公开(公告)号：CN1952206A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200610140238.X

申请日：2006-10-20

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 许明洙 ,  安宰弘 ,  韩尚辰

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/54 ,  C23C14/04 ,  C23C14/12

CPC classification number: C23C14/24 ,  C23C14/12 ,  C23C14/243 ,  C23C14/541

Abstract: 本发明提供了一种用于沉积薄膜的设备和方法，该设备包括：处理室，具有膜形成部分和沉积防止部分，沉积防止部分在膜形成部分的周边；蒸发源，与处理室流动相通，用于容纳沉积材料；吸热板，形成在处理室的沉积防止部分中，其中，吸热板设置成围绕位于处理室的膜形成部分中的基底。

公开(公告)号：CN1814854A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200510092373.7

申请日：2005-08-29

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 金度根 ,  许明洙 ,  郑锡宪 ,  康熙哲 ,  古野和雄

IPC: C23C14/26

Abstract: 一种蒸发源和蒸镀装置，该蒸发源将坩埚和加热部以及喷嘴部配置在一个划分空间，缩小其尺寸；所述蒸镀装置利用所述蒸发源将蒸镀物质蒸镀在基板上。所述蒸发源包括：壳体(110)；内设于所述壳体(110)内的坩埚(120)；内设于所述壳体(110)中，用于加热坩埚(120)而设于其周边的加热部；喷嘴部，经由喷射嘴(140)将从所述坩埚(120)蒸发的蒸镀物质喷射到位于壳体(110)外部的基板(220)上。

公开(公告)号：CN1805119A

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN200610000330.6

申请日：2006-01-04

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 韩尚辰 ,  李星昊 ,  许明洙 ,  郑锡宪 ,  宋官燮 ,  康熙哲

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/683 ,  C23C14/04 ,  C23C16/04

Abstract: 本发明提供一种夹盘组件，包括：阴罩，形成有预定的图案；阴罩框架，支持所述阴罩并具有热辐射和冷却功能；基底，与阴罩对齐并且来自沉积源的沉积材料被沉积在其上；夹盘，将所述基底附在阴罩上，该夹盘包括冷却剂循环管。考虑阴罩的温度优化基底的温度，从而由于热变形导致的对齐误差被最小化。即，防止阴罩本身的温度上升，从而防止由于热膨胀导致的阴罩的变形，提高了基底图案位置的精确度。

公开(公告)号：CN1787704A

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：CN200510092214.7

申请日：2005-07-01

Applicant: 三星SDI株式会社

Inventor： 李奎成 ,  金汉基 ,  金度根 ,  许明洙 ,  郑锡宪

IPC: H05B33/10 ,  H05B33/26

CPC classification number: H01L51/5203 ,  C23C14/352 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/0021

Abstract: 本发明提供一种通过利用对面靶溅射设备制造有机发光器件的方法。该方法包括在基板上形成第一电极；在第一电极上形成有机薄膜；以及通过对面靶溅射设备在有机薄膜上形成第二电极。因此，以低的温度在有机发光器件上形成电极薄膜而没有由于等离子体导致的劣化，可以提高光发射效率和有机发光器件的电光特性。