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公开(公告)号：CN103454857A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310198534.5
申请日：2013-05-24
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂显示通过酸的作用在碱性水溶液中的溶解度增加；酸生成剂；由式(I)表示的化合物；和溶剂，所述溶剂的量为所述光致抗蚀剂组合物的总量的40至75质量％：其中所述环W1是含氮杂环，或具有取代或未取代的氨基的苯环，A1表示苯基或萘基，并且n表示2或3的整数。
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公开(公告)号：CN101921219A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010203131.1
申请日：2010-06-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D307/00 , C07D333/46 , C07C25/18 , C07C17/35 , C07C309/12 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07D307/94 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种以式(a1)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示-CO-O-Xa1-或-CH2-O-Xa2-，其中Xa1和Xa2各自独立地表示C1-C15亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；Y1表示C3-C36脂环族烃基或C6-C24芳族烃基，并且所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个取代基，并且所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101477220A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200810188403.8
申请日：2008-12-22
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08L25/08 , C08L75/16 , C08J5/18 , C08L33/12 , C08F290/06 , C08G18/83 , C08G18/75 , C08F291/06 , C08F299/06
Abstract: 一种光学膜及该光学膜的制造方法，所述光学膜含有具有如下结构单元的树脂，所述结构单元为：来自选自式(I)～(VI)表示的单体中的一种以上的单体(1)的结构单元；和来自使具有脂环式烃骨架的聚异氰酸酯化合物、以及具有可以与异氰酸酯基反应的官能团和乙烯性双键的化合物进行反应而得到的化合物(2)的结构单元。
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公开(公告)号：CN106019831B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN201610200060.7
申请日：2016-03-31
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题涉及提供可制造形状良好且脱模性优异的抗蚀图案的抗蚀剂组合物的目的。其解决手段为抗蚀剂组合物，其含有具有对酸不稳定基团的树脂、产酸剂、具有2个以上的酚性羟基的化合物(其中，不包括树脂)和溶剂。例如具有对酸不稳定基团的树脂为含有式(a1‑2)所示的结构单元的树脂。#imgabs0#[式中，Ra1’和Ra2’各自独立地表示氢原子或烃基；Ra3’表示烃基，或者Ra1’表示氢原子或烃基，Ra2’和Ra3’互相键合表示2价烃基，所述烃基所含的亚甲基可替换为氧原子或硫原子；Ra5表示氢原子或甲基；Ra6表示烷基或烷氧基；mx表示0～4的整数]。
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公开(公告)号：CN106019832B
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN201610200067.9
申请日：2016-03-31
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题涉及提供一种可以制造形状良好并且抗裂性良好的抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物的目的。其解決手段为抗蚀剂组合物，其含有：具有对酸不稳定基团的树脂、含有式(I)所示的结构单元的树脂、产酸剂和溶剂。[式中、Ri41为氢原子或甲基；Ri42为碳原子数2～7的酰基或氢原子、可被羟基取代的碳原子数1～10的烃基；Ri43为碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基；p为0～4的整数；Z表示含有式(Ia)所示的基团的碳原子数3～20的2价烃基，该烃基的亚甲基可替换为氧原子、硫原子、羰基。＊为与氧原子的键合位点；w和r各自独立地表示1～10的整数，其中，w为1时，Ri42为碳原子数2～7的酰基]。
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公开(公告)号：CN106019833A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610200291.8
申请日：2016-03-31
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/085 , G03F7/004 , G03F7/0035
Abstract: 本发明的课题的目的是提供能够制造具有优异的形状、从曝光到加热处理为止的后曝光放置时间(PED)所引起的抗蚀图案尺寸变化小的抗蚀图案的抗蚀剂组合物。其解决手段为一种抗蚀剂组合物，含有：含式(I)表示的结构单元的树脂、碱溶性树脂、产酸剂和溶剂。[式(I)中，Ri51表示氢原子或甲基。Ri52和Ri53各自独立地表示氢原子或碳原子数1～12的烃基。Ri54表示碳原子数5～20的脂环式烃基。Ri55表示碳原子数1～6的烷基或碳原子数1～6的烷氧基。p表示0～4的整数。p为2以上时，多个Ri55可彼此相同或不同。]。
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公开(公告)号：CN106019831A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610200060.7
申请日：2016-03-31
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/0751 , G03F7/085 , G03F7/30 , G03F7/004 , G03F7/00
Abstract: 本发明的课题涉及提供可制造形状良好且脱模性优异的抗蚀图案的抗蚀剂组合物的目的。其解决手段为抗蚀剂组合物，其含有具有对酸不稳定基团的树脂、产酸剂、具有2个以上的酚性羟基的化合物(其中，不包括树脂)和溶剂。例如具有对酸不稳定基团的树脂为含有式(a1‑2)所示的结构单元的树脂。[式中，Ra1’和Ra2’各自独立地表示氢原子或烃基；Ra3’表示烃基，或者Ra1’表示氢原子或烃基，Ra2’和Ra3’互相键合表示2价烃基，所述烃基所含的亚甲基可替换为氧原子或硫原子；Ra5表示氢原子或甲基；Ra6表示烷基或烷氧基；mx表示0～4的整数。]。
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公开(公告)号：CN101493541B
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN200910009724.1
申请日：2009-01-23
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G02B5/30 , C08F283/00 , C08G18/32 , C08G18/40 , C08G18/28 , C08G18/72 , C08G18/83 , C08L75/04 , C08L33/10 , C08L33/12 , C08L39/04 , C08L25/08 , C08L33/08 , C08L33/26 , C08L33/02 , C08J5/18
Abstract: 一种光学膜及该光学膜的制造方法，所述光学膜含有具有如下结构单元的树脂，所述结构单元为：来自选自式(I)～式(VI)表示的单体中的1种以上的单体(1)的结构单元；和来自使具有脂环式烃骨架的多异氰酸酯化合物以及多元醇化合物反应而得到的化合物(2)的结构单元。
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公开(公告)号：CN101955476A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN201010230018.2
申请日：2010-07-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07D317/72 , C07D319/08 , C07D339/06 , C07D497/10 , C07D493/10 , C07D493/22 , C07D495/22 , C07C381/12 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C07C25/18 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。所述盐具有由式(aa)表示的二价基团，其中Xa和Xb各自独立地表示-O-或-S-，Ra、Rb、Rc和Rd各自独立地表示氢原子、C1-C4烷基或C1-C4烷氧基，并且m表示1或2。
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