感光性组合物、保护膜以及具有保护膜的元件

    公开(公告)号:CN105093832B

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201510210007.0

    申请日:2015-04-29

    Inventor: 黄伟杰 施俊安

    Abstract: 本发明提供一种感光性组合物、保护膜及具有保护膜的元件。感光性组合物包括聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)以及溶剂(C)。聚硅氧烷(A)是由混合物聚缩合而得,其中混合物包括由式(1)表示的硅烷单体(a‑1)、由式(2)表示的硅烷单体(a‑2)以及含硅化合物(a‑3)。含硅化合物(a‑3)选自由式(3)表示的硅烷单体、硅氧烷预聚物以及二氧化硅粒子所组成的族群。感光性组合物可以制作出耐化性佳的保护膜。

    化学增幅型正型感光性树脂组成物及其应用

    公开(公告)号:CN109799680A

    公开(公告)日:2019-05-24

    申请号:CN201811343915.7

    申请日:2018-11-05

    Abstract: 本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物、附有铸模的基板的制造方法以及电镀成形体的制造方法。化学增幅型正型感光性树脂组成物包括树脂(A)、酚醛清漆树脂(B)、光酸产生剂(C)和溶剂(D),其中树脂(A)包含树脂(A-1)和树脂(A-2),树脂(A-1)是由第一混合物反应而得,第一混合物包括单体(a-1-1)及单体(a-1-2),单体(a-1-1)含有如式(a-1-1a)的结构:单体(a-1-2)含有环状醚基。树脂(A-2)是由第二混合物反应而得,第二混合物包括单体(a-2-1),单体(a-2-1)含有聚氧伸烷基链。化学增幅型正型感光性树脂组成物具有良好的感度,且其所形成的光阻图案具有良好的矩形性。

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