-
公开(公告)号：KR100418684B1
公开(公告)日：2004-02-14
申请号：KR1020030042584
申请日：2003-06-27
IPC: H01L21/02
Abstract: PURPOSE: A differential pressure flow controller for gases used in semiconductor process is provided to measure and control accurately the flow of the semiconductor process gas by generating the differential pressure from the flow path of the semiconductor process gas. CONSTITUTION: A body(10) includes a flow path of gases. A control valve(20) is used for controlling the flow of the semiconductor process gas by opening or shutting the flow path of the body. A differential pressure generation element(30) is used for generating the differential pressure from the flow path of the body. A tube(40) penetrates the differential pressure generation element. A pressure sensor(50) is inserted into the tube in order to detect the differential pressure of the flow path due to the differential pressure generation element. A CPU(Central Processing Unit)(60) produces the flow of the gases and controls the control valve according to a detection signal of the pressure sensor.
-
公开(公告)号：KR200324880Y1
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：KR2020030018849
申请日：2003-06-16
IPC: G01N1/00
Abstract: 본 고안은 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물을 관성충돌에 의하여 포집하는 공기 중 미생물의 포집장치를 개시한다. 체임버를 갖는 몸체와, 몸체의 체임버에 회전할 수 있도록 설치되는 포집판과, 포집판을 회전시키는 구동수단과, 포집판에 공기 중의 입자들에 포함되어 있는 미생물이 관성충돌에 의하여 포집되도록 공기를 분사하는 노즐로 구성된다. 본 고안에 의하면, 노즐에 의하여 회전하는 포집판에 공기를 분사하여 공기 중에 부유하는 입자들 속의 미생물 관성충돌에 의하여 간편하게 포집함으로써, 미생물의 포집 효율을 크게 향상시킬 수 있으며, 미생물이 포집판의 한곳에 과다하게 포집되는 것을 효과적으로 방지하여 미생물을 균일하게 포집할 수 있다. 또한, 몸체, 구동장치와 공기도입장치의 간단한 구성에 의하여 식품가공분야, 생화학 테러 등 다양한 현장에 간편하게 설치 및 이동하여 미생물의 포집을 실시할 수 있는 효과가 있다.
-
公开(公告)号：KR1020010098715A
公开(公告)日：2001-11-08
申请号：KR1020010020890
申请日：2001-04-18
IPC: B01J2/00
CPC classification number: B01J2/04 , B01J2/02 , B05B1/14 , B05B5/0255 , B05B5/0533 , B05B7/168 , B05B7/201
Abstract: 본 발명은 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치와 그 제조방법을 개시한다. 본 발명을 구성하는 전기수력학적 분사장치를 이용한 초미세입자의 제조장치는 금속유기물, 금속할로겐화합물 등의 전구체 또는 비휘발성물질 또는 비휘발성입자가 공급되며 선단에 노즐을 구비하는 하나 이상의 모세관이 유도덕트의 내부에 위치한다. 모세관과 유도덕트의 사이에 전압차가 형성되어 노즐로부터 고하전의 초미세입자가 방출되도록 모세관과 유도덕트에는 전압이 각각 인가된다. 모세관의 노즐로부터 방출되는 고하전의 초미세입자는 유도덕트를 따라 운반기체에 의하여 운반된다. 초미세입자에 열에너지가 가해져 초미세입자에는 화학반응이 발생하고 화학반응이 일어난 초미세입자는 유도덕트의 전방에 위치하는 포집판에 의하여 포집된다.
-
公开(公告)号：KR1020010078078A
公开(公告)日：2001-08-20
申请号：KR1020010003722
申请日：2001-01-26
IPC: B05B5/00
CPC classification number: B05B5/005 , B05B5/087 , B05B5/1608
Abstract: PURPOSE: An electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles is provided to allow high charged hyperfine particles to be stayed in a specific space, and to naturally suck the outside air. CONSTITUTION: The electrohydraulics injection apparatus capable of guiding sprayed particles comprises a hollow typed cylinder(20); a capillary tube(10) penetrating the hollow typed cylinder; and a power source(40) serving to generate the difference of voltage between the hollow typed cylinder and the capillary tube. The capillary tube provided on the tip end of the hollow typed cylinder is connected with a liquid injection device(50). The capillary tube comprises a nozzle(12) disposed on the tip end thereof serving to discharge sprayed particles, and a penetrating hole(32) communicating with the interior of the hollow typed cylinder. The hollow typed cylinder is constructed by connecting many short tubes electrically insulated each other. Different voltages are applied to each short tube of the hollow typed cylinder. Also, an injection member(30) is fitted in the end of the hollow typed cylinder.
