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    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOCHDRUCKSENSOREN
    11.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOCHDRUCKSENSOREN 审中-公开
    工艺生产高压力传感器

    公开(公告)号：WO2010046157A1

    公开(公告)日：2010-04-29

    申请号：PCT/EP2009/060896

    申请日：2009-08-25

    Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  HENNING, Frank ,  FREY, Wilhelm

    Inventor： HENNING, Frank ,  FREY, Wilhelm

    IPC: G01L7/08 ,  G01L9/00

    CPC classification number: G01L19/0007

    Abstract: Es wird ein Aufbaukonzept für Hochdrucksensoren vorgeschlagen, das eine einfache und kostengünstige Herstellung von zuverlässigen Hochdrucksensoren auch für Druckbereiche größer 2200bar ermöglicht. Ein derartiger Hochdrucksensor (3) umfasst ein Sensorelement (1) zur Druckerfassung und ein Anschlussstück (2) zur Ankopplung des Sensorelements (1) an ein Messsystem. Im Grundkörper (10) des Sensorelements (1) wird eine Membran (11) ausgebildet und im Grundkörper (20) des Anschlussstücks (2) ein Druckkanal (21). Das Sensorelement (1) wird so auf dem Anschlussstück (2) montiert, dass die Membran (11) über den Druckkanal (21) mit dem Messdruck beaufschlagbar ist. Erfindungsgemäß wird zunächst der Grundkörper (10) des Sensorelements (1) auf dem Grundkörper (20) des Anschlussstücks (2) montiert, wobei eine ganzflächige Verbindung (31) zwischen den Montageflächen der beiden Grundkörper (10, 20) erzeugt wird. Erst danach wird der Druckkanal (21) im Anschlussstück (2) ausgebildet und die Membran (11) des Sensorelements (1) freigelegt.

    Abstract translation: 它提出了一种用于高压力传感器设计概念，更大2200bar能够容易和成本有效的压力范围生产可靠的，高压力传感器。 如此高的压力传感器（3）包括用于感测压力的传感器元件（1）和用于将传感器元件（1）连接到一个测量系统的连接件（2）。 在传感器元件（1）形成的膜（11）和连接件的所述基体（20）的基体（10）（2），压力通道（21）。 所述传感器元件（1）是如此（2）上安装成使得经由所述压力通道（21）的膜（11）在由所测得的压力作用在连接件。 根据本发明，首先对连接件（2）的基体（20）的传感器元件（1）的基体（10）安装，其中，产生所述两个基体（10，20）的安装表面之间的全表面连接（31）。 仅在形成（2）的连接件中的压力通道（21）和所述传感器元件的所述隔膜（11）（1）之后露出。

    IN-PLANE MECHANICALLY COUPLED MICROELECTROMECHANICAL TUNING FORK RESONATORS
    12.
    发明申请
    IN-PLANE MECHANICALLY COUPLED MICROELECTROMECHANICAL TUNING FORK RESONATORS 审中-公开
    平面机械耦合微电子机械调谐器谐振器

    公开(公告)号：WO2007046869A3

    公开(公告)日：2007-12-21

    申请号：PCT/US2006019531

    申请日：2006-05-19

    Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  UNIV LELAND STANFORD JUNIOR ,  PAN ZHIYU ,  CHANDLER ROB NORRIS ,  LUTZ MARKUS ,  PARTRIDGE AARON ,  MATERNA VOLKER ,  YAMA GARY ,  FREY WILHELM

    Inventor： PAN ZHIYU ,  CHANDLER ROB NORRIS ,  LUTZ MARKUS ,  PARTRIDGE AARON ,  MATERNA VOLKER ,  YAMA GARY ,  FREY WILHELM

    IPC: H03H9/50 ,  H03H9/02

    CPC classification number: H03H9/505 ,  H03H9/0023 ,  H03H9/02338 ,  H03H9/2468 ,  H03H2009/02496

    Abstract: In one aspect, the present invention is directed to a resonator architecture including a plurality of in-plane vibration microelectromechanical resonators (for example, 2 or 4 resonators) that are mechanically coupled to provide, for example, a differential signal output. In one embodiment, the present invention includes four commonly shaped microelectromechanical tuning fork resonators (12, 14, 16, 18) (for example, tuning fork resonators having two or more rectangular-shaped or square-shaped tines). Each resonator is mechanically coupled to another resonator of the architecture. For example, each resonator of the architecture is mechanically coupled to another one of the resonators on one side or a corner of one of the sides. In this way, all of the resonators, when induced, vibrate at the same frequency.

