边缘识别方法
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1109189A

    公开(公告)日:1995-09-27

    申请号:CN94108211.3

    申请日:1994-07-22

    Abstract: 本发明提供四种边缘识别方法,第一种兼用三角测量法与浓淡图像法求出含边缘面的形状,前法可得高度,后法可得边缘轮廓;第二种用三角测量法求出边缘轮廓,将构成该轮廓的部分点数据用作起点、中点和终点,由CAD描绘边缘;第三种求出面A的表达式a以及与该面相交的面B的表达式b,根据a、b两式求出A、B的交线,并判为边缘;第四种用三角测量法求出边缘轮廓,并由接触法正确求出的结果进行修正。

    形状测定方法及装置
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102713508A

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201180003359.9

    申请日:2011-05-31

    CPC classification number: G01B11/2441 G01B9/02007 G01B9/02058

    Abstract: 在向被测定物(105)入射的光和向参照反射镜(107)的光的光轴上,分别配置透镜组(202、203、204),该透镜组(202、203、204)使用准直透镜的焦点距离及/或阿贝数,对消色差条件、光束直径条件、减色差条件进行最佳化,通过使用该透镜组(202、203、204)对波面进行修正,能够减少波面像差的影响,在基于光干涉的形状测定中能提高析像度。

    折射率测定装置
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102007392A

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN201080001377.9

    申请日:2010-01-21

    CPC classification number: G01M11/0228

    Abstract: 本发明提供一种折射率测定装置。以将被检物(23)夹在中间的方式配置两个探针光学系统(22、24)以便用于测定被检物(23),由此,利用该被检物的干涉信号算出通过局部确定的被检物中的光的光程长度,而且,通过测定探针光学系统的位置而算出该部分的几何厚度,求出光程长度和几何厚度这两个值,并基于这些值和基准物的计算值,求出被检物的折射率分布。

    点群数据的曲面变换方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1143781A

    公开(公告)日:1997-02-26

    申请号:CN96106665.2

    申请日:1996-05-23

    Abstract: 本发明揭示一种点群数据的曲面变换方法,该方法从三维测量仪计量到的被测量物(10)的曲面三维坐标的实测点群数据(P),得到曲面数据(S),其特征在于,对三维坐标系统,在(P)的分布面(10a)的邻近处或边界位置设定具有规定图形形状的基本形状面(5a)后,在(5a)上确定多个基准点(Q),在(Q)上向(10a)设定标明方向的有向向量(6a),再对各基准点(Q)求出(6a)在所示方向的延长线与(10a)交叉的处理点群数据(D),并根据(D)求得(S)。

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