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公开(公告)号：CN108732385A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810315823.1
申请日：2018-04-10
Applicant: 厦门大学
IPC: G01Q40/00
CPC classification number: G01Q40/00
Abstract: 本发明公开了一种扫描探针显微成像系统的漂移测量及自动校正方法。该方法首先在装入探针和样品、仪器开机进入稳定状态后，连续扫描一系列图像。以图像中的某些显著特征作为模板，利用图像模板匹配算法，分别计算出当前模板在各图像中的x和y方向上的位置。通过对每幅图像中模板位置的分析，得到当前扫描探针显微成像系统在x和y方向上的漂移方向和漂移速率，并根据扫描特探针系统的压电平台参数计算得到补偿该位移量的偏压的大小和极性。在实际扫描成像实验时，将补偿电压串联接入压电陶瓷的驱动电路实现补偿。本发明提供了一种扫描探针显微成像系统的漂移测量及自动校正方法，可降低系统漂移对成像质量的影响，提高探针扫描系统的定位精度和成像空间分辨率，具有重要的应用价值。
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