Abstract:
PURPOSE: A method for manufacturing a thin film for a semiconductor is provided to simplify the manufacturing process using a plasma enhanced chemical vapor deposition equipment, thereby providing an organic film having an excellent stability. CONSTITUTION: A method for manufacturing a thin film for a semiconductor comprises steps of vaporizing p-xylene contained in a bubbler(30) to be a gas phase, discharging the p-xylene out of the bubbler, introducing the p-xylene discharged from the bubbler into a plasma depositing reaction chamber(50), and depositing a thin film on a substrate(1) in the reaction chamber using a plasma of the reaction chamber. In the method, the substrate is made of Pt or Si. The insulating substrate is cleaned by trichloroethylene, acetone and methanol and then positioned on a prop(51) of the reaction chamber.
Abstract:
p-크실렌을 전구체로 하여 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법으로 증착하는 EL 소자용 박막의 제조 방법. ITO 등으로 이루어진 전극층이 형성되어 있는 절연 기판을 반응로의 받침대 위에 올려놓는다. 전구체로 사용되는 p-크실렌[p(ara)-xylene]이 담겨 있는 거품기를 일정 온도까지 가열하여 내부의 전구체 용액을 증발시킨다. 운반 기체 저장부에는 운반 기체로 사용되는 Ar 기체가 담겨 있으며, 유량 조절기에 의하여 운송관을 따라 흐른다. 운송관을 따라 이동하는 운반 기체는 유입관을 통하여 거품기의 전구체 용액 속으로 유입되어 거품을 발생시키며 기상 전구체를 싣고 배출관을 통하여 다시 운송관으로 들어간다. 거품기를 통과하여 운송관을 따라 흐르던 운반 기체와 기상 전구체는 반응로로 들어간다. 반응로에 들어간 기상 전구체는 플라스마에 의하여 받침대 위에 놓인 기판 위의 전극층 위에 증착되어 박막이 되고 남은 기체는 반응로 바깥으로 배출된다. 마지막으로 박막 위에 Al 전극을 형성한다.
Abstract:
The present invention relates to a sound insulation material for preventing floor impact sound from being transmitted and a method of installing the sound insulation material. The sound insulation material relatively improves a light-impact sound insulation effect by improving the thickness and apparent density of a light-impact sound insulation unit, which is a smooth surface provided on the upper part of the sound insulation material, since the light-impact sound transmitted from a floor surface of an upper floor has sound insulation properties depending on a middle-high frequency band, and therefore the sound insulation material, which has a thickness of 10-15 mm, minimizes the transmission level of the floor impact sound in the middle-high frequency band. The purpose of the invention is to reduce the dynamic modulus of elasticity of a concavo-convex part provided on the lower part of the sound insulation material and of a heavyweight impact sound insulation unit as much as possible and to easily discharge air through a transversely arranged flow passage of a heavyweight impact sound insulation unit to the outside by heavyweight sound impact which is transmitted to an upper layer, since sound insulation grades of the weight impact sound, which is transmitted from the floor surface of an upper floor, are determined in a low frequency band, thereby remarkably preventing heavyweight impact sound from being transferred by completing the dynamic modulus of elasticity and an air ventilation system which are required by the heavyweight impact sound.
Abstract:
