窒化ケイ素粉末、多結晶シリコンインゴット用離型剤及び多結晶シリコンインゴットの製造方法

    公开(公告)号:JPWO2018110560A1

    公开(公告)日:2019-07-04

    申请号:JP2017044606

    申请日:2017-12-12

    Abstract: 一方向凝固時のシリコンの溶融温度を高くした場合でも、あるいはシリコンの溶融時間を長くした場合でも、多結晶シリコンインゴットの離型性が良好な、多結晶シリコンインゴットの離型剤として好適に使用することができる窒化ケイ素粉末を提供することを目的とする。比表面積が0.4m 2 /g以上5m 2 /g以下の窒化ケイ素粉末であって、β型窒化ケイ素の割合が70質量%以上であり、D50が2μm以上20μm以下であり、D90が8μm以上60μm以下であり、Feの含有割合が100ppm以下であり、Alの含有割合が100ppm以下であり、FeおよびAl以外の金属不純物の含有割合の合計が100ppm以下であり、β型窒化ケイ素の結晶子径をD C としたときに、D C が300nm以上であることを特徴とする窒化ケイ素粉末を提供する。

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