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公开(公告)号:JP2016194519A
公开(公告)日:2016-11-17
申请号:JP2016100699
申请日:2016-05-19
Applicant: 株式会社東京精密
Abstract: 【課題】真円度測定のデータと表面粗さ測定のデータとに各々により得られたデータを相互に有効利用し、測定精度の向上等を図ることができる形状測定装置及び形状測定方法を提供する。 【解決手段】円柱状又は円筒状の測定対象物を測定する形状測定装置において、測定対象物を周方向に相対的に回転する回転移動部と、回転する測定対象物の真円度測定を行う第1測定部と、回転する測定対象物の表面粗さ測定を行う第2測定部と、を備え、第1測定部による真円度測定と、第2測定部による表面粗さ測定とを同時に行う。 【選択図】図13
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种形状测量装置和形状测量方法,其能够通过利用相互有效地分别从圆形度测量数据和表面粗糙度测量数据获得的数据来提高测量精度等。解决方案:一种形状测量装置, 测量柱状或圆柱形的测量对象包括用于沿圆周方向相对旋转测量对象的旋转传递部分,用于测量旋转测量对象的圆度的第一测量部分和用于测量旋转测量对象的表面粗糙度的第二测量部分 。 通过第一测量部分的圆度测量和第二测量部分的表面粗糙度测量同时进行。选择图:图13
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公开(公告)号:JP2016191664A
公开(公告)日:2016-11-10
申请号:JP2015072601
申请日:2015-03-31
Applicant: 株式会社東京精密
Abstract: 【課題】真円度測定のデータと表面粗さ測定のデータとに各々により得られたデータを相互に有効利用し、測定精度の向上等を図ることができる形状測定装置を提供する。 【解決手段】 本発明に係る形状測定装置100は、真円度測定装置の構成を有し、ワークWに対して両側から検出器24、124の測定子24B、124Bを当接させる。検出器24は真円度測定用であり、検出器124は表面粗さ測定用であり、それらから同時に取得されたデータを比較して外乱による外乱信号を除去し、測定精度の向上をはかる。 【選択図】図13
Abstract translation: 要解决的问题:提供能够通过有效地利用通过圆度测量数据和表面粗糙度测量数据获取的数据来提高测量精度的形状测量装置。解决方案:形状测量装置100具有圆度测量装置的结构, 并使检测器24和124的探针24B和124B从两侧与工件W接触。 检测器24用于圆度测量,检测器124用于表面粗糙度测量。 形状测量装置通过比较从检测器同时获取的数据来消除由于干扰引起的干扰信号,从而提高了测量精度。图13
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公开(公告)号:JP2016017780A
公开(公告)日:2016-02-01
申请号:JP2014139215
申请日:2014-07-05
Applicant: 株式会社東京精密
IPC: G01B5/04
Abstract: 【課題】平行2面間の距離を測定する 【解決手段】 被測定物の平行な2つの面の間の距離を測定する距離測定装置であって、前記被測定物を載置して回転する回転テーブルと、前記被測定物に接触させるための測定子と、前記測定子の変位を検出する検出器と、前記測定子を直線方向に移動させ、前記測定子の移動量を測定可能なリニアスケールを有するアームと、を備え、前記測定子を前記面に接触させて前記回転テーブルを回転させたときの前記測定子の連続的な変位を前記2つの面において測定し、前記測定子を前記2つの面間で移動させたときに前記リニアスケールが示す前記移動量を測定することにより前記2つの面の間の距離を測定する距離測定装置。 【選択図】図1
Abstract translation: 要解决的问题:测量两个平行平面之间的距离。解决方案:用于测量待测物体的两个平行平面之间的距离的距离测量装置包括:旋转台,其具有放置在其上的被测物体并旋转, 与要测量的物体接触的探针,用于检测探针的位移的检测器和用于沿直线方向移动探针并具有能够测量探针的移动量的线性刻度的臂。 距离测量装置通过在探头与平面接触并且旋转台旋转时测量两个平面之间的探头的连续位移来测量两个平面之间的距离,并且测量线性指示的移动量 探头在两个平面之间移动时的刻度。选择图:图1
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公开(公告)号:JP5745664B1
公开(公告)日:2015-07-08
申请号:JP2014052678
申请日:2014-03-14
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor: 高梨 陵
IPC: G01B5/00
