进行同时加工，采用不同窄波段滤波片分别组装于共面排布的多个传感器，实现对不同气体进行分光检测，在大大降低加工成本的同时，降低了热串扰和功耗，并且进一步提高了检测精度。

公开(公告)号：CN103499344A

公开(公告)日：2014-01-08

申请号：CN201310306600.6

申请日：2013-07-22

Applicant: 中北大学

Inventor： 闫树斌 ,  郑永秋 ,  薛晨阳 ,  任勇峰 ,  李圣昆 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  焦新泉 ,  安盼龙 ,  张蔚云 ,  张建辉 ,  李小枫

IPC: G01C19/64

CPC classification number: G01C19/727 ,  G01C19/722

Abstract: 本发明涉及高灵敏度谐振式光学陀螺，具体为一种双谐振腔谐振式光学陀螺，包括隔离准直芯片可调谐光源Laser、第一耦合器C1、多功能集成光学调制器、第三耦合器C3、第二耦合器C2、第四耦合器C4、主谐振腔、第一光电探测器PD1、第一锁相放大器LIA1、第二光电探测器PD2、第二锁相放大器LIA2，反馈控制电路FBC，还包括其内中心位置设有欧姆结的环状的辅谐振腔、温控模块和第五耦合器C5，主谐振腔上在和输入口相对的位置还设有输出口，第五耦合器C5的输入端和主谐振腔的输出口接触，第五耦合器C5的输出端和辅谐振腔的输入口接触，温控模块通过MEMS工艺制作的导线和欧姆结连接，解决了谐振式光学陀螺灵敏度不高的问题。

公开(公告)号：CN103226041A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310100842.X

申请日：2013-03-27

Applicant: 中北大学

Inventor： 杨卫 ,  张文栋 ,  熊继军 ,  陈佩珩 ,  王泽兵 ,  白晓方 ,  黄伟 ,  刘云武 ,  武晋波

IPC: G01J5/00 ,  G01C1/00 ,  G01S17/08

Abstract: 本发明涉及光电综合技术，具体是一种基于DSP和FPGA的光电综合智能感知系统。本发明解决了现有光电综合系统易导致操作人员的生命安全受到威胁的问题。一种基于DSP和FPGA的光电综合智能感知系统包括感知单元和信息处理单元；所述感知单元包括图像采集模块、激光指示模块、光电测角模块、以及光电测距模块；所述信息处理单元包括数据存储模块、目标检测模块、目标跟踪识别模块、以及数据传输模块；其中，图像采集模块的输出端与数据存储模块的输入端连接；激光指示模块的输出端、数据存储模块的输出端均与目标检测模块的输入端连接。本发明适用于目标预警、探测识别、光电对抗等领域。

公开(公告)号：CN103063209A

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN201210582431.4

申请日：2012-12-28

Applicant: 中北大学

Inventor： 杨卫 ,  张文栋 ,  秦丽 ,  孙乔 ,  李波 ,  王泽兵 ,  杨萍 ,  陈佩珩 ,  王红梅 ,  黄伟 ,  刘云武 ,  武晋波 ,  白晓方

IPC: G01C21/00

Abstract: 本发明具体为一种基于动态双元热释电传感器网络的运动目标定位方法，解决了现有的利用热释电红外传感器对运动目标定位装置复杂、精度差的问题。基于动态双元热释电传感器网络的运动目标定位方法利用若干旋转的探测节点构成动态双元热释电传感器网络，利用图像差分法处理确定运动目标出现的时刻，利用四个时刻和对应方位角的数据，结合已知的运动目标的速度，利用几何关系列出方程，多次计算得出运动目标的运动路径曲线。本发明利用了红外透镜和双元热释电传感器的组合功耗小、成本低，需要的热释电传感器数量少，利用少量节点就可以实现大面积的定位，且定位精度高。

公开(公告)号：CN101857190B

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201010210817.3

申请日：2010-06-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 秦丽 ,  张文栋 ,  熊继军 ,  刘俊 ,  马喜宏 ,  石云波 ,  刘广泉 ,  石安利

IPC: B81C99/00

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器，具体是一种MEMS传感器在应用环境下使用可靠度的确定方法。确定了MEMS传感器在应用环境下的可靠性指标，步骤如下：1)、测定MEMS传感器能正常工作的温度、振动、冲击三参数的极限应力；2)、统计推断与MEMS传感器温度、振动、冲击三参数极限应力对应的分布函数；3)、统计推断与具体应用环境温度、振动、冲击三参数应力变化对应的分布函数；4)、确定具体应用环境中温度、振动、冲击三参数应力变化分别能引起MEMS传感器失效的概率；5)、确定具体应用环境中MEMS传感器的使用可靠度。以MEMS传感器在具体应用环境中正常工作的总概率P(X)作为MEMS传感器的可靠性指标，将MEMS传感器的可靠性进行量化标定，表明了MEMS传感器在应用环境下的使用可靠度。

