半导体器件和包括该半导体器件的数据存储系统

    公开(公告)号:CN118900568A

    公开(公告)日:2024-11-05

    申请号:CN202410479295.9

    申请日:2024-04-19

    Abstract: 一种半导体器件,包括:板层;栅电极,在板层上;层间绝缘层,与栅电极交替地堆叠;以及沟道结构,延伸到栅电极中,其中,沟道结构包括沟道填充层、至少部分地围绕沟道填充层的沟道层、在栅电极和沟道层之间的电荷存储层、在栅电极和电荷存储层之间的第一介电层、以及在沟道层和电荷存储层之间第二介电层,其中,沟道层包括第一凸形部分,该第一凸形部分从沟道层的与沟道填充层接触的侧面朝向沟道填充层延伸,并且其中,第一凸形部分的顶点处于第一方向上的第一高度处,该第一高度在一对相邻栅电极的高度之间。

    垂直型存储器件
    20.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111162084B

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN201910851403.X

    申请日:2019-09-10

    Abstract: 一种垂直型存储器件包括:多个栅电极,堆叠在衬底上;和垂直沟道结构,沿垂直于衬底的上表面的第一方向穿透所述多个栅电极。垂直沟道结构包括:沿第一方向延伸的沟道;第一填充膜,部分地填充沟道的内部空间;第一衬层,在第一填充膜的上表面的至少一部分上并且在沟道的远离衬底延伸超过第一填充膜的上部内侧壁。第一衬层包括n型杂质。垂直沟道结构包括在第一衬层的至少一部分上的第二填充膜和在第二填充膜上并与第一衬层接触的焊盘。

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