公开(公告)号：CN1400627A

公开(公告)日：2003-03-05

申请号：CN02127383.9

申请日：2002-07-30

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 冈田要 ,  菊川信也

IPC: H01L21/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G03F1/64

Abstract: 薄膜包括具有上端和下端开口部分的箱形薄膜框架，以及与薄膜相粘结的薄膜片，以覆盖薄膜框架的一个开口部分，其中，薄膜框架是采用石英玻璃制成的，所制成的多个通气孔分布在薄膜框架的相对侧壁上，并且通气孔在薄膜框架高度方向上的尺寸约为薄膜框架高度的3/5。

公开(公告)号：CN108349047A

公开(公告)日：2018-07-31

申请号：CN201680060307.8

申请日：2016-09-23

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 山田实 ,  山田笃 ,  渋谷幸一 ,  菊川信也 ,  花岛圭辅

IPC: B23K35/26 ,  C22C13/00

Abstract: 提供一种接合用组合物，其含有锡、锗、及镍，前述锗的含量为10质量％以下，前述锗的含量与前述镍的含量满足以下的式(1)。(其中，[Ni]表示以质量％换算的镍的含量，[Ge]表示以质量％换算的锗的含量。)[Ni]≤2.8×[Ge]0.3···(1)。