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公开(公告)号：CN103687820A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201280033875.0
申请日：2012-07-05
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: C02F1/78
CPC classification number: C02F1/78
Abstract: 本发明提供一种能够不产生使臭氧浓度降低的情况地将臭氧水供给至使用位置的臭氧水供给装置以及臭氧水供给方法。臭氧水供给装置（10），其具备：生成臭氧水的臭氧水生成装置（1）、形成有使来自臭氧水生成装置（1）的臭氧水分流的分支点（12、13、14）的主管（11）、联络分支点和使用位置的分支管（15、16、17）、以及防止在主管和分支管中流动的臭氧水的流速的降低的流速维持装置。主管（11）的流路剖面积，与分支点（12、13、14）的上游侧相比，在下游侧减少。主管（11）的流路剖面积的减少量，对应于在分支点被分流至分支管的臭氧水的流量。
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公开(公告)号：CN102007579B
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN200980113462.1
申请日：2009-03-25
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: C11D7/02 , C11D3/02 , C11D11/0047 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种发挥与以往的溶气水相比格外高的清洗效果的电子材料用清洗水。其是包含含有氧及氩作为溶解气体的溶气水的电子材料用清洗水，其中，溶解氧浓度为8mg/L以上，含有相对于溶解氧气量及溶解氩气量的合计量为2体积％以上的溶解氩气。本发明还提供使用该电子材料用清洗水清洗电子材料的方法。包含溶解氧/氩气的水的本发明的电子材料用清洗水，即使溶解气体量少或使用的化学品量少，也可以得高清洗效果，因此可以安全容易且价格低廉地制造。
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公开(公告)号：CN102007579A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980113462.1
申请日：2009-03-25
Applicant: 栗田工业株式会社
IPC: H01L21/304 , B08B3/08 , C11D7/02 , C11D17/08 , G02F1/13 , G02F1/1333 , G03F1/08
CPC classification number: C11D7/02 , C11D3/02 , C11D11/0047 , H01L21/02052
Abstract: 本发明提供一种发挥与以往的溶气水相比格外高的清洗效果的电子材料用清洗水。其是包含含有氧及氩作为溶解气体的溶气水的电子材料用清洗水，其中，溶解氧浓度为8mg/L以上，含有相对于溶解氧气量及溶解氩气量的合计量为2体积％以上的溶解氩气。本发明还提供使用该电子材料用清洗水清洗电子材料的方法。包含溶解氧/氩气的水的本发明的电子材料用清洗水，即使溶解气体量少或使用的化学品量少，也可以得高清洗效果，因此可以安全容易且价格低廉地制造。
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公开(公告)号：CN100525893C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN03806191.0
申请日：2003-03-18
Applicant: 栗田工业株式会社
CPC classification number: B01F15/0412 , B01F3/0446 , B01F3/04985 , B01F15/00123 , B01F15/00136 , B01F15/00344 , B01F15/0479 , B01F2201/01 , B01F2215/0036 , B01F2215/0096 , C02F2103/346
Abstract: 一种用于连续溶解的装置包括用于将气体溶解到主液流中的溶解部分，该部分包括：流量计，该流量计测量主液流的流量，并输出通过测量获得的数值的信号；以及用于控制流量的机构，该机构根据从流量计输入的信号来控制气体的供给量。一种用于将气体连续溶解到主液流中的方法，其中，气体量根据主液流流量来进行控制。因为即使在主液流的流量变化时也可以稳定地获得具有恒定浓度的溶液，因此可以无损失地供给用于电子材料的清洗水或表面处理水，该电子材料特别需要精确的清洗表面。
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