公开(公告)号：US20150211997A1

公开(公告)日：2015-07-30

申请号：US14683507

申请日：2015-04-10

Applicant: NIKON CORPORATION

Inventor： Fumihiro DAKE

IPC: G01N21/64 ,  G02F1/11 ,  G02F1/21

CPC classification number: G01N21/64 ,  G01N21/6458 ,  G01N2201/063 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/367 ,  G02F1/11 ,  G02F1/21

Abstract: An illumination apparatus including: a traveling wave forming unit that is disposed in an optical path of a light flux emitted from a light source unit and that is configured to form a sonic traveling wave in a direction traversing the emitted light flux; and an illumination optical system that is configured to form, on a plane to be observed, position-variable interference fringes caused by a plurality of diffracted light beams generated from the traveling wave forming unit.

Abstract translation: 一种照明装置，包括：行波形成单元，其设置在从光源单元发射的光束的光路中，并且被构造成在穿过所述发射光束的方向上形成声波; 以及照明光学系统，被配置为在待观察的平面上形成由从行波形成单元产生的多个衍射光束引起的位置变化的干涉条纹。

公开(公告)号：US20080095669A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11810915

申请日：2007-06-07

Applicant: Uk Kang ,  Soo Jin Bae ,  Geri V Papayan

Inventor： Uk Kang ,  Soo Jin Bae ,  Geri V Papayan

IPC: B32B5/02 ,  G01N21/76

CPC classification number: G01N21/6452 ,  G01N21/648 ,  G01N2201/063

Abstract: Disclosed herein is an apparatus for and method of measuring bio-chips, which can implement an illumination method of a novel type that illuminates a bio sample (which may be also referred to as a “bio specimen”) through a side face of a substrate using a diffusion plate to form an evanescent field by the illumination light over the entire surface of a substrate so as to uniformly secure brightness of the illuminated light over a wide area of a substrate, thereby more efficiently measuring fluorescence information of a bio-chip over a wide field of view.

Abstract translation: 本文公开了一种测量生物芯片的装置和方法，其可以实现通过衬底的侧面照射生物样品（其也可以称为“生物样本”）的新型照明方法 使用扩散板通过在基板的整个表面上的照明光形成消逝场，从而均匀地将照明光的亮度保持在基板的宽阔区域上，从而更有效地测量生物芯片的荧光信息 广泛的视野。

公开(公告)号：JP2018121333A

公开(公告)日：2018-08-02

申请号：JP2018011191

申请日：2018-01-26

Applicant: 株式会社リコー

Inventor： 伊藤 仁志 ,  中重 文宏 ,  小林 健二

IPC: H04N1/028 ,  G02B5/00 ,  G03B27/54 ,  F21S2/00 ,  F21V11/14 ,  F21V13/02 ,  F21Y103/10 ,  F21Y103/30 ,  F21Y115/10 ,  H04N1/04

CPC classification number: G01N21/57 ,  G01N21/8901 ,  G01N2021/8427 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/063 ,  G03G15/5062 ,  G03G15/55

Abstract: 【課題】対象物の平面度合いに関わらず、当該対象物からの正反射光を目的の位置に十分に入射させることができる照明装置を提供する。 【解決手段】第1の曲率の曲面状に複数のLEDを並べて配置した発光装置LEDA510と、発光装置LEDA510の光の照射方向に、第1の曲率よりも大きい第2の曲率の曲面状に配置された、ハニカム構造を有するハニカム部材513と、を備える。 【選択図】図3

公开(公告)号：JP6264377B2

公开(公告)日：2018-01-24

申请号：JP2015527148

申请日：2014-05-29

Applicant: 株式会社ニコン

Inventor： 中山 浩明 ,  大内 由美子

IPC: G02B21/36 ,  G01N21/64 ,  G02B21/06

CPC classification number: G02B21/06 ,  G01N21/64 ,  G01N21/6428 ,  G01N2021/6439 ,  G01N2201/063 ,  G01N2201/0638 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B21/16 ,  G02B21/367 ,  G02B27/58

