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公开(公告)号:CN103998414A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201280061108.0
申请日:2012-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C69/708 , C08F220/30 , C09D4/02 , C09D157/08 , C09K3/18 , G02B5/20 , G03F7/038
CPC classification number: G02B1/18 , C07C59/64 , C07C69/708 , C08F220/14 , C08F220/20 , C08F220/40 , C08F220/68 , C08F222/1006 , C08F2220/1825 , C08F2220/185 , C08F2220/1858 , C08F2220/303 , C09D133/16 , G02B27/0006 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/0388 , H01L29/66742 , H01L29/786 , H01L51/0004 , H01L51/0019 , H01L51/052 , Y10T428/24802 , Y10T428/31935 , C08F220/30 , C08F220/18 , C08F220/36 , C08F212/08 , C08F8/30 , C09D4/06 , G03F7/038 , C08F2220/302 , C08F2220/281 , C08F265/06 , C08F2220/1841 , C08F2220/1883
Abstract: 本发明提供一种固化性组合物、以及具有使该固化性组合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法,该固化性组合物能形成绝缘性、拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。本发明使用该固化性组合物来形成固化膜,该固化性组合物包含具有基于下式(m1)表示的拒液性化合物的单元(u1)的拒液性聚合物。[化1]其中,Cf为碳数1~20的氟代烷基或碳原子间具有醚性氧原子的碳数1~20的氟代烷基;R1和R2分别独立地为氢原子、碳数1~6的烷基或苯基;X为氧原子、硫原子、氮原子或NH;n为0~4的整数;m在X为氧原子、硫原子或NH时为1,在X为氮原子时为2;Z为R4R5C=CR3-CO-;R3、R4和R5分别独立地为氢原子或甲基。
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公开(公告)号:CN1223573C
公开(公告)日:2005-10-19
申请号:CN02803701.4
申请日:2002-01-16
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C67/03 , C07C67/287 , C07C67/14 , C07C69/708 , C07C41/18 , C07C43/17
CPC classification number: C07C67/287 , C07C41/24 , C07C51/60 , C07C67/03 , C07C67/14 , C07C59/135 , C07C69/708 , C07C69/63 , C07C43/17
Abstract: 本发明提供以少的工序数制造含氟酯的方法。该含氟酯的制造方法具有包含通过RAF-COOCF2-RAF和RA-CH2OH进行酯交换反应制得RAF-COOCH2-RA的酯交换工序、和通过将其在液相中氟化制得含RAF-COOCF2-RAF的反应生成物的氟化工序的特征。式中,RA为1价有机基、RAF为与RA相同的基、或为RA被氟化的1价有机基。
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公开(公告)号:CN1466562A
公开(公告)日:2004-01-07
申请号:CN01816297.5
申请日:2001-09-26
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C51/58 , C07C59/58 , C07C69/708 , C07C51/04 , C07C59/315 , B01F17/44
CPC classification number: C07C69/708 , B01F17/0035 , C07C51/04 , C07C51/412 , C07C51/60 , C07C59/135 , C07C67/14 , C07C67/287 , C07C59/58 , C07C53/50
Abstract: 提供高效制备酰氟类和羧酸盐类同时抑制副反应的方法。RA[OCH(CH3)CH2]nOH(1)和XCORB(RA和RB各自为氟化后成为全氟烷基的基团,X为卤原子,n为1~10的整数)(2)反应形成酯化合物(3);在液相中氟化所述化合物(3),所述氟化化合物(4)的酯键断开,制得全氟酰氟(5)。此外,水解这种全氟酰氟(5),然后和氨或碱金属氢氧化物反应,制得羧酸盐类(7)。
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公开(公告)号:CN103998414B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201280061108.0
申请日:2012-12-13
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C69/708 , C08F220/30 , C09D4/02 , C09D157/08 , C09K3/18 , G02B5/20 , G03F7/038
CPC classification number: G02B1/18 , C07C59/64 , C07C69/708 , C08F220/14 , C08F220/20 , C08F220/40 , C08F220/68 , C08F222/1006 , C08F2220/1825 , C08F2220/185 , C08F2220/1858 , C08F2220/303 , C09D133/16 , G02B27/0006 , G03F7/0046 , G03F7/027 , G03F7/032 , G03F7/033 , G03F7/0388 , H01L29/66742 , H01L29/786 , H01L51/0004 , H01L51/0019 , H01L51/052 , Y10T428/24802 , Y10T428/31935 , C08F220/30 , C08F220/18 , C08F220/36 , C08F212/08
Abstract: 本发明提供一种固化性组合物、以及具有使该固化性组合物固化而得的固化膜的物品及其制造方法,该固化性组合物能形成绝缘性、拒液性良好、即使照射波长300nm以上的紫外线也能充分地亲液化的具有拒液性的固化膜。本发明使用该固化性组合物来形成固化膜,该固化性组合物包含具有基于下式(m1)表示的拒液性化合物的单元(u1)的拒液性聚合物。[化1]其中,Cf为碳数1~20的氟代烷基或碳原子间具有醚性氧原子的碳数1~20的氟代烷基;R1和R2分别独立地为氢原子、碳数1~6的烷基或苯基;X为氧原子、硫原子、氮原子或NH;n为0~4的整数;m在X为氧原子、硫原子或NH时为1,在X为氮原子时为2;Z为R4R5C=CR3-CO-;R3、R4和R5分别独立地为氢原子或甲基。
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公开(公告)号:CN103946326A
公开(公告)日:2014-07-23
申请号:CN201280055867.6
申请日:2012-11-15
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C09D171/10 , B23K26/00 , B23K26/382 , H01L21/302 , H01L21/312 , H01L21/768 , H01L23/532
