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    電子銃
    13.
    发明专利
    電子銃 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018147871A

    公开(公告)日：2018-09-20

    申请号：JP2017101230

    申请日：2017-05-22

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋 ,  大饗 義久 ,  村田 英一

    IPC: H01J37/06 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01J1/148

    Abstract: 【課題】低仕事関数で高輝度の電子銃陰極を提供する。 【解決手段】ランタンまたはセリウム原子と、炭素原子と硼素原子が所定の隣接距離で結合した陰極材料からなる電子銃。本電子銃陰極の仕事関数はLaB6またはCeB6の仕事関数が、2.7eVであるのに対して、炭素原子を拡散または混入または結合させることにより、1.7eV以下に低減させることができ、1200℃以下の低温動作にて50kVで10 7 A/cm 2 steradianの輝度の達成が可能となる。仕事関数の低減により、高輝度低温動作が可能となる。真空度は10 −7 pascal以上の高真空で酸素濃度が硼素原子と炭素原子を燃焼させないようにして長寿命化を図る。また、炭素原子の供給物を陰極材料ないしヒータに付着せしめて供給源とすることで、さらなる長寿命化が可能となる。 【選択図】図1

    電子レンズおよびマルチコラム電子ビーム装置
    15.
    发明专利
    電子レンズおよびマルチコラム電子ビーム装置 审中-公开
    电子透镜和多列的电子束装置

    公开(公告)号：JP2016219292A

    公开(公告)日：2016-12-22

    申请号：JP2015104187

    申请日：2015-05-22

    Applicant: 株式会社PARAM

    Inventor： 安田 洋

    IPC: H01J37/143 ,  H01J37/141

    Abstract: 【課題】電子ビームによる直接描画を高速で行う。 【解決手段】Z軸方向に着磁された永久磁石リング(101)と、永久磁石リング(101)の上部より上方に向けて伸びる第1強磁性体(103)と、永久磁石リング(101)の下面に配置される第2強磁性体(104)と、第1磁性体の上部において外方に伸びる第3強磁性体と、外部磁界から隔離する第4強磁性体とを有する。第1強磁性体と第2強磁性体は第1ギャップ(106)を介し、第2強磁性体(104)と第4強磁性体(102)は第2ギャップ(107)を介し、第3強磁性体(105)と、第4強磁性体(102)は第3ギャップ(108)を介し対向する。 【選択図】図2

    Abstract translation: 本发明是进行在由所述电子束高速直接绘图。 而在Z轴方向（101）一种磁化的永久磁铁环，第一铁磁构件从永久磁铁环（101）和（103），永磁体环的上部向上方延伸（101） 布置在所述下表面（104）的第二强磁性体，在该第一磁性体的上部向外延伸的第三强磁性体，并从外部磁场中分离的第四铁磁材料。 第一强磁性体，并经由通过第二间隙（107），第三的第一间隙（106），第二强磁性体（104）和第四铁磁部件（102）的第二强磁性体 强磁性体（105），第四铁磁材料（102）通过第三间隙（108）相对。 .The

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