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公开(公告)号：JP2021089294A
公开(公告)日：2021-06-10
申请号：JP2021025402
申请日：2021-02-19
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】高感度且つ高精度な検出が可能な光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置は、窓部が設けられたパッケージと、パッケージ内において、窓部から入射した光を透過させるファブリペロー干渉フィルタ10Aと、パッケージ内において、ファブリペロー干渉フィルタ10Aを透過した光を検出する光検出器と、を備える。ファブリペロー干渉フィルタ10Aは、窓部側の第1表面21a及び光検出器側の第2表面21bを有する基板21と、第1表面21aに配置され、第1ミラー部35及び第2ミラー部36が設けられた第1層構造体30と、第2表面21b側に一体的に設けられ、第1ミラー部35及び第2ミラー部36を透過した光を光検出器に集光するレンズ部50と、を有する。光の入射方向から見た場合に、レンズ部50は、空隙Sの内側に位置している。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JPWO2019098142A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：JP2018041728
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: H01L21/67
Abstract: 吸着方法は、基板と、前記基板上に設けられ、前記基板と反対側に臨む主面を含む積層構造部と、前記主面に交差する方向からみて前記積層構造部の外側に位置し、前記主面よりも前記基板側に窪む薄化部と、を備えるファブリペロー干渉フィルタを吸着コレットを用いて吸着する吸着方法であって、前記主面に対向するように前記吸着コレットを配置する第1工程と、前記第1工程の後に、前記吸着コレットを前記ファブリペロー干渉フィルタに接触させる第2工程と、前記第2工程の後に、前記吸着コレットによって前記ファブリペロー干渉フィルタを吸着する第3工程と、を備える。
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公开(公告)号：JP2020003503A
公开(公告)日：2020-01-09
申请号：JP2019164495
申请日：2019-09-10
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタを備える光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置は、距離が可変とされた第1ミラー及び第2ミラーを有し、第1ミラーと第2ミラーとの距離に応じた光を透過させる光透過領域を有するファブリペロー干渉フィルタと、光透過領域を透過した光を検出する光検出器と、ファブリペロー干渉フィルタの底面のうち光透過領域の外側の部分が載置された第1載置面、及び、光検出器の底面が載置された第2載置面を有する支持体と、を備える。支持体には、ファブリペロー干渉フィルタと第2載置面との間の空間であって、光透過領域を光が透過する方向に垂直な方向における幅が、光透過領域を光が透過する方向に平行な方向における幅よりも大きい空間が設けられている。空間において、光検出器の端子は、支持体の表面に設けられたパッドと、ワイヤによって電気的に接続されている。 【選択図】図5
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公开(公告)号：JP2018189775A
公开(公告)日：2018-11-29
申请号：JP2017091335
申请日：2017-05-01
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタを用いて安定した光の計測を可能とする光計測制御プログラムを提供する。 【解決手段】光計測制御プログラムは、空隙を介して互いに対向する一対のミラー部を有し、一対のミラー部間に生じる電位差に応じて一対のミラー部間の距離が変化するファブリペロー干渉フィルタと、ファブリペロー干渉フィルタを透過した光を検出する光検出器と、を含む光検出装置において、光検出器から出力される電気信号を取得することによって計測対象となる光を計測する処理をコンピュータに実行させる光計測制御プログラムであって、電気信号の取得が開始される前に、一対のミラー部間に生じる電位差を計測対象の光の波長に応じた設定電位差に達するまで段階的に増加させるように制御する電圧制御部、及び、電圧制御部が一対のミラー部間に設定電位差を生じさせた状態で、電気信号を取得する信号取得部、としてコンピュータを機能させる。 【選択図】図5
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2018173316A
公开(公告)日：2018-11-08
申请号：JP2017070580
申请日：2017-03-31
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】高感度且つ高精度な検出が可能な光検出装置を提供する。 【解決手段】光検出装置1Aは、光を入射させる開口2aが形成されたパッケージ2と、開口2aを塞ぐようにパッケージ2の内面に配置された光透過部100と、パッケージ2内に配置され、光透過部100を透過した光を透過させるファブリペロー干渉フィルタ10と、パッケージ2内に配置され、ファブリペロー干渉フィルタ10を透過した光を検出する光検出器8と、を備える。光透過部100は、バンドパスフィルタ14と、レンズ部16と、を含んで一体的に構成されている。バンドパスフィルタ14は、パッケージ2内に配置され、ファブリペロー干渉フィルタ10に入射させる光を透過させる。レンズ部16は、ファブリペロー干渉フィルタ10に入射させる光を集光する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP2018128703A
公开(公告)日：2018-08-16
申请号：JP2018093874
申请日：2018-05-15
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
Abstract: 【課題】ファブリペロー干渉フィルタを製造するに際し、製造効率及び歩留まりの両方を向上させることができるウェハ構造体を提供する。 【解決手段】 ウェハ構造体は、格子状に延在する複数のラインのそれぞれに沿って複数のファブリペロー干渉フィルタに切断される予定のウェハ構造体である。ウェハ構造体は、ウェハと、ウェハの第1主面に形成された第1ミラー層と、第1ミラー層上に形成された犠牲層と、犠牲層上に形成された第2ミラー層と、を備える。第1主面には、第1ミラー層、犠牲層、及び第2ミラー層の少なくとも1つが部分的に薄化された第1薄化領域が、格子状に延在する複数のラインのそれぞれに沿うように形成されている。 【選択図】図7
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公开(公告)号：JP6310170B2
公开(公告)日：2018-04-11
申请号：JP2018005745
申请日：2018-01-17
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G01N21/65
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01J3/02 , G01J3/0205 , G01J3/12 , G01J3/44 , G01J3/4412 , G01N2201/02 , G01N2201/0227 , G01N2201/06113
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公开(公告)号：JP2018010038A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2016136814
申请日：2016-07-11
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G02B26/00
Abstract: 【課題】良好な光透過特性が得られるファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置を提供する。 【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ10は、互いに対向する第1表面21a及び第2表面21bを有する基板21と、第1表面21aに配置された第1層構造体15と、第2表面21bに配置された第2層構造体16と、を備える。第1層構造体15には、空隙Sを介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部41及び第2ミラー部42が設けられている。第2層構造体16には、第2表面21bに沿った方向における一方の側と他方の側とに第2層構造体16の少なくとも一部を分離する分離領域64が形成されている。 【選択図】図4
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公开(公告)号：JP2017215559A
公开(公告)日：2017-12-07
申请号：JP2016163928
申请日：2016-08-24
Applicant: 浜松ホトニクス株式会社
IPC: G02B26/02
Abstract: 【課題】製造効率及び歩留まりの両方を向上させることができるファブリペロー干渉フィルタの製造方法を提供する。 【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ1の製造方法は、ウェハ110の第1主面110aに、複数の第1ミラー部31を有する第1ミラー層220、複数の除去予定部50を有する犠牲層230、及び複数の第2ミラー部32を有する第2ミラー層240を形成し、第1ミラー層220、犠牲層230及び第2ミラー層240の少なくとも1つが各ライン10に沿って部分的に薄化された第1薄化領域290を形成する形成工程と、形成工程の後に、レーザ光の照射によって、各ライン10に沿ってウェハ110の内部に改質領域を形成し、各ライン10に沿ってウェハ110を複数の基板11に切断する切断工程と、エッチングによって犠牲層230から除去予定部50を除去する除去工程と、を備える。 【選択図】図7
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