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公开(公告)号：JP2020186145A
公开(公告)日：2020-11-19
申请号：JP2019090661
申请日：2019-05-13
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリコン単結晶の引き上げ工程中にルツボの外面全体を確実に結晶化させるだけでなく結晶層の発泡剥離を防止し、これによりルツボの強度を高める。 【解決手段】石英ガラスルツボ1は、気泡を含まないシリカガラスからなる透明層11と、透明層11の外側に設けられ多数の気泡を含むシリカガラスからなる気泡層12と、気泡層12の外側に設けられ原料シリカ粉が半溶融状態で焼結した外面半溶融層13とを含む。気泡層12は、アルミニウムが添加されていないシリカガラスからなる内側気泡層12aと、内側気泡層12aの外側に設けられアルミニウムが添加されたシリカガラスからなるAl添加外側気泡層12bとを含み、Al添加外側気泡層12bに接する外面半溶融層13の少なくとも一部はアルミニウムが添加されたAl添加半溶融層13aである。Al添加半溶融層13aに含まれるアルミニウムの平均濃度が30ppm以上95ppm以下である。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2017160123A
公开(公告)日：2017-09-14
申请号：JP2017117368
申请日：2017-06-15
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボのコーナー部においてもシリコン単結晶の引き上げを適切に行うことを可能にするシリコン単結晶の製造方法を提供する。 【解決手段】本発明は、円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、コーナー部とを備えるシリカガラスルツボ内に保持されたシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げる工程を備える。シリカガラスルツボの内表面の三次元分布は、内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、内表面反射光を検出することによって決定される。この際、内部測距部と内表面との最大近接位置を設定しておき、内部測距部と内表面との距離を変化させてもピークが観測されない場合、内部測距部を最大近接位置よりも内表面に近づけないようにする。シリコン単結晶を引き上げ速度は、シリコン融液の液面が側壁部に位置している場合は一定であり、コーナー部に到達した後は三次元形状に基づく液面の下降速度に基づいて決定される。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6166793B2
公开(公告)日：2017-07-19
申请号：JP2015554979
申请日：2014-12-25
Applicant: 株式会社SUMCO
CPC classification number: G01N21/23 , C03C3/04 , C30B15/10 , C30B29/06 , G01L1/24 , G01L5/0047 , H04N5/232 , G01N2201/062 , G01N2201/0683
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017052699A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：JP2016246873
申请日：2016-12-20
Applicant: 株式会社SUMCO
IPC: C30B29/06
Abstract: 【課題】個々のシリカガラスルツボの容積を正確に把握してシリカガラスルツボ内のシリコン融液の初期液面レベルを事前に予測し、これにより種結晶の着液工程を確実に行う。 【解決手段】先行のシリコン単結晶の引き上げが終了した後、シリカガラスルツボ内に原料を追加して後続のシリコン単結晶の引き上げを行うマルチ引き上げ工程を含み、1回目のシリコン単結晶の引き上げ工程において、シリコン単結晶の引き上げのための種結晶の着液制御を行い、2回目以降のシリコン単結晶の引き上げ工程では、先行のシリコン単結晶の重量からシリカガラスルツボ内に残留しているシリコン融液の残量を求め、シリカガラスルツボの内表面の3次元形状及びシリコン融液の残量に基づいて、後続のシリコン単結晶の引き上げに用いるシリコン融液の初期液面レベルの予測値を満たす原料の追加充填量を求める。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2016064934A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193116
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定することが可能なルツボ測定方法の提供。 【解決手段】測定の対象となるシリカガラスルツボにレーザーポインタ2を用いてレーザー光を出射し、シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定することにより、シリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を把握するルツボ測定方法。前記シリカガラスルツボに入射したレーザー光が透過する領域を気泡含有量の少ない層である透明層と、レーザー光が散乱する領域を気泡含有量が多い層である気泡含有層とで構成され、レーザー光の散乱の強さに強弱がある場合には、気泡含有層が複数の層により構成される。 【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种无损地测量石英玻璃坩埚层的厚度方向结构的坩埚测量方法。解决方案：坩埚测量方法获得二氧化硅厚度方向的层的结构 通过使用激光指示器2向用作测量对象的石英玻璃坩埚发射激光并测量在石英玻璃坩埚的厚度方向上的每个位置处的散射环境。 进入二氧化硅玻璃坩埚透射的激光的区域由具有较少泡沫成分的层的透明层构成。 激光散射的区域由具有更多泡沫成分的层的含泡沫层构成。 当激光强度更强且更弱时，含泡沫层由多个层组成。选择图：图5