본 발명은 에어호스를 연결할 때 사용하는 에어커플러에 관한 것으로 더욱 구체적으로는 일측에는 플러그바디(9)가 투입되는 체결공(101)을 형성하고, 타측에는 에어를 공급하는 호스를 연결하기 위한 소켓바디(3)가 나사 결합되는 메인바디(1)와, 상기, 메인바디(1) 내부에 밸브스프링(802)으로 탄설되어 공기의 흐름을 개폐하는 개폐밸브(801)와, 상기 메인바디(1)에 투입되는 플러그바디(9)를 고정하는 록킹볼(6)과, 상기 록킹볼(6)을 움직임을 제어하기 위한 슬리브(4)로 구성된 에어커플러에 있어서, 상기 메인바디(1) 일측에는 에어배출구(102)를 형성하고, 그 외부에는 암나사부(103)를 형성하여, 상기 암나사부(103)에는 케이스(201) 하단부에 수나사(201a)부를 형성하고 케이스(201) 일측에는 배기공(201b)을 형성하며 중심부에는 상기 배기공(201b)과 연통 가능한 배기통로(202a)를 형성한 레버(202)를 코일스프링(202b)으로 탄설된 에어배출밸브(2)를 나사 결합하며; 상기 메인바디(1) 내부에는 슬리브(4)를 삽설하고, 그 슬리브(4)의 외측 입구에는 록킹볼(6)이 방사형으로 설치된 볼자켓(5)을 삽설하여, 상기 슬리브(4)와 볼자켓(5) 사이에 슬리브스프링(401)을 설치하며;상기 메인바디(1)와 소켓바디(3)의 나사결합부에는 와셔(7)를 개입 설치하고, 그 와셔(7) 중앙에는 실린더(8)의 일측 단부가 걸리도록 삽설하며; 상기 실린더(8) 내부에는 상기 개폐밸브(801)를 밸브스프링(802)으로 탄설하되, 실린더(8) 주벽의 전방과 후방에는 각각 배기구1(803)과 배기구2(804)를 형성하여 실린더(8) 외벽과 메인바디(1) 내벽의 공간부(A, A1)로 에어를 배출할 수 있게 구성함으로써, 적은 힘과 간편한 동작만으로도 에어커플러의 체결과 분리가 신속하게 이루어짐으로써, 에어커플러의 사용편의성이 크게 향상되는 효과가 있다. 에어커플러, 메인바디, 소켓바디, 플러그바디, 에어배출밸브
Abstract:
PURPOSE: A one touch type coupler is provided to simply assemble a nipple and a valve using the repulsive power of a spring. CONSTITUTION: A one touch type coupler comprises a body(100), a valve(200), a guider(700), a socket(300), a sleeve(400), a spring supporter(500), and a nipple(600). The body has three or more ball insertion holes and inclined guide grooves. The packing is located at the center of the body. The guider is located on the inner surface of the body. The socket is screwed in the other surface of the body using springs(S). The sleeve downward pressurizes balls(B) through a pressing sill. The springs are installed between the spring supporter and one side of the body. The spring supporter elastically supports the sleeve. The nipple is inserted into one side of the body and is coupled to the valve.
Abstract:
A moving machine is provided to feel the virtual reality similar with the reality by being operated with the virtual reality program and moving to the direction in which the user wants with infinite. A moving machine(100) comprises the moving belt(20) in which both side end point of the tube having second endless track is connected and forming the first endless track; the first driver module(30) which is combined in both side of inner space of the first endless track and rotates the first endless track and the second endless track; the frame(10) which unites the first driver module in order to have the tension in which the first endless track is fixed; the controller controlling the first driver module.
Abstract:
본 발명은 방향안내장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 시각장애인들 간에 상호 인지하고 있는 위치정보의 공유를 용이하게 하고, 이동 중 다양한 방향으로 회전하여도 방향성을 상실하지 않게 안내하여 주는 시각장애인용 방향안내장치에 관한 것이다. 본 발명은 시각장애인이 위치하고 있는 곳을 X축 및 Y축의 좌표로 표시한 위치좌표신호를 생성하는 방향감지부(10)와, 상기 방향감지부(10)를 통해 입력되는 위치좌표신호를 증폭시키는 증폭기(30)와, 상기 증폭기(30)로부터 입력되는 아날로그신호인 증폭된 위치좌표신호를 디지털신호로 변환하는 A/D변환부(40)와, 시각장애인이 위치하고 있는 곳에서 시각장애인이 자북방향을 인지할 수 있게 안내하는 방향안내부(50)와, 전원을 공급하는 전원부(60)와, 상기 A/D변환부(40)로부터 입력되는 위치좌표신호를 이용하여 자북방향을 나타내는 자북방위신호를 생성한 후 상기 방향안내부(50)로 출력되도록 제어하는 제어부(70)로 이루어진다. 시각장애인, 방향, 자북, 안내, 진동모터
Abstract:
본 발명은 생체신호 감지센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 생체신호의 안정성과 신뢰도가 향상되고, 생체신호 측정장소 및 시간에 제약을 받지 않고 측정할 수 있을 뿐만 아니라 그 측정된 결과값에 따른 신체상태 또는 감정변이를 검사대상자가 인지할 수 있게 하는 반지형 생체신호 감지센서 및 반지형 생체신호 감지센서가 구비된 생체신호 측정장치에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 반지타입의 링체로 구성되는 생체신호 감지센서를 제공하되, 상기 링체는 검사대상자의 신체부분에 견고하게 밀착될 수 있게 밴드로 형성되며, 상기 링체의 내부에는 회로기판을 구비하여 검사대상자의 신체에서 측정되는 복수의 피부전기신호를 피부전위신호로 변환하고, 상기 변환된 피부전위신호를 분석하며, 상기 분석된 피부전위신호의 결과치에 따라 신체의 상태 또는 감정의 이상유무를 광으로 표시하도록 제어한다. 생체신호 감지센서, 반지, 피부전위, 피부저항