液处理装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1827855A

    公开(公告)日:2006-09-06

    申请号:CN200610001290.7

    申请日:2006-01-12

    Abstract: 本发明提供一种液处理装置,能够在从蚀刻液喷嘴喷出的处理液变成雾状并漂流在处理室内的状态下,该雾状蚀刻液也喷沾不到比蚀刻液喷嘴向膜等表面处理目标物的上表面喷出的液处理开始位置A更上游的表面处理目标物的部分,从而可以正确实施使用处理液的处理,避免发生不合格品。该装置包括:从上方向电子元件安装用薄膜载带T的表面喷出处理液E的蚀刻液喷嘴;和在用蚀刻液喷嘴向电子元件安装用薄膜载带T的表面喷出的处理液E开始进行蚀刻处理的液处理开始位置A更上游,设置防止在液处理开始位置A之前接触薄膜载带T的防处理液接触分隔室;且在该分隔室内设有第一防浸入构件的封液凸缘构件;第二防浸入构件的上侧凸缘组件和下侧凸缘组件。

    金属锡或锡合金的腐蚀方法及金属锡或锡合金的腐蚀液

    公开(公告)号:CN1311099C

    公开(公告)日:2007-04-18

    申请号:CN01135433.X

    申请日:2001-09-26

    Abstract: 本发明提供了能够在不腐蚀玻璃、不产生氮的氧化物的情况下对金属锡或锡合金进行腐蚀,且淤浆生成少、废液处理方便的腐蚀液。使含有4价锡的水溶液和被处理材料接触以对金属锡或锡合金进行腐蚀。连续腐蚀则可通过添加水溶液中生成的2价锡的氧化剂,使水溶液和氧或空气接触,或通过电解在阳极侧使2价锡氧化为4价锡的方式来实现。

    铜或铜合金的表面处理方法

    公开(公告)号:CN101333662A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200810126827.1

    申请日:2008-06-24

    Abstract: 本发明提供通过使含有咪唑化合物的表面处理剂与铜或铜合金表面接触,从而在该铜或铜合金上形成防锈皮膜的铜或铜合金的表面处理方法。该方法包括:在上述铜或铜合金的表面形成具有开口部的树脂层的工序,和使上述表面处理剂作为粒径为100μm以下的雾状粒子与上述开口部内的铜或铜合金的表面接触的工序。

    铜或铜合金的蚀刻溶液以及使用该溶液的电子基板的制法

    公开(公告)号:CN1570212A

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN200410006062.X

    申请日:2004-02-27

    Inventor: 户田健次

    Abstract: 提供一种能制造侧面蚀刻少、抑制铜配线的上部变细而且没有短路的电子基板的铜或铜合金的蚀刻溶液以及使用该溶液的电子基板的制造方法。是按规定的形状在电绝缘基材(1)上形成的铜层(2a)上进行蚀刻并形成铜配线(2c)的电子基板的制造方法,主蚀刻后,通过含有(a)铜的氧化剂1~50克/升和、(b)盐酸1~200克/升以及或者有机酸1~400克/升和、(c)选自聚亚烷基二醇、以及聚胺和聚亚烷基二醇的共聚物中的至少一种聚合物0.01~50克/升的水溶液除去铜配线(2b)的底部残存的应除去的铜(A)。

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