公开(公告)号：CN104204278B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201380017086.2

申请日：2013-01-31

Applicant: 株式会社渥美精机

Inventor： 内山直树 ,  金井友美

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/24 ,  C23C14/56

CPC classification number: B05D1/12 ,  B05D1/36 ,  C23C14/228 ,  C23C14/24 ,  C23C14/28 ,  C23C14/56 ,  C23C14/562

Abstract: 一种粒子膜层积装置及使用该装置的粒子膜层积方法。本发明的粒子膜层积装置(1)具有：生成金属材料(9)的纳米粒子(12)的纳米粒子生成室(2)；生成树脂材料(11)的纳米纤维(13)的纳米纤维生成室(3)；在基板(18)上将纳米粒子(12)及纳米纤维(13)成膜并层积的层积室(4)；在成膜室(4)内将纳米粒子(12)成膜的纳米粒子成膜区域(15)；在成膜室(4)内将纳米纤维(13)成膜的纳米纤维成膜区域(16)；使基板(18)在纳米粒子成膜区域(15)与纳米纤维成膜区域(16)之间移动的移动单元(17)；对层积室(4)进行排气的排气单元(5)；将冷却气体分别导入纳米粒子生成室(2)及纳米纤维生成室(3)的冷却气体导入单元(8)。

公开(公告)号：CN104204281A

公开(公告)日：2014-12-10

申请号：CN201380015756.7

申请日：2013-01-31

Applicant: 株式会社渥美精机

Inventor： 内山直树 ,  金井友美

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/22

CPC classification number: C23C14/14 ,  C23C14/22 ,  C23C14/228 ,  C23C14/26

Abstract: 本发明的多元系的纳米粒子膜形成装置(1)具有：生成室(2)，其配设有多个金属材料(4a～4c)，由纳米粒子(8a～8c)生成多元系的纳米粒子(9)；成膜室(3)，其配设有基板(7)；粒子化单元(11a～11c)，其对应于多个金属材料(4a～4c)的各个而配设于生成室(2)内，粒子化单元(11a～11c)具有覆盖金属材料(4a～4c)的容器(12a～12c)、配设于容器(12a～12c)内的加热器(15a～15c)、设于容器(12a～12c)的用于使纳米粒子(8a～8c)流出的流出口(13a～13c)、设于容器(12a～12c)的用于导入冷却气体的导入口(14a～14c)。

公开(公告)号：CN101523200A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200780038163.7

申请日：2007-06-21

Applicant: 株式会社渥美精机

Inventor： 内山直树 ,  金井友美

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/12 ,  G01N33/0031 ,  G01N33/005

Abstract: 本发明涉及一种氢气浓度传感器以及氢气浓度测定装置，其中氢气浓度传感器具有基板、以及在基板上相互邻接而形成的多个氢检测膜。这些氢检测膜具有薄膜层以及形成于薄膜层表面的触媒层。当各触媒层接触氢气时，通过光触媒作用将薄膜层可逆地氢化，并且使电阻值可逆地变化。各薄膜层的、相对于氢气浓度变化产生电阻值变化的灵敏度以及氢气浓度测定范围是不同的。由此，氢气浓度传感器在氢气浓度较低的情况下，通过灵敏度高的薄膜层来测定氢气浓度，或者在氢气浓度较高的情况下，通过测定范围大的薄膜层来测定氢气浓度。