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公开(公告)号:CN105899560A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201480072882.0
申请日:2014-12-09
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18
CPC classification number: C08F293/005 , C08F2438/03 , C08L53/00 , G03F7/0002
Abstract: 本发明涉及嵌段共聚物及其用途。本发明可以提供具有优异的自组装特性并因此可以有效应用于多种用途的嵌段共聚物及其用途。
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公开(公告)号:CN110024081B
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN201780072438.2
申请日:2017-12-13
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: H01L21/027 , H10K71/00 , G03F7/00
Abstract: 本申请涉及用于制备图案化基底的方法。该方法可以应用于制造器件如电子器件和集成电路的过程;或应用于其他应用,例如集成光学系统、磁畴存储器的引导和检测图案、平板显示器、液晶显示器(LCD)、薄膜磁头或有机发光二极管等的制造;并且还可以用于在用于制造离散轨道介质(例如集成电路、比特图案化介质和/或磁存储装置如硬盘驱动器)的表面上构建图案。
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公开(公告)号:CN110023383B
公开(公告)日:2022-03-18
申请号:CN201780072437.8
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及嵌段共聚物及其用途。本申请可以提供层合体以及使用其生产图案化基底的方法,所述层合体能够在基底上形成高度取向的嵌段共聚物,并因此可以有效地应用于生产各种图案化基底。
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公开(公告)号:CN107750191B
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN201680034118.3
申请日:2016-06-13
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及一种层合体,一种用于制备其的方法以及所述层合体的用途。本申请可以提供一种用于即使在以大面积形成膜时也形成具有优异的厚度均匀性的包含自组装嵌段共聚物的膜的方法、包括借助于所述方法形成的聚合物膜的层合体及其用途。
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公开(公告)号:CN107075054B
公开(公告)日:2020-05-05
申请号:CN201580060097.8
申请日:2015-09-30
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08F212/14 , C08F236/02 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
Abstract: 本申请涉及嵌段共聚物及其用途。本申请可提供这样的嵌段共聚物及其用途:具有优异的自组装特性或相分离特性,并因此可用于多种应用。
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公开(公告)号:CN110023385A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201780074049.3
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00 , C08F220/18 , C08F220/22 , C08F297/02 , C08F220/44 , C08F220/38
Abstract: 本申请涉及用于生产聚合物膜的方法。本申请是能够在基底上有效地形成包含高度对准的嵌段共聚物而没有取向缺陷、配位数缺陷、距离缺陷等的聚合物膜的生产方法,其可以提供用于生产能够有效地应用于生产各种图案化基底的聚合物膜的方法和使用该聚合物膜生产图案化基底的方法。
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公开(公告)号:CN110023383A
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201780072437.8
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及嵌段共聚物及其用途。本申请可以提供层合体以及使用其生产图案化基底的方法,所述层合体能够在基底上形成高度取向的嵌段共聚物,并因此可以有效地应用于生产各种图案化基底。
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公开(公告)号:CN109983044A
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201780071982.5
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F220/38 , C08F220/22 , C08F228/02 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请涉及聚合物组合物及其用途。本申请可以提供具有优异的自组装特性并且即使在未进行中性处理的表面上也能够形成垂直取向结构的聚合物组合物及其用途,其中可以在短时间内有效地形成垂直取向的自组装结构。
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公开(公告)号:CN109906237A
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201780068358.X
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F212/04 , C08F212/14 , C08F220/44 , C08F220/38 , C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物具有优异的自组装特性或相分离特性,其也可以被自由地赋予所需要的各种功能。
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公开(公告)号:CN109890857A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201780067383.6
申请日:2017-11-29
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C08F220/18 , C08F297/02 , C08F220/22 , C08F220/38 , C08J5/22 , H01L21/027 , H01L21/311 , G03F1/00
Abstract: 本申请可以提供嵌段共聚物及其用途。本申请的嵌段共聚物具有优异的自组装特性或相分离特性,其也可以被自由地赋予所需要的各种功能。
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