氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101337167B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200810110281.0

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围。该制造方法包括:在相对于薄膜支持基板可选择性地进行蚀刻的金属基体材料的一个面上,通过电镀形成Pd合金膜的膜形成工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上,通过把Pd合金膜与柱状凸部的上端面扩散接合,配设金属基体材料的扩散接合工序;及通过选择性蚀刻除去金属基体材料的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    采用湿蚀刻的电子部件的制造方法

    公开(公告)号:CN100416409C

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN02119271.5

    申请日:2002-03-29

    Abstract: 本发明提供一种制造方法,在通过湿蚀刻由导电性无机物层-绝缘层-导电性无机物层构成的叠层体或导电性无机物层-绝缘层构成的叠层体的绝缘层来制造电子部件时,成本低,无须使用废弃处理中存在问题的有机溶剂,来制造电子部件。涉及一种电子部件的制造方法,通过湿蚀刻由导电性无机物层-绝缘层-导电性无机物层构成的叠层体或导电性无机物层-绝缘层构成的叠层体来进行导电性无机物层的布图,之后通过湿蚀刻来进行绝缘层的布图。该叠层体中的绝缘层可进行湿蚀刻,为单层结构或两层以上的绝缘单元层的叠层结构,包括使用感光胶膜通过该湿蚀刻来进行绝缘层的布图。

    用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101422704B

    公开(公告)日:2011-12-14

    申请号:CN200810131734.8

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,是使用薄膜支持基板的氢气制造用过滤器的制造方法,其特征是,薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在该柱状凸部的非形成部位以贯通金属基板的方式形成的多个贯通孔,并且,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面积的20%~90%的范围,氢气制造用过滤器的制造方法包括:在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面的相反一侧的面上,配设绝缘性薄膜的配设工序;在薄膜支持基板的形成柱状凸部的面上形成镀铜层,将贯通孔的内部填补并覆盖柱状凸部的镀铜工序;把镀铜层平坦地除去,使柱状凸部的上端面露出,并与该上端面构成相同的同一平面的平坦化工序;通过电镀在柱状凸部的上端与镀铜层构成的平坦面上形成Pd合金膜的膜形成工序;及在除去绝缘性薄膜后,通过选择性蚀刻除去镀铜层的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

    氢气制造用过滤器制造方法

    公开(公告)号:CN101318109B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200810110279.3

    申请日:2003-07-23

    Abstract: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:在导电性基体材料的两面上,形成给定的抗蚀图案,以该抗蚀图案为掩模,从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻,形成多个贯通孔的蚀刻工序;通过电解电镀形成Pd合金膜,以便将所述导电性基体材料的所述贯通孔内堵塞的膜形成工序;以及除去所述抗蚀图案的除去工序。因此,可制造出用于燃料电池的改性器的、可稳定地进行高纯度氢气气体的生产的氢气制造用过滤器。

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