CPC classification number: C09D167/06 , B23K26/352 , B23K26/361 , C08F257/02 , C08G63/00 , C08G65/48 , C08J3/24 , C08J2365/00 , C08K5/0025 , C08K5/07 , C08K5/101 , C08K5/3475 , C08K5/3492 , C08L67/06 , C09D151/003 , H01L21/0212 , H01L21/02282 , H01L21/31127 , H01L23/49894 , H01L23/5329 , H01L29/7869 , H01L2924/0002 , H01L2924/00 , C08F222/1006
Abstract: 本发明提供可获得介电常数低、吸水性低且可进行激光加工的固化膜的固化性组合物、该固化膜的激光加工方法及多层布线结构体的制造方法。包含具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)的固化性组合物、对使该组合物固化而得的固化膜照射激光而除去该固化膜的一部分的激光加工方法、包括通过该加工方法在由该固化膜形成的绝缘膜上形成通孔的工序的多层布线结构体的制造方法。
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公开(公告)号:CN102947359A
公开(公告)日:2013-02-27
申请号:CN201180031283.0
申请日:2011-03-28
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F299/02 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/30
CPC classification number: C08L49/00 , C08F216/1408 , C08F220/30 , C08F222/18 , C08F290/06 , C08F299/02 , C08G65/007 , C08L27/12 , C08L29/10 , C08L33/16 , C08L35/02 , C08L65/00 , C09D4/06 , C09D171/00 , H01L21/02104 , H01L51/052 , C08F220/22 , C08F220/06 , C08F220/20 , C08F212/14
Abstract: 提供即使不经过高温下的加热步骤也能充分固化,能够获得耐溶剂性优异、低介电常数的固化膜的固化性组合物。一种固化性组合物,含有:具有交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A),数均分子量为140~5000、具有2个以上交联性官能团且不具有氟原子的化合物(B),具有下述单元(c1)和单元(c2)的共聚物(C)以及自由基聚合引发剂(D)。单元(c1)是碳原子间可以具有醚性氧原子、具有碳数20以下的氟烷基且不具有交联性官能团的单元。单元(c2)是具有交联性官能团的单元。
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公开(公告)号:CN102066443A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200980123597.6
申请日:2009-06-18
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08F290/06 , C08G65/40
CPC classification number: C08G65/4006 , C08F259/08 , C08F283/06 , C08F283/085 , C08F290/062 , C08L71/00 , C09D4/06 , C08F220/26 , C08L2666/04
Abstract: 本发明提供可获得介电常数低且成膜时的埋入平坦性良好的固化性组合物。该固化性组合物包含具备交联性官能团的含氟聚亚芳基预聚物(A)和分子量为140~5000、含交联性官能团但不含氟原子的化合物(B)。
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公开(公告)号:CN100519624C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200480025131.X
申请日:2004-09-29
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C08G65/40 , C08G65/48 , C08L71/10 , C08F299/06 , C09D171/10 , H01L21/312
CPC classification number: C08G65/4025 , H01L21/0212 , H01L21/02282 , H01L21/3127
Abstract: 提供可以形成兼具低介电常数、高耐热性、低双折射和高可挠性的固化物的交联性含氟芳族预聚物及其用途。由具有交联性官能团(A)和酚羟基的化合物(Y-1)及/或具有交联性官能团(A)和氟原子取代芳环的化合物(Y-2)、下述式(1)[式中,n表示0~2的整数,a、b分别独立地表示0~3的整数,Rf1和Rf2分别表示碳原子数小于等于8的含氟烷基。]所表示的含氟芳族化合物(B)和具有3个或3个以上的酚羟基的化合物(C)在脱HF剂的存在下进行缩合反应得到,具有交联性官能团(A)和醚键,数均分子量为1×103~5×105的交联性含氟芳族预聚物。
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公开(公告)号:CN1726182A
公开(公告)日:2006-01-25
申请号:CN200380105893.6
申请日:2003-12-11
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C69/753 , C07C69/708 , C07C35/52
CPC classification number: C07C69/753 , C07C35/52 , C07C69/708 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供了耐浸蚀性好、能用作光刻法用材料、并能用于氟化金刚烷衍生物的制备的新型化合物。即,本发明提供了用下式(3)表示的化合物及用下式(4)表示的化合物。A(-G-Q-R)n……(3);Af(-GfQ-Rf)n……(4);式中符号含义如下所述:A:金刚烷中的n个氢原子成为结合键的n价的基,并且不成为结合键的该氢原子可被烷基取代,R:含氟1价有机基,n:1~4的整数,G:-CH2-或单键,Q:-COO-或-OCO-,Af:与金刚烷的碳原子结合的n个氢原子成为结合键的n价的基,并且在不成为结合键的该氢原子可被烷基取代的基(A)中的至少1个形成C-H键的氢原子被氟原子取代的基,Rf:含氟1价有机基,Gf:-CF2-或单键。
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公开(公告)号:CN1486295A
公开(公告)日:2004-03-31
申请号:CN02803701.4
申请日:2002-01-16
Applicant: 旭硝子株式会社
IPC: C07C67/03 , C07C67/287 , C07C67/14 , C07C69/708 , C07C41/18 , C07C43/17
CPC classification number: C07C67/287 , C07C41/24 , C07C51/60 , C07C67/03 , C07C67/14 , C07C59/135 , C07C69/708 , C07C69/63 , C07C43/17
Abstract: 本发明提供以少的工序数制造含氟酯的方法。该含氟酯的制造方法具有包含通过RAF-COOCF2-RAF和RA-CH2OH进行酯交换反应制得RAF-COOCH2-RA的酯交换工序、和通过将其在液相中氟化制得含RAF-COOCF2-RAF的反应生成物的氟化工序的特征。式中,RA为1价有机基、RAF为与RA相同的基、或为RA被氟化的1价有机基。
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