公开(公告)号：JP2016540231A

公开(公告)日：2016-12-22

申请号：JP2016545709

申请日：2014-11-27

Applicant: ネックスティン,インコーポレイテッド ,  サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド ,  サムスン エレクトロニクス カンパニー リミテッド

Inventor： パク，テフン ,  ラム，シーガル

IPC: G01N21/956 ,  G02B21/36 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/063 ,  H01L22/12

Abstract: 半導体ウェーハの欠陥を検査するためにウェーハ映像を取得して検査するが、検査対象部分に対する映像ビームを分割して同時に焦点位置が異なる複数の映像を得るウェーハ映像検査装置が開示される。同装置は、照明光を発生させる照明部と、前記照明光が検査対象となるウェーハに照射された後に反射されるウェーハ映像を取得して一方に照らして転送するレンズ部と、前記レンズ部から転送されたウェーハ映像を分割する分割光学要素と、これらのレンズ部及び分割光学要素を経た映像がそれぞれ互いに異なる焦点位置に結像されるように設けられる複数の撮像素子からなる映像検出部と、前記複数の撮像素子において撮像された互いに異なる焦点位置の映像を結合してスルー焦点走査光学顕微鏡(TSOM)映像を構成し、このスルー焦点走査光学顕微鏡(TSOM)映像を正常の半導体装置部分に対するスルー焦点走査光学顕微鏡(TSOM)映像と比較して対象物の良否を判断する映像処理部と、を備える。

Abstract translation: 虽然通过检查晶片图像以检查所述半导体晶片的缺陷，同时取得通过将图像光束晶片图像检查装置用于获得多个不同的图像的焦点位置，公开相对于所述检查对象的部分。 该装置包括用于产生照明光的照明单元，并且其中所述照明光在所述一个来获得晶片图像被照射到晶片之后被反射的光传送的透镜单元被检查，从镜头单元 用于将晶片传送图像的分割光学元件，通过这些透镜部并包括多个设置，使得每个聚焦在不同焦点位置彼此图像拾取元件的分光光学元件，一个视频的视频检测器， 通过聚焦在另一个在所述多个通焦扫描光学显微镜（TSOM）视频配置成像装置捕获的不同焦点位置的图像组合，通过相对于扫描光学显微镜（TSOM）图像到正常方式的半导体装置的一部分 包括：图像处理单元，用于确定所述物体的质量相比，聚焦扫描光学显微镜（TSOM）图像，一个。

公开(公告)号：JP5958779B2

公开(公告)日：2016-08-02

申请号：JP2014540879

申请日：2013-10-09

Applicant: 株式会社ニコン

Inventor： 嶽 文宏

IPC: G02B21/06

CPC classification number: G01N21/64 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/367 ,  G02F1/11 ,  G02F1/21 ,  G01N21/6458 ,  G01N2201/063

公开(公告)号：JPWO2011142123A1

公开(公告)日：2013-07-22

申请号：JP2012514712

申请日：2011-05-10

Applicant: コニカミノルタ株式会社

Inventor： 健二 井村 ,  健二 井村

IPC: G01J3/10 ,  G01J3/50

CPC classification number: G01J3/10 ,  G01N21/4738 ,  G01N2201/063

Abstract: 主光源12は、白色LEDにより構成され、LEDチップ12c、レジン12r、及びパッケージ12pを含む。LEDチップ12cは、例えば青色LEDによりより構成され、青色光L_bを放射する。レジン12rは、青色光L_bで励起され、蛍光LF_yを放射する粉末状の蛍光物質を含む。また、レジン12rは青色光L_bを拡散して発光域Sから放射する。副光源22は、紫色LEDにより構成され、紫色光L_vを発光域Sに放射する。レジン12rは、紫色光L_vを拡散反射する。

公开(公告)号：JP5216752B2

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：JP2009262445

申请日：2009-11-18

Applicant: 株式会社日立ハイテクノロジーズ

Inventor： 祐子 大谷 ,  武弘 立▲崎▼ ,  正浩 渡辺 ,  俊一 松本

IPC: G01N21/956

CPC classification number: G01N21/8806 ,  G01N21/21 ,  G01N21/47 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N21/95623 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8848 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/063

