公开(公告)号：TWI603073B

公开(公告)日：2017-10-21

申请号：TW103113077

申请日：2014-04-09

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 薩派 羅曼 ,  SAPPEY, ROMAIN

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/6495 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0662

公开(公告)号：TW201743049A

公开(公告)日：2017-12-16

申请号：TW106130946

申请日：2014-04-09

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 薩派羅曼 ,  SAPPEY,ROMAIN

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/6495 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0662

Abstract: 本發明揭示用於一樣品之缺陷偵測及光致螢光量測之方法，該方法包括：將斜照明波長光之一射束引導至該樣品之一部分上；將用於引起該樣品之一或多個光致螢光缺陷發射光致螢光之光之法線照明波長光之一射束引導至該樣品之一部分上；收集來自該樣品之缺陷散射輻射或光致螢光輻射；將來自該樣品之該輻射分離成在可見光譜中之輻射之一第一部分、包含法線照明波長光之輻射之一第二部分及包含斜照明波長光之輻射之至少一第三部分；量測輻射之該第一部分、該第二部分或該第三部分之一或多個特性；基於輻射之該第一部分、該第二部分或該第三部分之經量測之該一或多個特性而偵測一或多個光致螢光缺陷或一或多個散射缺陷。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于一样品之缺陷侦测及光致萤光量测之方法，该方法包括：将斜照明波长光之一射束引导至该样品之一部分上；将用于引起该样品之一或多个光致萤光缺陷发射光致萤光之光之法线照明波长光之一射束引导至该样品之一部分上；收集来自该样品之缺陷散射辐射或光致萤光辐射；将来自该样品之该辐射分离成在可见光谱中之辐射之一第一部分、包含法线照明波长光之辐射之一第二部分及包含斜照明波长光之辐射之至少一第三部分；量测辐射之该第一部分、该第二部分或该第三部分之一或多个特性；基于辐射之该第一部分、该第二部分或该第三部分之经量测之该一或多个特性而侦测一或多个光致萤光缺陷或一或多个散射缺陷。

公开(公告)号：TW201510510A

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：TW103113077

申请日：2014-04-09

Applicant: 克萊譚克公司 ,  KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： 薩派 羅曼 ,  SAPPEY, ROMAIN

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/6495 ,  G01N2021/8845 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/0662

Abstract: 本發明揭示用於一樣品之缺陷偵測及光致螢光量測之方法，該方法包括：將斜照明波長光之一射束引導至該樣品之一部分上；將用於引起該樣品之一或多個光致螢光缺陷發射光致螢光之光之法線照明波長光之一射束引導至該樣品之一部分上；收集來自該樣品之缺陷散射輻射或光致螢光輻射；將來自該樣品之該輻射分離成在可見光譜中之輻射之一第一部分、包含法線照明波長光之輻射之一第二部分及包含斜照明波長光之輻射之至少一第三部分；量測輻射之該第一部分、該第二部分或該第三部分之一或多個特性；基於輻射之該第一部分、該第二部分或該第三部分之經量測之該一或多個特性而偵測一或多個光致螢光缺陷或一或多個散射缺陷。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示用于一样品之缺陷侦测及光致萤光量测之方法，该方法包括：将斜照明波长光之一射束引导至该样品之一部分上；将用于引起该样品之一或多个光致萤光缺陷发射光致萤光之光之法线照明波长光之一射束引导至该样品之一部分上；收集来自该样品之缺陷散射辐射或光致萤光辐射；将来自该样品之该辐射分离成在可见光谱中之辐射之一第一部分、包含法线照明波长光之辐射之一第二部分及包含斜照明波长光之辐射之至少一第三部分；量测辐射之该第一部分、该第二部分或该第三部分之一或多个特性；基于辐射之该第一部分、该第二部分或该第三部分之经量测之该一或多个特性而侦测一或多个光致萤光缺陷或一或多个散射缺陷。