Abstract: 【課題】構造を簡単にして製造費用を抑えることができ、測定位置の使用可能範囲を大きく確保して変位検出性能を向上できること。 【解決手段】第1検出要素及び第2検出要素を含む変位検出手段3と、第1検出要素が設けられるベース4と、ベース4に対して、アーム回転軸A回りに回転自在に連結され、第2検出要素が設けられたアーム5と、ベース4に対して、アーム回転軸Aに垂直な測定子回転軸M回りに回転自在に連結され、測定子回転軸Mから離間した位置に接触子7が設けられた測定子6と、を備え、測定子6は、アーム回転軸A方向に沿う測定子回転軸Mを挟んだ両側に、アーム5に対して離間可能に当接する一対の当接部13a、13bを有し、アーム5は、ベース4に対して、アーム回転軸A回りに沿う周方向の一方側へ向けて付勢されているとともに、測定子回転軸M回りに沿う周方向の両側からそれぞれ一対の当接部13a、13bを付勢可能である。 【選択図】図1
Abstract translation: 的结构,能够抑制制造成本,并简化位移检测性能可通过固定的测量位置的一个大的可使用范围得以改善。 和位移检测装置3包括一个第一检测元件和所述第二检测元件,一底座4,其中提供所述第一检测元件,基座4被可旋转地联接到该臂旋转轴A, 与臂5上的第二检测元件接触设置,底座4可旋转地联接到围绕所述臂旋转轴线的垂直测量元件旋转轴线M,在从轴线M测量元件旋转间隔开的位置 7和设置,其包括一个测量元件6,两侧的拾取器6,可分离对接触的抵靠臂5在测定元件旋转轴线M沿着臂旋转轴线的 部13a,13b中具有,臂5,基座4,具有在沿着臂旋转轴的周向方向朝向一侧施力,沿测头旋转轴的圆周方向M周围 每个从两侧是可能的偏差的一对抵接部13a的,13b上。 点域1
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公开(公告)号:JP2019138898A
公开(公告)日:2019-08-22
申请号:JP2018241291
申请日:2018-12-25
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor: 高梨 陵
Abstract: 【課題】被測定面の表面粗さと、被測定面の表面粗さ以外の表面形状とを同時に測定し、且つ触針の破損を防止可能な表面形状測定機を提供する。 【解決手段】検出器と、検出器を、第1回転方向と、第1回転方向とは反対側の第2回転方向とに揺動自在に支持する第1弾性支持部材と、第1弾性支持部材を、揺動支点の軸方向に垂直で且つ被測定面に平行な駆動方向に沿って移動させる駆動部と、駆動部により第1弾性支持部材を介して駆動される検出器を被測定面に沿って案内する直線状の検出器ガイドと、被測定面に接触する1又は複数の第1接触点を有し、検出器ガイドを、検出器の被測定面に対向する面側とは反対面側に対向する位置に支持するガイド支持部材と、検出器に設けられ、検出器を検出器ガイドに沿って移動自在に検出器ガイドにより支持させる検出器支持部材と、を備える。 【選択図】図3
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公开(公告)号:JP2017215327A
公开(公告)日:2017-12-07
申请号:JP2017131977
申请日:2017-07-05
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor: 高梨 陵
Abstract: 【課題】低コストにワークの撓みを低減することができるワークの支持装置を提供する。 【解決手段】水平なテーブル14と、テーブルの上面に設けられた3個の第1支点25と、第1支点ごとに揺動自在に支持された第1アーム26であって、且つアーム長手方向の中央部が第1支点により揺動自在に支持されている第1アームと、第1支点ごとの第1アームの上面において揺動自在で且つ第1支点から異なる方向に振り分けて複数設けられ、任意の方向に揺動自在な球支点27と、球支点ごとに個別に任意の方向に揺動自在に支持され、ワーク11にそれぞれ当接する複数のワーク座28と、を備える。 【選択図】図4
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公开(公告)号:JP2017156255A
公开(公告)日:2017-09-07
申请号:JP2016040636
申请日:2016-03-03
Applicant: 株式会社東京精密
Inventor: 高梨 陵
IPC: G01B5/20
Abstract: 【課題】真円度測定装置が持つ特有の問題である、スピンドルの回転軸が傾斜した際に、スピンドルの回転軸の傾斜量を検知し、検知したスピンドルの回転軸の傾斜量に基づいて測定精度の向上を図ることができる真円度測定装置を提供する。 【解決手段】真円度測定装置10によれば、第2センサ58で検出されたスピンドル20の基準値からの変位量D2から、第1センサ56で検出されたスピンドル20の基準値からの変位量D1を減算し、この変位量減算値を、第2高さ位置H2から第1高さ位置H1を減算した高さ減算値で除算する。これによって演算処理部46は、傾斜量Bを検知することができる。 【選択図】図2
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