公开(公告)号：CN101231301A

公开(公告)日：2008-07-30

申请号：CN200810004550.5

申请日：2008-01-22

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 山地隆行 ,  石川宽 ,  高桥勇治 ,  胜木隆史 ,  中泽文彦 ,  井上广章

IPC: G01P9/04 ,  G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5712 ,  G01C19/5628

Abstract: 本发明提供一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉振动器，所述第一音叉振动器具有第一基部和沿第一方向从所述第一基部延伸的第一臂；第二音叉振动器，所述第二音叉振动器具有第二基部和沿第二方向从所述第二基部延伸的第二臂；以及双平衡架部，所述双平衡架部具有围绕沿第四方向延伸的轴振动的驱动平衡架部和围绕沿第五方向延伸的轴振动的感测平衡架部，并且感测围绕沿第三方向延伸的轴的角速度。

公开(公告)号：CN101162144A

公开(公告)日：2008-04-16

申请号：CN200710152449.X

申请日：2007-10-12

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 山地隆行 ,  石川宽 ,  高桥勇治 ,  胜木隆史 ,  中泽文彦 ,  井上广章

IPC: G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  G01P15/097 ,  H01L41/08

CPC classification number: G01C19/5607 ,  H03H9/0519 ,  H03H9/1021 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/49002

Abstract: 本发明提供了振动传感器及其制造方法。该振动传感器包括：音叉振动器，其具有基座和从所述基座延伸出的多个臂；安装部，其用于安装所述音叉振动器；以及支撑构件，其将所述音叉振动器安装在所述安装部上，并且具有窄部。