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公开(公告)号：CN114804011B
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202210476300.1
申请日：2022-04-29
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种聚合物微结构的超精密制造方法，步骤S1、采用金刚石铣削接触式工艺对聚合物表面进行加工，以实现对微结构的毫微级控形；步骤S2、对步骤S1得到的聚合物微结构采用激光束非接触式工艺，实现微米级调形；步骤S3、在步骤S2得到的聚合物外设置导电层，导电层具有使聚合物的微结构外露的镂空部，然后采用非接触式离子束加工，离子束直接对聚合物微结构进行纳米级精调。最终产品可以达到需要的精度要求及表面质量要求，并且加工效率较高。
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公开(公告)号：CN114564688A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210107456.2
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种基于PB神经网络确定离子束抛光去除函数的方法，通过有限次的法拉第扫描和线扫描实验建立数据库，确定离子束电流密度和去除函数分布系数之间的关系，根据法拉第扫描结果，通过线性公式计算去除函数峰值去除率，通过BP神经网络预测去除函数分布系数。本方法得到的去除函数信息与通过实验方法得到的去除函数信息基本相同，却极大的缩短了确定去除函数的时间；同时基于法拉第扫描结果确定去除函数，无需在元件表面进行去除函数实验，从而节约了成本；且本发明通过线性公式和BP神经网络来确定去除函数的分布信息，这种方法对于所有可用于离子束加工的材料均适用，不受材料特性的限制，可用于所有的离子束加工过程。
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公开(公告)号：CN113430523A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110697107.6
申请日：2021-06-23
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: C23F4/00 , C23F3/02 , B08B3/12 , B24B27/033 , B24B29/02
Abstract: 本发明公开了一种光学用铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法，其特征在于包括有以下步骤：(1)小磨头数控研抛：采用铝合金小磨头数控研抛方法，制备获得光学级铝合金材料样品；(2)化学预抛光：采用碱性抛光液对样品进行化学预抛光，在样品的表面形成氧化层；(3)超声前处理：在超净室采用去离子水对样品进行超声波清洗；(4)离子束刻蚀：(5)表面质量检测：检测样品表面是否满足指标要求，若不满足，重新进行离子束刻蚀，直到得到满足指标要求的铝合金材料。与现有技术相比，本发明的方法能够在铝合金表面获得光学用超光滑表面。
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公开(公告)号：CN120055991A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510208637.8
申请日：2025-02-25
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B24B41/00 , B24B13/00 , B24B13/005
Abstract: 本发明公开了一种用于离子束抛光设备的光学元件上下料装置，包括有移动平台(1)以及安装在移动平台(1)上的底座(2)，其特征在于：还包括有第一翻转机构(4)，包括有铰接在底座(2)上的第一翻转架(41)以及用于驱动第一翻转架(41)翻转90°的第一旋转机构(42)；第二翻转机构(5)，包括有铰接在第一翻转架(41)上的第二翻转架(51)以及用于驱动第二翻转架(51)翻转90°的第二旋转机构(52)；锁定机构(6)，用于对第一翻转架(41)和第二翻转架(51)进行锁定和解锁；元件夹具(7)，能左右滑移地安装在第二翻转架(51)上；以及平移机构(8)，用于驱动元件夹具(7)沿左右方向平移。
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公开(公告)号：CN119952539A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510208634.4
申请日：2025-02-25
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件加工方法，其特征在于包括有以下步骤：步骤一、建立加工表面质量与加工时间数据库；步骤二、开始光学元件加工，当工件Ⅰ完成磨削及检测后等待抛光或完成一轮抛光及检测后等待补偿抛光时，判断抛光机床加工状态；步骤三(a)、各工位最佳时间匹配：步骤三(b)、各工位最短时间匹配：步骤四、调整工件Ⅲ磨削阶段的目标表面质量等级再进行后续加工。与现有技术相比，本发明的非球面光学元件加工方法能够提高整体加工效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114564688B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202210107456.2