    Abstract translation: 在一个方面，本发明涉及一种包括机械耦合以提供例如差分信号输出的多个平面内振动微机电谐振器（例如，2或4个谐振器）的谐振器结构。 在一个实施例中，本发明包括四个通常形状的微机电音叉谐振器（12,14,16,18）（例如，具有两个或更多个矩形或正方形形状的叉的音叉谐振器）。 每个谐振器机械耦合到该架构的另一谐振器。 例如，该架构的每个谐振器在其中一个侧面的一侧或拐角上机械耦合到另一个谐振器。 以这种方式，所有谐振器在被感应时以相同的频率振动。

    ANTI-STICTION TECHNIQUE FOR ELECTROMECHANICAL SYSTEMS AND ELECTROMECHANICAL DEVICE EMPLOYING SAME
    13.
    发明申请
    ANTI-STICTION TECHNIQUE FOR ELECTROMECHANICAL SYSTEMS AND ELECTROMECHANICAL DEVICE EMPLOYING SAME 审中-公开
    机电系统的防伪技术及其使用的电化学装置

    公开(公告)号：WO2006115592A1

    公开(公告)日：2006-11-02

    申请号：PCT/US2006/008600

    申请日：2006-03-10

    Applicant: GMBH, Robert, Bosch ,  ULM, Markus ,  METZ, Matthias ,  STARK, Brian ,  YAMA, Gary ,  LUTZ, Markus ,  PARTRIDGE, Aaron ,  FREY, Wilhelm

    Inventor： ULM, Markus ,  METZ, Matthias ,  STARK, Brian ,  YAMA, Gary ,  LUTZ, Markus ,  PARTRIDGE, Aaron ,  FREY, Wilhelm

    IPC: B81C1/00

    CPC classification number: B81C1/0096 ,  B81B3/0005 ,  B81C2201/112 ,  B82Y30/00 ,  H01L2224/13 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/00

    Abstract: A mechanical structure is disposed in a chamber, at least a portion of which is defined by the encapsulation structure. A first method provides a channel cap having at least one preform portion disposed over or in at least a portion of an anti-stiction channel to seal the anti-stiction channel, at least in part. A second method provides a channel cap having at least one portion disposed over or in at least a portion of an anti-stiction channel to seal the anti-stiction channel, at least in part. The at least one portion is fabricated apart from the electromechanical device and thereafter affixed to the electromechanical device. A third method provides a channel cap having at least one portion disposed over or in at least a portion of the anti-stiction channel to seal an anti-stiction channel, at least in part. The at least one portion may comprise a wire ball, a stud, metal foil or a solder preform. A device includes a substrate, an encapsulation structure and a mechanical structure. An anti-stiction layer is disposed on at least a portion of the mechanical structure. An anti-stiction channel is formed in at least one of the substrate and the encapsulation structure. A cap has at least one preform portion disposed over or in at least a portion of the anti-stiction channel to seal the anti-stiction channel, at least in part.

    Abstract translation: 机械结构设置在室中，其至少一部分由封装结构限定。 第一种方法提供了通道盖，其具有至少部分地设置在防静电通道的上方或至少一部分中的至少一个预成型件部分，以密封抗静电通道。 第二种方法提供了通道盖，其具有至少部分地设置在防静电通道上方或至少一部分中的至少一个部分，以密封抗静电通道。 该至少一个部分与机电装置分开制造，然后固定在机电装置上。 第三种方法提供了通道盖，其具有至少部分地设置在防静电通道上方或至少一部分中的至少一个部分，以密封抗静脉通道。 所述至少一个部分可以包括线球，螺柱，金属箔或焊料预制件。 一种器件包括衬底，封装结构和机械结构。 抗静电层设置在机械结构的至少一部分上。 在基板和封装结构中的至少一个中形成抗静电通道。 帽至少部分地具有设置在抗静电通道上方或至少一部分中的至少一个预制件部分，以密封抗静电通道。

    KAPAZITIVER DRUCKSENSOR
    14.
    发明申请
    KAPAZITIVER DRUCKSENSOR 审中-公开
    电容式压力传感器

    公开(公告)号：WO2004106879A1

    公开(公告)日：2004-12-09

    申请号：PCT/DE2004/001025

    申请日：2004-05-15

    Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  VOSSENBERG, Heinz-Georg ,  FREY, Wilhelm

