公开(公告)号：CN103193085B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201210399211.8

申请日：2012-10-19

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希 ,  南孝

IPC: B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/68707

Abstract: 本发明涉及一种搬运系统，根据实施方式的搬运系统包括存储单元、指示部以及多个机器人手。这些机器人手能操作以保持薄板状工件。在所述存储单元中存储速度信息，该速度信息表示与保持所述工件的机器人手的规定速度相关联的该工件的温度。所述指示部从所述速度信息提取针对每个机器人手的规定速度，并且做出指示：以基于一组所提取的规定速度数据确定的代表速度或以低于该代表速度的速度，移动所有机器人手。

公开(公告)号：CN103253512A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201310051209.6

申请日：2013-02-16

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 南孝 ,  胜田信一

IPC: B65G49/05 ,  G05B19/418

CPC classification number: B25J9/0084 ,  B25J9/1682 ,  G05B2219/45031 ,  G05B2219/50036 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/681 ,  Y10S414/137

Abstract: 本发明提供一种传送系统，所述传送系统包括：基板定位装置；具有第一机器人与第二机器人的机器人；以及机器人控制装置，所述机器人控制装置包括第一机器人控制装置与第二机器人控制装置，所述第一机器人与所述基板定位装置连接至所述第一机器人控制装置，所述第二机器人连接至所述第二机器人控制装置。所述第一机器人控制装置包括获取单元以及传输单元，所述获取单元构造成从所述基板定位装置至少获取所述安装台的旋转中心与被定位的基板的中心位置之间的绝对偏差量，所述传输单元构造成根据由所述获取单元获取的绝对偏差量向所述第二机器人所连接的所述第二机器人控制装置传输校正信息。