pH调节水制造装置
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113939357A

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN202080042415.9

    申请日:2020-02-25

    Inventor: 饭野秀章

    Abstract: pH调节水制造装置,具有在超纯水(W)的供给线(1)中具备铂族金属负载树脂柱(2)、膜式脱气装置(3)和气体溶解膜装置(4),且在铂族金属负载树脂柱(2)与膜式脱气装置之间设置有pH调节剂注入装置(5)的构成。在膜式脱气装置膜(3)的气相侧连接有非活性气体源(6),并且,在气体溶解膜装置(4)的气相侧也连接有非活性气体源(7),气体溶解膜装置(4)与排出线(8)连通。本发明的pH调节水制造装置能够高度控制pH。

    超纯水制造系统
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108779006B

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201780019033.2

    申请日:2017-03-24

    Abstract: 本发明提供一种超纯水制造系统,其能够除去水中的粒径20nm以下、特别是10nm以下的微粒,能够高效率且高水量制造超纯水。超纯水制造系统具备预备处理装置、及处理该预备处理装置的处理水的全量过滤装置。该预备处理装置以其处理水中的微粒数成为800~1200个/mL(粒径20nm以上)的方式进行处理。全量过滤装置作为过滤膜具备精密过滤膜或超滤膜,精密过滤膜的膜表面的孔径在0.05~1μm的范围的细孔的开口率为50~90%,膜厚为0.1~1mm;超滤膜的膜表面的孔径在0.005~0.05μm的范围的细孔数为1E13~1E15个/m2,膜厚为0.1~1mm,透过流束为10m3/m2/天时的膜间差压为0.02~0.10MPa。

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