公开(公告)号：CN221529888U

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202420041581.2

申请日：2024-01-08

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李庆澳 ,  蒋志韬 ,  张继成 ,  冯金武

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种可调倾斜度的晶圆键合装置，包括有下晶圆吸盘吸附下晶圆，上晶圆吸盘吸附上晶圆，上晶圆吸盘的上侧设有方形连接件，方形连接件的上侧设有倾斜度调整组件，倾斜度调整组件中心位置转动连接设有球头连接杆，球头连接杆的外侧设有四个顶杆，顶杆外侧设有两个限位杆，通过调节四个顶杆的长度来调整上晶圆的倾斜度，使得键合界面无气体残留，键合质量好，并且本实用新型结构简单。

公开(公告)号：CN210367393U

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201920866840.4

申请日：2019-06-11

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 苏小雨 ,  饶宾期 ,  徐鹏 ,  于明州 ,  张继成 ,  吴敏 ,  钱浩

IPC: C02F11/121 ,  G01N24/08

Abstract: 本实用新型公开了一种污泥脱水及含水率检测装置，包括压滤单元、出料单元、电磁单元和检测单元(4)，所述的压滤单元包括油缸(18)、左推板(1)、左套筒(2)、过滤圆筒(3)和右推板(8)，油缸(18)的推杆与左推板(1)固定连接；左套筒(2)与过滤圆筒(3)套合形成压滤腔室；所述的电磁单元包括一号线圈(1-1)、四号线圈(8)、左侧固定环(3)和右侧固定环(4-4)；所述的检测单元(4)包括二号线圈(4-2)、三号线圈(4-5)、线圈固定环(4-3)和定位滑块(15)。本实用新型中，电磁力与油缸机械压力协同脱水，并利用电磁力带动检测单元运动，无需取样即可在脱水过程中方便快速在线检测污泥含水率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN222749453U

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202421525130.2

申请日：2024-07-01

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 李庆澳 ,  蒋志韬 ,  冯金武 ,  张继成

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型涉及晶圆键合技术领域，公开了一种晶圆键合加热载体，包括：加热盘本体，所述加热盘本体中设置有加热组件；隔热件，所述隔热件安装在所述加热盘本体底面，所述隔热件底面开设供所述加热组件线材通过的通口；外密封件，所述外密封件的底面设置有底环部，所述底环部内侧与所述隔热件底面相贴，所述外密封件圆周壁与所述加热盘本体圆周壁之间形成隔热间隙，所述外密封件、所述隔热件和所述加热盘本体通过第二安装螺栓固定。本实用新型设计有隔热件，隔热件安装与加热盘下部底面，外密封件底部通过第二安装螺栓实现隔热件、加热盘下部的连接，构造简单，也具备良好的隔热效果，并且如此设计的隔热件造型简单，装配方便，整体实用性更强。