申请日：2022-01-28
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: G06F17/15 , G06N3/0499 , G06N3/084 , B24B1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于BP神经网络确定离子束抛光去除函数的方法，通过有限次的法拉第扫描和线扫描实验建立数据库，确定离子束电流密度和去除函数分布系数之间的关系，根据法拉第扫描结果，通过线性公式计算去除函数峰值去除率，通过BP神经网络预测去除函数分布系数。本方法得到的去除函数信息与通过实验方法得到的去除函数信息基本相同，却极大的缩短了确定去除函数的时间；同时基于法拉第扫描结果确定去除函数，无需在元件表面进行去除函数实验，从而节约了成本；且本发明通过线性公式和BP神经网络来确定去除函数的分布信息，这种方法对于所有可用于离子束加工的材料均适用，不受材料特性的限制，可用于所有的离子束加工过程。
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公开(公告)号：CN117012600A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310903961.2
申请日：2023-07-21
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种离子束束径调整装置，调整装置包括有基板，其特征在于：基板的一端底部设置有多个光阑基座，光阑基座固定有光阑，光阑的末端设有能固定在离子源前端的磁性底座，光阑的中间开有光阑小孔，基板的另一端底部设有连接件，连接件的底部设有法拉第杯，法拉第杯的中间设有法拉第杯小孔，基板上设有基板锁紧螺丝。采用磁性底座的光阑，能够实现光阑与离子源的快速固定，并且真空腔体中设置多套不同孔径的光阑，实现了不打开真空腔体自动更换光阑的目的，达到了离子束束径调整的要求；因此本发明不仅操作方便、结构合理、更换效率和精度高，应用于离子束抛光中离子束束径的调整和控制。
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公开(公告)号：CN116728171A
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202310748104.X
申请日：2023-06-21
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 一种离子束抛光设备的上下料装置，其特征在于：包括移动小车，移动小车上设有一平台，平台上设有翻转机构，翻转机构包括翻转基座和翻转油缸，翻转基座通过翻转油缸可90°翻转地设置在平台上，工件固定在夹具体上、通过锁紧装置与翻转基座固定，通过翻转基座的翻转实现工件的水平姿态或竖直姿态的调整，移动小车上、平台的下方设有对平台进行横向移动及水平转动调节的横向调整机构和水平角度调整机构，翻转基座上设有可对夹具体进行纵向移动调节的纵向推送机构。本发明具有结构简单合理、操作灵活方便、安全性高的特点，而且对接精度高，可应用于超大口径光学元件离子束抛光的上下料。
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公开(公告)号：CN114800926B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210472210.5
申请日：2022-04-29
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
IPC: B29B9/12
Abstract: 本发明公开了一种离子束加工聚合物微球的方法，S1、将待加工的聚合物微球依次装入基台的第一凹槽中，放置完成后，各聚合物微球的底面抵接在对应第一凹槽的内壁上，此时聚合物微球上半部外露的球面记为A面；S2、通过离子束依次对各聚合物微球的A面进行加工；S3、待所有聚合物微球的A面加工完成后，将背板盖设在基台上方，直到各聚合物微球的顶面抵接在对应第二凹槽的内壁上；S4、通过翻转机构将整个样品台上下翻转，然后移走基台，此时聚合物微球上半部外露的球面记为B面；S5、通过离子束依次对各聚合物微球的B面进行加工。与现有技术相比，本发明方法既能实现样品固定又能实现导电功能，且能够实现批量化加工。
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公开(公告)号：CN114689596A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202210278836.2
申请日：2022-03-17
Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院
Abstract: 本发明涉及一种光学元件表面缺陷检测装置，包括有：激光光源模块，用于发出激光光束并入射到待检测光学元件的表面；成像模块，用于收集散射光以形成检测图像；其特征在于：还包括：隔振平台，所述激光光源模块和成像模块均放置于该隔振平台上，用于在激光光源模块和成像模块扫描运动时隔离外界引起的振动。本发明的优点在于：通过设置隔振平台隔离激光光源模块和成像模块扫描运动时外界引起的振动，从而能减小外界扰动对系统的检测灵敏度和重复性造成影响，进而提高缺陷检测的抗干扰能力。因此该缺陷检测装置的检测灵敏度高且检测准确率高。
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