公开(公告)号：CN102426054B

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201110334236.5

申请日：2011-10-29

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  宋小鹏 ,  张国军 ,  刘林仙 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  葛晓洋

IPC: G01H11/08

Abstract: 本发明为一种单片集成复合量程矢量水听器，解决了现有矢量水听器由于灵敏度和有效工作频带的相互制约而不能满足在同一个测试过程中测量各种频率信号的问题。本发明包括田字形支架，弹性梁以及通过弹性梁分别支悬于田字形支架的四个小框体中部的质量块，每个质量块的四边分别通过一根弹性梁与田字形支架固定，每根弹性梁的端部和根部分别集成有一个阻值相等的压敏电阻，四个质量块中部分别垂直设有一根直径相同的纤毛柱体，四根纤毛柱体长短不一。本发明可通过其上的四根不同长度的纤毛柱体，检测到不同量程范围内的声信号，可用于变频率值的测定，拓宽了其有效工作频带。

公开(公告)号：CN102768291A

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN201210252958.0

申请日：2012-07-21

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  何常德 ,  张国军 ,  薛晨阳 ,  熊继军 ,  刘俊 ,  张永平 ,  杜春晖

IPC: G01P15/18

Abstract: 本发明涉及MEMS传感器领域中的加速度传感器，具体是一种压阻式单片集成四梁三轴加速度计，解决了现有压阻式三轴加速度计存在结构复杂，灵敏度低，轴间耦合大的问题。该加速度计包括四根弹性悬臂梁、质量块和支撑边框，质量块四个边分别通过一根弹性悬臂梁支悬于支撑边框的中心位置，支撑边框下表面通过静电键合技术与玻璃基板键合，十六个阻值相等的压敏电阻对称均布在四根弹性悬臂梁的两端，十六个压敏电阻连接分别构成三个惠斯通电桥分别检测三个轴向的加速度信号。本发明加速度计结构简单、灵敏度高、轴间耦合低、可靠性高、成本低廉、易于一体化加工，以其生产加工的加速度计应用范围广阔。

公开(公告)号：CN102647657A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210164461.3

申请日：2012-05-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 薛晨阳 ,  何常德 ,  张国军 ,  于佳琪 ,  王红亮 ,  张文栋 ,  宛克敬 ,  廉德钦 ,  苗静 ,  杜春晖 ,  张永平

IPC: H04R17/00

Abstract: 本发明为一种单片集成MEMS压阻超声传感器，解决了现有超声传感器灵敏度低的问题。本发明包括质量块边框，质量块边框的两相对短边之间固定有振动膜，振动膜两侧边的中间位置与质量块边框的两相对长边之间分别对称固定有侧梁，振动膜位于X轴方向，侧梁位于Y轴方向，且振动膜宽度大于侧梁宽度，振动膜上的中间位置对称分布有第一、二应变压敏电阻，两侧梁上靠近质量块边框的根部位置对称分布有第三、四应变压敏电阻，四个应变压敏电阻的阻值相同并且其之间连接成一个惠斯通电桥。本发明结构简单新颖、重量轻、体积小、功耗低、灵敏度高、加工成本低、适合于批量化生产、单片集成便于安装测试。

公开(公告)号：CN102590450A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201210018690.4

申请日：2012-01-20

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  熊继军 ,  朱思敏 ,  刘文怡 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  薛晨阳 ,  裴向东

IPC: G01N33/00

Abstract: 本发明涉及气敏传感器领域，具体是一种基于MEMS技术的阵列式气味检测元件。解决了现有电子鼻所用气敏传感器阵列中的个体存在响应特性漂移不一致的问题。所述检测元件包括半导体基底，以及在半导体基底上采用MEMS加工工艺加工得到的：气味敏感单元、用以检测气味敏感单元工作温度的感温单元、用以将气味敏感单元加热至所需工作温度的加热单元；所述气味敏感单元包含按照阵列排布的若干气敏型金属氧化物薄膜，且各薄膜为尺寸参数各异的同种气敏型金属氧化物，各薄膜上分别设有两个用于与数据采集设备连接的电极。本发明结构简单，能采用目前发展已较成熟的MEMS技术加工实现，利于实现电子鼻的集成化、小型化，且方法合理，识别准确。