公开(公告)号：CN102387920A

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN201080015879.7

申请日：2010-04-08

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 长谷川彰 ,  黑田俊也 ,  石飞昌光 ,  真田隆 ,  田中利彦

IPC: B32B27/00 ,  B32B9/00 ,  C23C16/42 ,  G02F1/1333 ,  H01L31/042 ,  H01L51/50 ,  H05B33/04

CPC classification number: C23C16/545 ,  B32B15/08 ,  B32B27/281 ,  B32B27/302 ,  B32B27/306 ,  B32B27/32 ,  B32B27/325 ,  B32B27/34 ,  B32B27/36 ,  B32B27/365 ,  B32B2255/10 ,  B32B2255/20 ,  B32B2307/306 ,  B32B2307/31 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/7242 ,  B32B2307/732 ,  B32B2439/40 ,  B32B2439/60 ,  B32B2553/00 ,  C23C16/401 ,  C23C16/505 ,  H01L51/448 ,  H01L51/5237 ,  H01L51/5253 ,  Y10T428/10 ,  Y10T428/1064 ,  Y10T428/1068 ,  Y10T428/1317 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/265

Abstract: 本发明涉及一种气体阻隔性层叠膜，其具备基材和在所述基材的至少单侧上所形成的至少1层薄膜层，其中，所述薄膜层中的至少1层满足下述条件中的至少1个条件，满足硅分布曲线、氧分布曲线及碳分布曲线的条件(i)～(iii)，以及电子束透射率曲线具有至少1个极值。本发明的气体阻隔性层叠膜不但具有足够的气体阻隔性，而且在弯曲后可充分抑制气体阻隔性的降低。本发明的气体阻隔性层叠膜非常适用于使用有机电致发光元件(有机EL元件)的柔性照明、有机薄膜太阳能电池、液晶显示器等。