极紫外曝光设备和使用该设备制造半导体装置的方法

    公开(公告)号:CN111880374B

    公开(公告)日:2023-12-26

    申请号:CN201911345549.3

    申请日:2019-12-24

    Abstract: 公开了一种极紫外(EUV)曝光设备和使用该设备制造半导体装置的方法。该EUV曝光设备包括:室;EUV源,在室中并被构造为产生EUV束;光学系统,在EUV源上方并被构造为将EUV束提供到基底;基底台,在室中并被构造为接收基底;掩模台,在室中并被构造为保持掩模,掩模被构造为将EUV束投射到基底上;以及等离子体源,被构造为将等离子体提供到掩模,以使通过EUV束充电的掩模为电中性。

    电池
    13.
    发明公开
    电池 有权

    公开(公告)号:CN113937298A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202111087175.7

    申请日:2016-01-08

    Abstract: 本发明提供一种电池。该电池包括:第一电极集流器层,具有板形状;多个第一活性材料层,电接触第一电极集流器层并基本上垂直于第一电极集流器层;导体层,电接触第一电极集流器层并插置在多个第一活性材料层中;第二活性材料层,包括平行于多个第一活性材料层且与多个第一活性材料层交替地布置的多个第一部分以及面对并平行于第一电极集流器层并从多个第一部分延伸的第二部分;和电解质层,设置在多个第一活性材料层与第二活性材料层的多个第一部分之间、多个第一活性材料层与第二活性材料层的第二部分之间、以及第二活性材料层的多个第一部分与第一电极集流器层之间。

    燃料电池系统及其燃料供给方法

    公开(公告)号:CN101673835A

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200910133057.8

    申请日:2009-04-02

    Abstract: 本发明涉及一种燃料电池系统及其燃料供给方法。燃料电池系统中的稳定燃料供给系统通过将由选自各种烃化合物的主要原料改性的氢与存在于空气中的氧组合,产生热量和电能。本发明燃料电池系统中的燃料供给装置和燃料供给方法在利用最少的配套设备(BOP)装置的同时,使水蒸气与碳比率(S/C)控制和λ控制自动化,并且有效率地和稳定地实现燃料电池系统操作,克服了在系统内发生的压力损耗和脉动。该方法在所述燃料电池系统的启动和操作过程中更有效率地并精确地供给燃料,同时即使在发生突然的流量变化时,也防止燃烧器熄火,并且保持适当的一氧化碳浓度。而且,操作方法基于燃料泵的规格的选择,提高了与分解能力相关的功能,因此在燃料电池系统的成本和构造方面更经济和稳定。

    极紫外曝光设备和使用该设备制造半导体装置的方法

    公开(公告)号:CN111880374A

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201911345549.3

    申请日:2019-12-24

    Abstract: 公开了一种极紫外(EUV)曝光设备和使用该设备制造半导体装置的方法。该EUV曝光设备包括:室;EUV源,在室中并被构造为产生EUV束;光学系统,在EUV源上方并被构造为将EUV束提供到基底;基底台,在室中并被构造为接收基底;掩模台,在室中并被构造为保持掩模,掩模被构造为将EUV束投射到基底上;以及等离子体源,被构造为将等离子体提供到掩模,以使通过EUV束充电的掩模为电中性。

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