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公开(公告)号：CN110515145B
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN201910413835.2
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 焦距可变透镜装置具有：透镜系统，折射率根据被输入的驱动信号而变化；物镜，配置在与透镜系统相同的光轴上；图像检测部，经由透镜系统及物镜对测量对象物的图像进行检测；共振锁定控制部，使驱动信号追随于透镜系统的共振频率；以及共振锁定延迟控制部，将基于共振锁定控制部的驱动信号(Cf)的变化量(dCi)的频率变化阶段化为预先设定的每个基准值(dCe)的n次变化而使其延迟。
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公开(公告)号：CN107121058B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201710088418.6
申请日：2017-02-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了对有弯曲形状的目标物体测量距测量头的距离而测量所述目标物体的表面的方法，特征在于包括以下步骤：设定目标物体的测量范围和凹凸的阈值的步骤；获取包含目标物体的弯曲形状的形状基准数据的步骤；测量在测量范围中的目标物体和测量头之间的距离，获取目标物体的表面的三维数据的步骤；从三维数据除去形状基准数据来获取弯曲除去数据的步骤；基于弯曲除去数据求第1基准数据，求将对于第1基准数据超过阈值的数据从弯曲除去数据除外进行平均的第2基准数据的步骤；以及提取对于第2基准数据超过阈值的数据，求凹凸的形状数据的步骤。
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公开(公告)号：CN111380466A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201911373287.1
申请日：2019-12-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 吉田悟 , 长滨龙也 , 矶部仁志 , 山中雅史 , 老田直人 , 久保光司 , 宍户裕子 , 大庭信男 , 大竹贵久 , 松井大树 , 新井雅典 , 伊贺崎史朗 , 仓桥佑旗 , 酒井裕志 , 渡边裕
Abstract: 一种图像测定装置(1)兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置，具有：图像传感器(14)；可变焦距透镜(液体透镜单元(13))，其配置于从工件(9)到图像传感器(14)的光轴(Ai)上；控制装置(拍摄用透镜控制部(30)、图像测定处理部(51))，其控制可变焦距透镜，并且处理图像传感器(14)的检测图像。并且，作为非接触位移检测装置，具有：图像传感器(24)；可变焦距透镜(液体透镜单元(23))，其配置于从工件(9)到图像传感器(24)的光轴(Ad)上；控制装置(位移检测用透镜控制部(40)、形状测定处理部(53))，其控制可变焦距透镜，并且处理图像传感器(24)的检测图像。
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公开(公告)号：CN107121058A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710088418.6
申请日：2017-02-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明公开了对有弯曲形状的目标物体测量距测量头的距离而测量所述目标物体的表面的方法，特征在于包括以下步骤：设定目标物体的测量范围和凹凸的阈值的步骤；获取包含目标物体的弯曲形状的形状基准数据的步骤；测量在测量范围中的目标物体和测量头之间的距离，获取目标物体的表面的三维数据的步骤；从三维数据除去形状基准数据来获取弯曲除去数据的步骤；基于弯曲除去数据求第1基准数据，求将对于第1基准数据超过阈值的数据从弯曲除去数据除外进行平均的第2基准数据的步骤；以及提取对于第2基准数据超过阈值的数据，求凹凸的形状数据的步骤。
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公开(公告)号：CN108803190B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201810358543.9
申请日：2018-04-20
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 可变焦距透镜装置(1)包括：折射率根据被输入的驱动信号(Cf)变化的透镜系统(3)；通过透镜系统(3)检测测量对象物的图像的图像检测单元(4)；输出驱动信号(Cf)以及发光信号(Ci)的透镜控制单元(6)；调整透镜控制单元(6)输出的驱动信号(Cf)的频率、振幅、以及图像检测单元(4)中的图像检测定时的透镜操作单元(71)，透镜控制单元(6)包括使驱动信号(Cf)追随透镜系统(3)的谐振频率的谐振锁定控制单元(611)，透镜操作单元(71)包括切换谐振锁定控制单元(611)的动作或者停止的谐振锁定操作单元(711)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110515144B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201910413832.9
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种包括通过周期性的驱动信号而焦距周期性地变化的液体透镜单元(3)的焦距可变透镜的校正方法，使用在表面上具有高度不同的许多个部分的校正工具(91)；反复执行以下的操作而制作校正表(712)：向焦距可变透镜输出规定电压的驱动信号(Cf)，由图像检测部(4)检测校正工具(91)的表面图像，在表面图像中检测对比度成为最大的2个位置，根据2个位置的焦距的差而计算焦点深度，使焦点深度与驱动信号(Cf)的电压对应而进行记录；当将焦距可变透镜设定为希望的焦点深度时，从校正表(712)读出与希望的焦点深度对应的电压的值，基于所读出的值而对向焦距可变透镜输出的驱动信号(Cf)的电压进行调整。
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公开(公告)号：CN110515146A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910413836.7
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 焦距可变透镜装置具有对图像检测条件进行设定的图像检测条件设定部；图像检测条件设定部能够设定反复进行图像检测循环的复合模式(S41)作为图像检测条件，所述图像检测循环包括至少1个多平面图像检测动作(S44)和至少1个单平面图像检测动作(S45)；在多平面图像检测动作(S44)中，在焦距可变透镜的焦距变化的1个周期的期间中，能够设定多个进行图像检测的焦距(S42)；在单平面图像检测动作(S45)中，在焦距可变透镜的焦距变化的1个周期的期间中，能够设定1个进行图像检测的焦距(S43)。
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公开(公告)号：CN110515144A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201910413832.9
申请日：2019-05-17
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种包括通过周期性的驱动信号而焦距周期性地变化的液体透镜单元(3)的焦距可变透镜的校正方法，使用在表面上具有高度不同的许多个部分的校正工具(91)；反复执行以下的操作而制作校正表(712)：向焦距可变透镜输出规定电压的驱动信号(Cf)，由图像检测部(4)检测校正工具(91)的表面图像，在表面图像中检测对比度成为最大的2个位置，根据2个位置的焦距的差而计算焦点深度，使焦点深度与驱动信号(Cf)的电压对应而进行记录；当将焦距可变透镜设定为希望的焦点深度时，从校正表(712)读出与希望的焦点深度对应的电压的值，基于所读出的值而对向焦距可变透镜输出的驱动信号(Cf)的电压进行调整。
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公开(公告)号：CN107121085A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201710102540.4
申请日：2017-02-24
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置和方法，该装置包括：测量传感器，该测量传感器在可测物体的圆筒部分的内壁被沿圆筒部分的周向划分出的每个测量区域处沿内壁的法向位移，与此同时以非接触的方式测量所述内壁的表面构造；W轴位移器，该W轴位移器使测量传感器沿W轴方向位移；θ轴位移器，该θ轴位移器在第一测量区域的表面构造测量完成后使测量传感器沿周向位移，从而使测量传感器面向在周向上与第一测量区域相邻的第二测量区域；以及控制器，该控制器在使测量传感器沿W轴方向位移的同时调整W轴方向的测量位置，以测量第二测量区域的表面构造。
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