铸造装置及铸造方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106191997B

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201610882920.X

    申请日:2013-02-26

    Abstract: 本发明涉及一种铸造装置及铸造方法,能够分别减少低寿命区域及杂质量,难以产生坩埚的结渣问题,通过理想的单向凝固来制造铸锭。铸造装置具备收容熔融物且上部具有开口部的坩埚(20)、加热坩埚的加热器(33,43)和对坩埚内的上部供给惰性气体的惰性气体供给单元(42)。惰性气体供给单元具备延伸至坩埚内的上部并在前端部设置有气体吐出口的气体通道。气体吐出口设置为从该气体吐出口吐出的惰性气体的流动平行于坩埚内的熔融物表面。

    半导体装置用硅部件及半导体装置用硅部件的制造方法

    公开(公告)号:CN104047052B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201410085887.9

    申请日:2014-03-10

    Inventor: 中田嘉信

    Abstract: 本发明提供一种半导体装置用硅部件及半导体装置用硅部件的制造方法,该半导体装置用硅部件为由单向凝固硅制成,同时又能发挥与由单晶硅制成的部件几乎相同的性能,且即使体积比较庞大也能够制作的半导体装置用硅部件。该半导体装置用硅部件由切下柱状晶硅锭而制成,所述柱状晶硅锭通过在坩埚底部配置由单晶硅板构成的多个籽晶,并单向凝固坩埚内的熔融硅,从而从多个籽晶中分别生长出单晶而获得。

    硅锭及其制造装置和方法、硅晶圆、太阳能电池和硅零件

    公开(公告)号:CN102691101B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201210074025.7

    申请日:2012-03-20

    CPC classification number: Y02E10/50

    Abstract: 本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件,所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且结晶的成长方向稳定的硅锭。硅锭制造装置具备有保持硅熔液的坩埚、加热该坩埚的加热器及朝向所述坩埚内供给惰性气体的惰性气体供给构件,所述硅锭制造装置特征在于,具有载置于所述坩埚上的盖,所述盖具有:载置部,载置于所述坩埚的侧壁上面;檐部,从所述坩埚的侧壁外边向外侧突出;及开口部,沿厚度方向贯穿,所述檐部配设于所述坩埚的侧壁上端的10%以上区域的外周侧,且从所述侧壁上端外边的突出长度成为50mm以上,所述开口部配设成所述坩埚的侧壁上端面的50%以上的区域相对于所述加热器露出。

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