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公开(公告)号：JP2016064933A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193115
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定することが難しいため、望ましい品質を有するシリカガラスルツボを製造することが難しい、という問題を解決すること。 【解決手段】回転モールド法により製造されるシリカガラスルツボの製造方法であって、シリカガラスルツボ内に入射されたレーザー光の、当該シリカガラスルツボの厚み方向の各位置の散乱状況を測定する工程を有する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：为了解决在厚度方向难以非破坏性地测量石英玻璃坩埚层的结构的问题，因此难以制造具有期望质量的石英玻璃坩埚。 ：通过旋转成型法制造石英玻璃坩埚的方法包括测量在石英玻璃坩埚的厚度方向上的每个位置处进入石英玻璃坩埚的激光的散射情况的步骤。图2
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公开(公告)号：JP2016064932A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193114
申请日：2014-09-22
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】非破壊でシリカガラスルツボの厚み方向の層の構造を測定することが難しいため、望ましい品質を有するシリカガラスルツボを実現することが難しい、という問題を解決すること。 【解決手段】シリコン単結晶引き上げに用いるシリカガラスルツボであって、シリカガラスルツボは、当該シリカガラスルツボの内面から外面に向かって、当該シリカガラスルツボに出射されたレーザー光を透過する光透過層と、光透過層の外側に位置する光散乱層と、を有し、光透過層は、シリカガラスルツボに出射したレーザー光の散乱状況に基づいて測定される厚さが、シリカガラスルツボの縁の全周に亘って所定の範囲内である。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：为了解决在厚度方向难以非破坏性地测量石英玻璃坩埚层的结构的问题，因此难以提供具有期望质量的石英玻璃坩埚。 ：用石英玻璃坩埚拉起硅单晶。 石英玻璃坩埚具有允许从石英玻璃坩埚的内表面朝向外表面发射到石英玻璃坩埚的激光的透光层和位于透光层外侧的光散射层。 透光层被配置为使得基于发射到石英玻璃坩埚的激光的散射环境测量的厚度在石英玻璃坩埚的边缘的所有圆周上都在预定范围内。选择图： 图2
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公开(公告)号：JP2016028249A
公开(公告)日：2016-02-25
申请号：JP2015191007
申请日：2015-09-29
Applicant: 株式会社SUMCO
Abstract: 【課題】シリカガラスルツボの気泡分布の三次元分布を高精度に決定する方法を提供する。 【解決手段】内表面側に透明シリカガラス層13と、外表面側に気泡含有シリカガラス層15を有するシリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部17を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部と内表面との間の内表面距離を測定し、2つのピークのうちの外表面側のピークの位置によって内部測距部と界面との間の内表面距離を測定し、シリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、各測定点に対応した位置のルツボの壁での気泡分布の三次元分布を決定する。 【選択図】図2
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于以高精度确定石英玻璃坩埚中气泡分布的三维分布的方法。解决方案：一种用于确定石英玻璃坩埚中气泡分布的三维分布的方法包括以下步骤 沿着内表面侧具有透明石英玻璃层13的石英玻璃坩埚的内表面和外表面侧的含气泡石英玻璃层15以非接触方式移动内部测距部17 ; 利用内侧测距部分的激光束在运动路径上的多个测量点中将石英玻璃坩埚的内表面倾斜地照射，并且在改变内部测距部分和内表面之间的距离和 激光束发射方向，以便能够通过使用激光位移计测量激光束的反射光来观察两个峰值，测量内部测距部分和内表面之间的内表面距离内部的峰值位置 在两个峰之间的表面侧，并且通过外表面侧的两个峰之外的峰值位置测量内部测距部分和界面之间的界面距离; 计算石英玻璃坩埚的内表面的三维形状; 以及确定坩埚壁在与每个测量点相对应的位置处的气泡分布的三维分布。图2
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