公开(公告)号：CN107427986A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201680016080.7

申请日：2016-03-03

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 北川幸司 ,  清水裕一

IPC: B24B27/06 ,  B24B55/02 ,  B28D5/04 ,  H01L21/304

CPC classification number: B28D5/0076 ,  B24B27/06 ,  B24B27/0633 ,  B24B55/02 ,  B24B57/02 ,  B28D5/007 ,  B28D5/042 ,  Y02P70/179

Abstract: 本发明提供一种线锯装置，包含钢线列、喷嘴、工件输送机构，钢线列由卷绕于多个导线器且于轴向来回驱行的钢线形成，喷嘴系供给冷却剂或浆至钢线，工件输送机构将经支承的工件推压至钢线列，在自喷嘴供给冷却剂或浆的同时，通过将由工件输送机构所支承的工件推压至钢线列而切割入送，以将工件切断为晶圆状，其中喷嘴配置于钢线列的上方而与钢线列垂直相交，自经配置的喷嘴的轴向所看的左右两侧各配置有防风板。因此，即使减少冷却剂或浆的流量，亦能够将冷却剂或浆均匀供给至钢线列。

公开(公告)号：CN103906601A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201280051638.7

申请日：2012-10-04

Applicant: 信越半导体株式会社

Inventor： 北川幸司

IPC: B24B37/00 ,  B24B27/06 ,  B28D5/04 ,  C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: C09K3/1472 ,  B28D5/007 ,  B28D5/045 ,  C09K3/1409 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/304 ,  Y02P70/179 ,  B24B37/00 ,  B24B27/06

Abstract: 本发明是一种浆液的制造方法，其特征在于，将利用辊磨机或球磨机粉碎的磨粒的一部分或全部，利用喷射磨机进行再次粉碎，由此使上述磨粒的平均圆度为0.900以上，并将该平均圆度为0.900以上的磨粒和冷却剂混合而制造上述浆液。而且，本发明是一种浆液，其特征在于，混合在浆液中的磨粒的平均圆度为0.900以上。由此，在通过线锯的工件的切断中，即便在为了减少切口损失而使用磨粒直径比磨粒粒度号#2000的磨粒直径更小的磨粒的情况下，也能够抑制由于磨粒浓度的降低所导致的切断能力的降低，进而能够抑制由于切断质量的变差和生产率的降低所导致的成本增加。