Abstract translation: 目的：提供一种能够引导喷雾颗粒的电液注射装置，以使高电荷超细颗粒停留在特定空间中，并自然地吸入外部空气。 构成：能够引导喷雾颗粒的电液注射装置包括中空型圆筒（20）; 穿过中空型圆筒的毛细管（10）; 以及用于产生中空型气缸和毛细管之间的电压差的电源（40）。 设置在中空型圆筒的前端的毛细管与液体注入装置（50）连接。 毛细管包括设置在其顶端的用于排出喷雾颗粒的喷嘴（12），以及与中空型圆柱体的内部连通的穿透孔（32）。 中空型圆柱体通过连接许多短管彼此电绝缘而构成。 不同的电压施加到中空型圆筒的每个短管。 此外，注射构件（30）装配在中空型圆柱体的端部中。
-
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101096156B1
公开(公告)日：2011-12-20
申请号：KR1020100065594
申请日：2010-07-07
Abstract: PURPOSE: A particle measurement apparatus is provided to prevent particles flowing in the inner space of a main pipe from flowing into a light generation unit and a light detection unit. CONSTITUTION: A particle measurement apparatus comprises a main pipe(100), a light generation unit, a light detection unit, a rotary blade(500), and a drive unit(600). The main body is connected to the middle end of an air pipe(11) of clean room equipment. The light generation unit is connected to the main pipe and generates incident light to form a focus on the inner space of the main pipe. The light detection unit is coupled to the main pipe and receives and detects scattered light. The rotary blade is installed between the main pipe and the light generation unit or the light detection unit and is rotated to prevent particles from flowing into the light generation unit or the light detection unit. The drive unit rotates the rotary blade.
Abstract translation: 目的：提供一种粒子测量装置，用于防止在主管内空间流动的颗粒流入发光单元和光检测单元。 构成：粒子测量装置包括主管（100），发光单元，光检测单元，旋转刀片（500）和驱动单元（600）。 主体连接到洁净室设备的空气管（11）的中端。 光发生单元连接到主管，并且产生入射光以在主管的内部空间上形成焦点。 光检测单元耦合到主管，并接收和检测散射光。 旋转刀片安装在主管和发光单元或光检测单元之间，并被旋转以防止颗粒流入光生成单元或光检测单元。 驱动单元使旋转叶片旋转。
-
公开(公告)号：KR100929866B1
公开(公告)日：2009-12-04
申请号：KR1020070128917
申请日：2007-12-12
IPC: H01L21/205 , H01L21/02
Abstract: An electrospray vaporizer is provided to improve the productivity of the vapor molecule and prevent an orifice from being clogged. The electrospray vaporizer comprises a housing(10), a reaction liquid feeding means(20), a spreading means, a conducting measure, a power supply unit(60), a potentiometer(70), a heating means(50), a carrier gas supply means(90) and a controller. The housing has a flow path(12) and an exit(14). The reaction liquid feeding means supplies the reaction liquid to the outer side of the housing. The spreading means combines with the reaction liquid feeding means and ejects the reaction liquid to the flow path of the housing. The conducting measure generates the static electricity in the reaction liquid. The power supply unit supplies power to one selected between the spreading means and conducting means. The potentiometer measures the inducing current. The heating means applies the heat energy to the reaction liquid. The carrier gas supply means supplies the carrier gas in order to transport the droplet spray(S) and vapor molecule(P2) of the reaction liquid. The controller controls the above mentioned means.
Abstract translation: 提供电喷雾汽化器以提高蒸气分子的生产率并防止孔口堵塞。 该电喷雾式汽化器包括壳体10，反应液体供给装置20，扩散装置，导电措施，电源装置60，电位计70，加热装置50， 气体供应装置（90）和控制器。 壳体具有流动路径（12）和出口（14）。 反应液供给装置将反应液供给到壳体的外侧。 扩散装置与反应液体供给装置结合并将反应液体喷射到壳体的流动路径。 导电措施在反应液体中产生静电。 电源单元向扩展装置和传导装置之间选择的一个供电。 电位器测量感应电流。 加热装置将热能施加到反应液体。 载气供应装置供应载气以便传输反应液体的液滴喷雾（S）和蒸气分子（P2）。 控制器控制上述手段。
-
公开(公告)号：KR2020090005403U
公开(公告)日：2009-06-03
申请号：KR2020070019270
申请日：2007-11-30
CPC classification number: B42D15/0006 , B42D1/009 , B42P2221/02
Abstract: 본 고안은 노트용지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 학생들이 수업시간에 교과서 및 수업내용에 관한 핵심요약정리를 바탕으로 선생님의 강의 내용과 교과서 내용 가운데 중요한 내용을 머릿속에 정리한 후 단시간에 필기하여 학습효과를 높일 수 있는 노트용지에 관한 것이다.
