角速度传感器
    13.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106662444B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201580031569.7

    申请日:2015-06-11

    Abstract: 一种角速度传感器,经由具有第1梁构成部件和第2梁构成部件的多个梁部将振动体支承于外周部,在将基板的面方向中的一方向设为第1方向、将基板的面方向之中的与第1方向正交的方向设为第2方向时,第1梁构成部件至少能够在第1方向上位移,第2梁构成部件与第1梁构成部件连结,至少能够在第2方向上位移,多个梁部中的至少一部分中,将第1梁构成部件和所述第2梁构成部件之中的外周部侧的梁构成部件相互一体化。

    物理量传感器
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104350359B

    公开(公告)日:2017-07-04

    申请号:CN201380028260.3

    申请日:2013-05-28

    CPC classification number: G01P1/003 G01C19/5747 G01P1/026 G01P3/14 G01P3/44

    Abstract: 在物理量传感器中,关于同相模式的共振频率f1和比其大的同相吸收模式的共振频率f3,设为同相吸收模式的共振频率f3与同相模式的共振频率f1的n倍的值的差的绝对值Δf3比对同相模式的共振频率f1乘以避免差D后的值大的关系(Δf3>f1×D),并至少使避免差D比0%大。由此,能够避免由共振干涉带来的振动激励成为最大位移。通过进行设定为满足这样的关系的同相模式的共振频率f1和同相吸收模式的共振频率f3的设计,使由共振干涉带来的振动激励降低。因而,能够不使用防振部件且不导致传感器灵敏度的降低,而使耐冲击性能提高。

    角速度传感器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106662444A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201580031569.7

    申请日:2015-06-11

    Abstract: 经由具有第1梁构成部件(16a~19a)和第2梁构成部件(16b~19b)的多个梁部(16~19)将振动体(12)支承于外周部(13),在将基板(10)的面方向中的一方向设为第1方向、将基板(10)的面方向之中的与第1方向正交的方向设为第2方向时,第1梁构成部件(16a~19a)至少能够在第1方向上位移,第2梁构成部件(16b~19b)与第1梁构成部件(16a~19a)连结,至少能够在第2方向上位移。并且,多个梁部(16~19)中的至少一部分中,将第1梁构成部件和所述第2梁构成部件(16a~19b)之中的外周部(13)侧的梁构成部件(16b~19b)相互一体化。

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