公开(公告)号：CN103649002A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280034404.1

申请日：2012-07-12

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 广松邦明 ,  白井正信 ,  宫下纯一 ,  米道友广 ,  远藤健朗

IPC: C03C17/34

CPC classification number: C03C17/3417 ,  C03C17/002 ,  C03C2218/1525 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545

Abstract: 一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，通过CVD法利用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜，并将所述玻璃带切断，该制造方法中，层叠膜在Tg＋50℃以下形成，且层叠膜中至少2层以上的层在从Tg＋50℃到Tg的温度范围内形成。而且，形成层叠膜的全部层的温度范围内的玻璃带的每单位长度的下降温度K1为0℃/m＜K1＜10℃/m。

公开(公告)号：CN103649000A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280034332.0

申请日：2012-07-12

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 广松邦明 ,  白井正信 ,  宫下纯一 ,  米道友广 ,  远藤健朗

IPC: C03C17/245 ,  C03B25/08 ,  C03C17/34 ,  C23C16/40 ,  H01L31/049

CPC classification number: C03C17/2456 ,  C03B25/08 ,  C03C17/002 ,  C03C2218/1525 ,  C23C16/402 ,  C23C16/405 ,  C23C16/407 ,  C23C16/45578 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/545 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1884 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种带层叠膜的玻璃基板的制造方法，通过CVD法利用设置在退火炉内的多个喷射器在玻璃带上形成层叠膜，该制造方法中，层叠膜在Tg+50℃以下形成，对于各喷射器，将该喷射器与玻璃带的交换热量设为Q1(kW)、将与该喷射器成对的加热器与玻璃带的交换热量设为Q2(kW)且将玻璃的流量设为P(吨/天)时，关系式|Q1|-P×0.116≤|Q2|≤|Q1|成立。