본 고안에 따른 노트용지는,
과목별 교과서의 내용과 대응되도록 교과서의 핵심 내용이 기 인쇄되어 좌측에 형성된 인쇄면과, 상기 인쇄면을 구획하기 위해 세로로 새겨진 세로선을 갖는 인쇄면적과 상기 인쇄면적의 우측에 형성되고, 수업 내용중 중요내용을 필기가능하게 하나 이상의 가로선으로 구획된 필기면적과 상기 인쇄면적과 필기면적의 상한선 상부와 하한선 하부가 구획된 공란으로 구성된다.
인쇄면적, 필기면적, 공란, 세로선, 가로선-
公开(公告)号：KR100895542B1
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：KR1020070067518
申请日：2007-07-05
Applicant: 안강호
Inventor： 안강호
IPC: G01R33/563 , A61J1/22
CPC classification number: G01N15/065
Abstract: 본 발명은 작동유체로 물을 사용할 수 있는 응축핵 계수기를 개시한다. 본 발명은 미립자가 부유되고 있는 기체를 작동유체로 포화시켜 포화기체를 생성하는 포화기와, 포화기로부터 공급되는 미립자를 핵으로 액체방울이 생성되도록 포화기체를 응축하는 응축기와, 응축기로부터 공급되는 액체방울을 광학적으로 검출하는 광학입자 계수기로 구성된다. 응축기는 포화기와 광학입자 계수기를 연결하는 응축기 튜브를 가지며, 응축기 튜브의 내면에 포화기체의 흐름이 가능하도록 친수성 튜브가 장착되어 있다. 본 발명에 의하면, 응축기 튜브의 내측에 친수성 튜브가 장착됨으로써, 작동유체로 물을 사용할 수 있으면서도 광학적인 방법으로 미립자를 쉽고 정확하게 계측할 수 있는 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明公开了一种能够使用水作为工作流体的冷凝颗粒计数器。 本发明的液滴和冷凝器以冷凝饱和气体，使得微粒饱和到富含气体作为工作流体的饱和基团，以产生一个饱和的气体，产生的液滴从饱和器供给的芯微粒，从冷凝器供给 还有一个光学粒子计数器，用于光学检测粒子。 冷凝器装备有亲水性管，以使饱和气体的饱和基团的内表面上的流，并且具有冷凝管连接所述光学粒子计数器，冷凝器管。 根据本发明，由此安装在所述冷凝器管的内侧上的亲水性管，有能够通过光路与所有可用的水作为工作流体容易且精确地测量所述微粒的效果。
-
公开(公告)号：KR100567789B1
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：KR1020060016058
申请日：2006-02-20
Inventor： 안강호
Abstract: 본 발명은 클린룸등의 청정공간내의 저농도의 입자들의 개수와 크기별 분포등을 신속하고 용이하게 측정할 수 있는 입자측정기 및 입자측정방법을 개시한다. 본 발명에 따른 입자측정기 및 입자측정방법은 가이드덕트와 이 가이드덕트 내에 전극을 각각 구비하는 다수의 입자분리장치를 준비하고, 측정하고자 하는 입자들을 단극성으로 하전시킨다. 하전된 입자들과 청정공기를 가이드덕트의 내부로 유입시키며, 전극들에 상호 다른 전압을 인가한다. 입자분리장치들에 의해 분리된 하전입자들의 개수를 측정하고, 측정된 결과로부터 크기별 입자분포를 계산한다. 본 발명에 따른 입자측정기는 1회의 측정으로 공기 중의 입자들의 크기분포를 구할 수 있으며, 공기 중에 포함된 입자의 개수가 적더라도, 그 분포를 신속하고 용이하게 구할 수 있는 효과가 있다.
입자측정기, 입자측정방법
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
73
records
(took 0.017 seconds)
