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公开(公告)号:CN106153246B
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201610301264.X
申请日:2016-05-09
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: G01L21/12
Abstract: 本发明提供一种所具有的结构可有效抑制由振动和冲击造成的细丝断裂的皮拉尼真空计。本发明的皮拉尼真空计具有设置在外壳(1)内的细丝(6);保持外壳后侧的气密性的第一端子台(2);彼此电绝缘并贯穿第一端子台的多个连接端子(31、32);以及由任意一个连接端子支撑的、长边在前后方向上的第一细丝支撑件(5)。细丝安装在第一细丝支撑件的前端部与其它的连接端子之间。在第一端子台的前侧设置有第二端子台(4),连接端子由贯穿第一端子台的第一部分(3a)、贯穿第二端子台的第二部分(3b)以及使第一部分和第二部分相互连接的第三部分(3c)构成。设置有将第二端子台和第一细丝支撑件保持在一起的第二细丝支撑件(7)。
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公开(公告)号:CN102374922B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201110209125.1
申请日:2011-07-25
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种低成本的传感器型真空计,能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力,适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1),该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E),处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上,按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表,设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部,切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。
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公开(公告)号:CN102374922A
公开(公告)日:2012-03-14
申请号:CN201110209125.1
申请日:2011-07-25
Applicant: 株式会社爱发科
Abstract: 本发明提供一种低成本的传感器型真空计,能够用单一的本体根据测定对象物内的气体(成分)来正确测定压力,适用于要正确测定多个气体的装置。其包括在测定对象物上可自由拆装的本体(1),该本体上一体化组装有传感器部(2、22)、提供测定压力所需的电力的电源部(E),处理来自传感器部的输出并指示压力的控制部(C)。在该控制部上,按多种气体的每种分别存储有将所述输出对应于压力的校正表,设置有选择要测定的特定种类的气体的输入部,切换到与已选择的气体相对应的校正表并处理来自传感器部的输出及指示压力。
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