    Inventor： VOSSENBERG, Heinz-Georg ,  FREY, Wilhelm

    IPC: G01L9/00

    CPC classification number: G01L9/0073

    Abstract: Die Erfindung beschreibt ein Herstellungsverfahren, das auf einem Substrat mittels eines mikromechanischen Aufbaus durchgeführt wird, bzw. Einen durch das Herstellungsverfahren hergestellten Drucksensor. Bei diesem Herstellungsverfahren weist das Substrat Schaltelemente einer elektrischen Schaltung auf. Weiterhin weist der Drucksensor wenigstens ein Sensorelement auf, wobei ein erste Sensorelement zur Kapazitätsmessung wenigstens eine membran und einen Hohlraum aufweist. Dieser Hohlraum wird auf der einen Seite durch die Membran und auf der der Membran gegenüberliegenden Seite durch eine erste Schicht begrenzt. Vorteilhafterweise sind zur Kapazitätsmessung mit dem Drucksensor die Materialien, aus denen sowohl die Membran, als auch die erste Schicht besteht, elektrisch leitfähig. Der Kern der Erfindung besteht nun darin, dass die erste Schicht auf oder im Substrat erzeugt wird, wobei die erste Schicht auf der Substratoberfläche einen Bereich abdeckt, der durch die Fläche der darunter, im oder auf dem Substrat befindlichen elektrischen Schaltung oder der zur elektrischen Schaltung gehörenden Schaltelemente definiert ist. Vorteilhafterweise ist die elektrische Schaltung direkt auf der Oberfläche des Substrats angeordnet, die erste Schicht direkt auf der elektrsichen Schaltung aufgebracht. In einer besonderen Ausführung der Erfindung weist die erste Schicht, beispielsweise durch eine Maske beim Aufbringen oder einem entsprechenden Ätzprozess eine Struktur auf der Substratoberfläche auf.

    Abstract translation: 本发明描述了由微机械结构或由该制造方法制造的压力传感器的装置的基板上进行制造过程。 在该制造方法中，基板具有开关元件的电路。 此外，压力传感器的至少一个传感器元件，其中，用于电容测量的第一传感器元件具有至少一个膜和一个空腔。 该空腔是通过在膜和在所述膜的相反侧由第一层限定在一侧上。 有利的是，与压力传感器的电容测量，其中材料由所述膜和所述第一层导电两者。 本发明的本质在于以下事实，即上或在衬底上，其中所述基底表面上的第一层覆盖通过的下部的区域中，位于在衬底中或电路或所述电路上所限定的区域形成在第一层 相关的开关元件被定义。 有利的是，该电路直接设置在基板上，直接沉积在elektrsichen电路上的第一层的表面上。 在本发明中，第一层，例如由掩模在基板表面上的应用程序或适当的蚀刻工艺中，结构中的特定实施例。

    PROCEDIMIENTO DE LIMPIEZA Y LIQUIDO PARA CUERPOS DE VENTILACION.
    18.
    发明专利
    PROCEDIMIENTO DE LIMPIEZA Y LIQUIDO PARA CUERPOS DE VENTILACION. 未知

    公开(公告)号：ES2260602T3

    公开(公告)日：2006-11-01

    申请号：ES03702182

    申请日：2003-01-16

    Applicant: FREY WILHELM

    Inventor： FREY WILHELM

    IPC: B08B3/08 ,  B01F3/04 ,  B01F15/00 ,  B08B7/00 ,  B08B9/00 ,  B08B9/02 ,  C02F1/72 ,  C02F1/74 ,  C02F3/20 ,  C02F5/08

    Abstract: Procedimiento para la limpieza de elementos (1) de ventilación provistos con poros u orificios en tanques (2) ventilados de instalaciones de depuración de aguas residuales o de tratamiento de aguas, en el que se somete el campo (4) del ventilador formado por los elementos (1) de ventilación y las tuberías (3) que los unen a un líquido de limpieza, que se alimenta a través de tuberías adicionales, tales como por ejemplo tuberías (5) de caída, que unen el campo (4) del ventilador con una tubería (6) de distribución, y en el que está previsto una etapa de limpieza, en la que se llena el campo (4) del ventilador con el líquido de limpieza y a razones de presión, que provocan el paso del líquido de limpieza a través de los poros u orificios de los elementos (1) de ventilación, y en el que en una etapa de limpieza adicional tras un tiempo de acción variable del líquido de limpieza en los poros u orificios de los elementos (1) de ventilación vuelve a vaciarse el campo (4) del ventilador, caracterizado porque el líquido de limpieza contiene un agente para asegurar un medio alcalino con un valor de pH de al menos 10, preferiblemente 12.

    19.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号：AT320323T

    公开(公告)日：2006-04-15

    申请号：AT03702182

    申请日：2003-01-16

    Applicant: FREY WILHELM

    Inventor： FREY WILHELM

    IPC: B01F3/04 ,  B01F15/00 ,  B08B3/08 ,  B08B9/00 ,  B08B9/02 ,  C02F1/72 ,  C02F1/74 ,  C02F5/08 ,  B08B7/00 ,  C02F3/20

    Abstract: Disclosed is a method for cleaning aeration elements (1) provided with pores or bores in aerated basins (2) of wastewater treatment plants or water treatment plants. The aeration field (4) formed by the aeration elements (1) and the pipes (3) connecting said aeration elements to each other is completely filled with a cleaning agent in a fluid form by applying pressure that is high enough to send said cleaning agent through the pores or bores of the aeration elements (1). After applying the cleaning fluid on the pores or bores of the aeration elements (1) for a variable amount of time, the aeration field (4) is emptied again. In a further optional cleaning step, the aeration field (4) is cleaned once again with a rinsing fluid, preferably water. Also disclosed are the use of an alkaline cleaning agent with a pH value of at least 10, preferably 12, and advantageous compositions of the cleaning fluid used for cleaning aeration elements.

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