公开(公告)号：CN101459103A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200810087089.4

申请日：2008-04-11

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 吉田达矢 ,  中森靖仁

IPC: H01L21/687 ,  B23Q1/25

Abstract: 本发明提供一种通过提高基台的刚性、能够不降低生产能力而在基台上正确地处理基板的台装置。台装置(1)具备基台(10)、在基台(10)上可移动地设置的台架部(30)、和支撑基台(10)的除振单元(50)。基台(10)具有将罐部件以框状连结而构建的上部框架(12)、将罐部件以框状连结而构建、与上部框架(12)上下离开而设置的下部框架(22)、和将上部框架(12)与下部框架(22)连结的连结部件(18)。

公开(公告)号：CN103718660B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280035355.3

申请日：2012-07-06

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中森靖仁 ,  矶圭二 ,  冈本裕司 ,  白石达朗 ,  市川英志 ,  内海和晴

IPC: H05K3/28 ,  B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26

CPC classification number: H05K3/28 ,  B05D1/26 ,  H05K2203/0126

Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。

公开(公告)号：CN103718660A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280035355.3

申请日：2012-07-06

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中森靖仁 ,  矶圭二 ,  冈本裕司 ,  白石达朗 ,  市川英志 ,  内海和晴

IPC: H05K3/28 ,  B05C5/00 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26

CPC classification number: H05K3/28 ,  B05D1/26 ,  H05K2203/0126

Abstract: 本发明提供一种基板制造装置，其底层基板保持于涂布台。喷嘴单元与保持于涂布台的底层基板对置，并从多个喷嘴孔朝向底层基板吐出薄膜材料的液滴。在贮存槽中蓄积薄膜材料。供给系统从贮存槽向喷嘴单元供给薄膜材料。第1热源对贮存槽进行加热。第1温度传感器对贮存槽的温度进行测定。第2热源对供给系统的至少一处进行加热。第2温度传感器对供给系统的至少一处的温度进行测定。温度控制装置根据第1温度传感器及第2温度传感器的测定结果对第1热源及第2热源进行控制，以使贮存槽内的薄膜材料的温度与在供给系统中流动的薄膜材料的温度限制在温度的目标范围内。

公开(公告)号：CN101274407A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810087277.7

申请日：2008-03-26

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中森靖仁 ,  吉田达矢

IPC: B23Q1/01

Abstract: 本发明提供一种载物台装置，即使为了实现装置的大型化时，也可以不使用特殊车辆而能够进行运输，并且可以容易进行基座的机械加工。在载物台装置(1)中，能够在与起重机架部(9)的移动方向垂直的水平方向(X)上以分型面(12、13)为界线分割基座(2)。由此，能够将载物台装置(1)分割成可以搭载于运输车的大小的主体部(1a)、分型部(1b)和分型部(1c)，并且分割成主体部(1a)、分型部(1b)和分型部(1c)后能够进行机械加工。

公开(公告)号：CN1319653C

公开(公告)日：2007-06-06

申请号：CN200410069688.5

申请日：2004-07-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中森靖仁 ,  镒广诚

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B23Q5/00

Abstract: 本发明提供一种通过降低滑动件部分的重心来使俯仰振动难以发生的工作台装置。本台式涂敷机用工作台装置包括：可以沿搭载被处理基板的基板台(100)的表面沿Y轴方向移动的第1滑动件和组装到第1滑动件上能够与第1滑动件一起沿Y轴的方向移动的、用来沿上下方向驱动喷嘴(140)的第2滑动件。第1滑动件由2个线性电动机构成的Y轴驱动机构(120A、120B)构成，该Y轴驱动机构能够沿设置在与基板台的两侧相对应的位置上、互相平行延伸的2根导轨(110A、110B)移动；第2滑动件由组装到2个Y轴驱动机构中的2个滑动楔块机构(10)构成。在这2个滑动楔块机构中的上下移动块(11)之间架设有喷嘴。

公开(公告)号：CN1575863A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410069687.0

申请日：2004-07-19

Applicant: 住友重机械工业株式会社

Inventor： 中森靖仁 ,  镒广诚

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/00 ,  B23Q5/00

Abstract: 本发明提供一种能够防止微小振动产生的涂敷不匀的台式涂敷机用工作台装置。本工作台装置用滑动件在设置于工作台(10)上的石平台(20)上配置的基板台(30)的上方沿一轴方向运送喷嘴(60)。滑动件包括由2台线性电动机构成的2个Y轴驱动机构(40A、40B)，该线性电动机具有能够沿设置在石平台的两侧沿上述一轴方向互相平行延伸地配置的2条导轨(21A、21B)行走的可动部。各线性电动机的轭铁介由结构上与石平台分离设置的、沿一个轴的方向延伸的臂(11A、11B)，沿导轨配置；工作台与石平台之间至少设置了1个减振单元(25)。