公开(公告)号：JP2016180732A

公开(公告)日：2016-10-13

申请号：JP2015062307

申请日：2015-03-25

Applicant: 日本分光株式会社

Inventor： 会澤 見斗 ,  井上 勉 ,  薄 正輝

IPC: G01N21/65 ,  G01N21/64 ,  G01N21/27

CPC classification number: G01N21/65

Abstract: 【課題】広範囲のマッピング測定を、高検出感度・高速・高波長分解能で実行することができる顕微分光装置を提供すること。 【解決手段】ラマン分光装置は、励起光をライン状に照射する手段と、試料用の可動ステージと、ライン状照射領域からのラマン光を集光する対物レンズと、ラマン光の結像位置に設けた入射スリットと、その通過光を分散させる分光器と、ラマンスペクトル像を検出するCCD検出器と、可動ステージおよびCCD検出器を同期させてマッピング測定を制御する制御装置とを備える。制御手段は、可動ステージを制御してライン状照射領域を長手方向に直交する方向へ移動させるとともに、一回の光検出サイクルでライン状照射領域の移動範囲の平均的なスペクトルを一つ取得するように、ステージ移動中にCCD検出器のサイクルを実行するように構成する。 【選択図】 図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供可以以高检测灵敏度，高速度和高波长分辨率执行广泛的映射测量的微观光学装置。解决方案：拉曼光谱装置包括：线性地传递激发光的装置 ; 样品的可移动台; 将来自线性照射区域的拉曼光聚合的物镜; 设置在所述拉曼光成像的位置处的入射狭缝; 分散光的光谱仪; 检测拉曼光谱图像的CCD检测器; 以及通过使可移动台和CCD检测器同步来控制映射测量的控制装置。 控制装置被配置为控制可移动台沿与纵向正交的方向移动线性照射区域，并且在该台的移动中执行CCD检测器的周期，使得线性的移动范围内的一个平均光谱 在一个光检测周期中获取照射区域。选择图：图1