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公开(公告)号：CN103383284B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310278543.5
申请日：2009-05-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B7/027 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种高可靠性的分光模块。在本发明所涉及的分光模块（1）中，向分光部（4）行进的光L1在通过光通过孔（50）的时候，穿过朝着基板（2）侧变得越来越窄的光入射侧部（51），只有入射到以与光入射侧部（51）的底面（51b）相对的形式形成的光出射侧部（52）的光从光出射开口（52a）出射。为此，入射到光入射侧部（51）的侧面（51c）或者底面（51b）的杂散光M被反射到与光出射侧部（52）相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部（52）。因此，能够提高分光模块（1）的可靠性。
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公开(公告)号：CN104303032A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201380023122.6
申请日：2013-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0289 , G01J3/36 , G01J3/51
Abstract: 分光传感器(1A)包括干涉滤光部(20A)、光检测基板(30A)和隔板(15)。干涉滤光部(20A)具有腔层(21)以及隔着腔层(21)相对的第1和第2镜层(22、23)，根据入射位置选择性地使规定的波长范围的光从第1镜层(22)侧透过至第2镜层(23)侧。光检测基板(30A)具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)，对入射到受光面(32a)的光进行检测。隔板(15)从腔层(21)到达第1和第2镜层(22、23)的至少一方，在从与受光面(32a)交叉的规定的方向观察的情况下将干涉滤光部(20A)光学性地分离。
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公开(公告)号：CN104272070A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023137.2
申请日：2013-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0259 , G01J3/0291 , G01J3/36 , G01J3/45
Abstract: 分光传感器(1A)包括：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；以及具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包括与受光面(32a)对应的第1滤光区域(24)和包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。第1滤光区域(24)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离变化，第2滤光区域(25)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离固定。
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公开(公告)号：CN103842784A
公开(公告)日：2014-06-04
申请号：CN201280049230.6
申请日：2012-09-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0229 , G01J3/26 , G01J3/2803 , G01J3/36 , G01J3/513 , G01J2003/1234 , G01J2003/2806
Abstract: 分光传感器（1）具备：具有空腔层（21）以及经由空腔层（21）而相对的第1以及第2镜层（22,23）并且对应于入射位置选择性地使规定的波长范围的光透过的干涉滤光部（20）、被配置于第1镜层（22）侧并且使入射到干涉滤光部（20）的光透过的光透过基板（3）、被配置于第2镜层（23）侧并且检测透过了干涉滤光部（20）的光的光检测基板（4）。空腔层（21）具有：被第1以及第2镜层（22,23）夹持的滤光区域（24）、从滤光区域（24）取得规定的距离来包围滤光区域（24）的环状的包围区域（25）、连接滤光区域（24）的光检测基板（4）侧的端部（24e）和包围区域（25）的光检测基板（4）侧的端部（25e）的环状的连接区域（26）。
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公开(公告)号：CN103383284A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310278543.5
申请日：2009-05-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/04 , G01J3/18 , G01J3/2803 , G02B7/027 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种高可靠性的分光模块。在本发明所涉及的分光模块（1）中，向分光部（4）行进的光L1在通过光通过孔（50）的时候，穿过朝着基板（2）侧变得越来越窄的光入射侧部（51），只有入射到以与光入射侧部（51）的底面（51b）相对的形式形成的光出射侧部（52）的光从光出射开口（52a）出射。为此，入射到光入射侧部（51）的侧面（51c）或者底面（51b）的杂散光M被反射到与光出射侧部（52）相反的一侧，所以能够抑制杂散光入射到光出射侧部（52）。因此，能够提高分光模块（1）的可靠性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119678018A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202380058222.6
申请日：2023-04-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：封装件，其具有开口；光透过部，其堵塞开口，且具有位于封装件内的光出射面；法布里‑帕罗干涉滤波器，其包含相互的距离可变的一对镜部；光检测器；以及第一光圈部，其具有在封装件内位于光出射面和法布里‑帕罗干涉滤波器之间的第一光圈。第一光圈部包含包围第一光圈的第一包围部分。第一包围部分中的法布里‑帕罗干涉滤波器侧的表面与法布里‑帕罗干涉滤波器分离，且具有光吸收性。
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公开(公告)号：CN118258488A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410400010.8
申请日：2020-10-06
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置包括：配线基板；配置在配线基板的安装面的第1支承部；法布里‑珀罗干涉滤光片，具有相互的距离为可变的第1反射镜部和第2反射镜部，外缘部配置在第1支承部的第1支承区域；光检测器，在第1支承部的一侧以与第1反射镜部和第2反射镜部相对的方式配置在安装面；和配置在安装面的温度检测器，温度检测器以在从与安装面垂直的第1方向看时、温度检测器的至少一部分与法布里‑珀罗干涉滤光片的一部分重叠的方式，且以在从第1支承部与光检测器排列的第2方向看时、温度检测器的至少一部分与第1支承部的一部分重叠的方式，配置在安装面，第2方向上的温度检测器与第1支承部之间的第1距离，小于第2方向上的第1支承区域的第1宽度。
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公开(公告)号：CN110603430B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201880028870.6
申请日：2018-04-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光测量控制程序为在包含法布里‑珀罗干涉滤光器及光检测器的光检测装置中，通过取得自光检测器输出的电信号而使计算机执行对成为测量对象的光进行测量的处理的光测量控制程序；上述法布里‑珀罗干涉滤光器具有经由空隙而彼此相对的一对镜面部，且一对镜面部间的距离对应于一对镜面部间产生的电位差而变化；上述光检测器检测透过法布里‑珀罗干涉滤光器的光；且该光测量控制程序使计算机作为以下两者发挥功能：电压控制部，其在开始电信号的取得前，将一对镜面部间产生的电位差控制为阶段性增加直至达到与测量对象的光的波长对应的设定电位差；及信号取得部，其在电压控制部在一对镜面部间产生设定电位差的状态下取得电信号。
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公开(公告)号：CN115524006A
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202211259023.5
申请日：2018-02-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：封装体，其设置有窗部；法布里‑珀罗干涉滤波器，其在封装体内，使自窗部入射的光透过；及光检测器，其在封装体内，检测透过了法布里‑珀罗干涉滤波器的光。法布里‑珀罗干涉滤波器具有：基板，其具有窗部侧的第1表面及光检测器侧的第2表面；第1层构造体，其配置于第1表面，设置有第1镜部及第2镜部；及透镜部，其一体地设置于第2表面侧，且将透过了第1镜部及第2镜部的光聚光于光检测器。
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公开(公告)号：CN111406206B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN201880075330.3
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的光检查装置具备：晶圆支撑部，其将构成有互相相对的第1镜部与第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的晶圆，以第1镜部与第2镜部互相相对的方向沿基线的方式支撑；光出射部，其使沿基线入射至多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光出射；及光检测部，其检测沿基线透过多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的光。晶圆支撑部具有使光沿基线通过的光通过区域。
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