Abstract: The disclosed device, which, using an electron microscope or the like, minutely observes defects detected by an optical appearance-inspecting device or an optical defect-inspecting device, can reliably insert a defect to be observed into the field of an electron microscope or the like, and can be a device of a smaller scale. The electron microscope, which observes defects detected by an optical appearance-inspecting device or by an optical defect-inspecting device, has a configuration wherein an optical microscope that re-detects defects is incorporated, and a spatial filter and a distribution polarization element are inserted at the pupil plane when making dark-field observations using this optical microscope. The electron microscope, which observes defects detected by an optical appearance-inspecting device or an optical defect-inspecting device, has a configuration wherein an optical microscope that re-detects defects is incorporated, and a distribution filter is inserted at the pupil plane when making dark-field observations using this optical microscope.

公开(公告)号：KR101832081B1

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：KR1020167016851

申请日：2014-12-24

Applicant: 제이에프이 스틸 가부시키가이샤

Inventor： 오노히로아키 ,  고다마도시후미 ,  고시하라다카히로 ,  오가와아키히로 ,  이이즈카유키노리

IPC: G01N21/892 ,  G01N21/952

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01B11/245 ,  G01N21/892 ,  G01N21/952 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2201/063 ,  G06K9/4604 ,  G06K9/6267 ,  G06T7/0004 ,  G06T7/70 ,  G06T2207/20224 ,  G06T2207/30164 ,  H04N7/01

Abstract: 표면결함검출방법은, 강관 (P) 의표면결함을광학적으로검출하는표면결함검출방법으로서, 2 개의변별가능한광원 (2a, 2b) 을이용하여강관 (P) 의동일한검사대상부위에상이한방향으로부터조명광 (L) 을조사하는조사스텝과, 각조명광 (L) 의반사광에의한화상을취득하고, 취득한화상간에서차분처리를실시함으로써검사대상부위에있어서의표면결함을검출하는검출스텝을포함한다. 이에따라, 스케일이나무해모양과표면결함을양호한정밀도로변별할수 있다.

公开(公告)号：KR1020170081637A

公开(公告)日：2017-07-12

申请号：KR1020177006902

申请日：2015-08-14

Applicant: 더 트러스티스 오브 더 유니버시티 오브 펜실바니아

Inventor： 이싸도레,데이비드 ,  월더마리암,멜라쿠,물루네

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6428 ,  B01L3/502715 ,  B01L3/502784 ,  B01L2300/0627 ,  B01L2300/0654 ,  B01L2300/0861 ,  G01N2201/063 ,  G01N21/6486 ,  G01N27/221 ,  G01N27/74 ,  G01N29/022 ,  G01N2015/1481

Abstract: 액적들을분석하기위한마이크로유체디바이스들이개시된다. 설명된마이크로유체디바이스는기판및 기판상에형성된마이크로유체채널을포함한다. 마이크로유체채널은통로들을포함하며, 여기서각각의통로는, 통로들을통과하는액적들이신호들을생성하도록, 그통로를통과하는액적의신호를변조하도록구성된마스크패턴을갖는다. 마이크로유체디바이스는또한신호들을검출하도록구성된검출기를포함한다. 기판상에형성된마이크로유체채널을갖는마이크로유체디바이스로액적들을분석하는방법이개시된다. 설명된방법은, 통로들을통해액적을통과시키는단계; 통로들상에형성된마스크패턴들을사용하여액적들로부터신호들을변조하는단계; 및신호들을검출하는단계를포함한다.

Abstract translation: 公开了用于分析液滴的微流体装置。 所描述的微流体装置包括基底和形成在基底上的微流体通道。 微流体通道包括通道，其中每个通道具有掩模图案，该掩模图案被配置为调制通过通道的液滴的信号，使得通过通道的液滴产生信号。 微流体装置还包括配置成检测信号的检测器。 公开了一种使用具有在基底上形成的微流体通道的微流体装置分析液滴的方法。 所描述的方法包括使液滴通过通道; 使用在通道上形成的掩模图案来调制来自液滴的信号; 并检测信号。