涂敷装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1840241A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200610067082.7

    申请日:2006-03-31

    CPC classification number: B05C11/10 B05C5/0254 G03F7/16

    Abstract: 一种涂敷装置,具有:储液罐(4);载物台(5),其保持基板(K);涂敷头(6),其具有开口部(621),被架设在载物台的上方;输液泵,其将涂敷液导入涂敷头中;第一开闭阀(11),其设置在输液泵的吸入口(C12)与储液罐之间,当进行吸入动作时成为打开状态,当进行排出动作时成为关闭状态;第二开闭阀(12),其设置在输液泵的排出口(C13)与涂敷头之间,当进行排出动作时成为打开状态,当进行吸入动作时成为关闭状态;以及驱动装置(7),其在使狭缝状的开口部与基板接近的状态下,使涂敷头与基板相对移动,输液泵具有膜状密封部件(F),其密封泵体(C)与柱塞(P)之间的间隙(G),可实现延长密封部件的寿命。

    液体输送用泵
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1811179A

    公开(公告)日:2006-08-02

    申请号:CN200610002257.6

    申请日:2006-01-27

    CPC classification number: F04B43/02

    Abstract: 本发明提供一种液体滞留率极低且液体置换特性优良的液体输送用泵。液体输送用泵(1)包括:缸(2),其具有吸入口(32)和吐出口(33);柱塞(5),其设置成:在缸(2)的内部,可沿缸(2)的轴线(J1)方向被往复驱动;和膜状密封部件(6),其用于对缸(2)和柱塞(5)之间的间隙(G)进行密封,该液体输送用泵(1)通过往复驱动柱塞(5)来交替地进行吸入动作和吐出动作,从而使从吸入口(32)吸入的输送对象液体从吐出口(33)吐出,吸入口(32)设置在缸(2)的侧面。

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