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公开(公告)号：CN112877640A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202011303002.X
申请日：2020-11-19
Applicant: 株式会社日本显示器
Inventor： 山田哲行
Abstract: 本发明提供一种蒸镀掩模及其制造方法。一方式的蒸镀掩模包括设置有多个开口的薄膜状的掩模主体，多个开口各自在掩模主体的厚度方向上从掩模主体的第一面贯穿到第二面，多个开口各自的第一面与第二面之间的侧壁具有45°以上且85°以下的锥形形状的部分。一方式的蒸镀掩模的制造方法中，准备第一基板，在第一基板的第一面上涂敷光致抗蚀剂，用包含第一波长和与第一波长不同的第二波长的光来照射光致抗蚀剂的一部分，通过将除曝光的光致抗蚀剂的一部分以外的其他部分去除来形成抗蚀剂图案，在第一基板的第一面上的从抗蚀剂图案露出的区域形成金属层，去除抗蚀剂图案，去除第一基板。根据本发明，能够提供具有锥形形状的蒸镀用的蒸镀掩模。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110268089A
公开(公告)日：2019-09-20
申请号：CN201780085863.5
申请日：2017-10-30
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明的目的是在使用掩模进行的成膜中实现高精度的图案成膜。本发明提供一种蒸镀掩模，其特征在于，包括：掩模主体，其具有形成有图案开口的图案部和包围该图案部的框部；掩模框架，其用于支承上述掩模主体的框部；和配置在上述掩模主体与上述掩模框架之间的中间部件，其具有与上述掩模框架对应的形状，上述掩模主体和上述中间部件的第一面接合，上述掩模框架和上述中间部件的与上述第一面相反一侧的面接合。
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公开(公告)号：CN116970900A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310406122.X
申请日：2023-04-17
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明的一个目的是提供破损少的蒸镀掩模，蒸镀掩模具有：薄膜状的掩模主体；设置在掩模主体的周围的保持框；和连接掩模主体与保持框的连接部件，掩模主体包括：具有第1图案部的第1区域、包围第1区域且具有第2图案部的第2区域；和包围第2区域的第3区域，第1区域和第2区域配置在基准框内。另外，蒸镀掩模的掩模主体的第1区域与第2图案部隔开间隔，此外，蒸镀掩模中，第2区域外接于掩模主体的第1区域的外形。
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公开(公告)号：CN114438554A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111177121.X
申请日：2021-10-09
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明提供不具有毛刺的蒸镀掩模和不会形成毛刺的蒸镀掩模的制造方法。本发明的蒸镀掩模的制造方法中，在支承基板的第1面形成具有开口图案的掩模主体，在掩模主体上配置掩模框架，在支承基板的与第1面相反的一侧的第2面配置包含铁磁性体的临时固定件，利用临时固定件的磁力将掩模框架固定在掩模主体上，形成将掩模主体与掩模框架连接的连接部，将临时固定件和支承基板拆下。
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