公开(公告)号：CN1525259A

公开(公告)日：2004-09-01

申请号：CN200410007276.9

申请日：2004-02-27

Applicant: 佳能株式会社 ,  株式会社日立高新技术

Inventor： 小野治人 ,  赤池正刚 ,  玉森研尔 ,  广濑太 ,  小山泰史 ,  寺崎敦则 ,  长永兼一 ,  中山义则

IPC: G03G15/04 ,  G03G15/043

CPC classification number: B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0435 ,  H01J2237/0437

Abstract: 偏转器备有具有多个贯通口、和用于控制通过该贯通口的带电粒子束的轨道，与该各贯通口的侧壁对置地设置的第1电极和第2电极构成的电极对的电极基片(400)、和为了在电极基片的各电极对上个别地加上电压，具有与各电极对连接的连接配线焊点的配线基片(500)，通过配线基片的连接配线焊点，接合地形成电极基片和配线基片。