保护膜形成用复合片
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN106489189A

    公开(公告)日:2017-03-08

    申请号:CN201580032859.3

    申请日:2015-09-03

    Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用复合片,其具有粘合片、和叠层于粘合片的所述粘合剂层侧的保护膜形成膜,所述粘合片是粘合剂层叠层于基材的一面侧而形成的,其中,在对所述基材施加0.1g/mm的载荷并在130℃下加热2小时再冷却至23℃的情况下,所述基材在加热后相对于加热前在MD方向及CD方向的伸缩率均为95~103%,所述基材在23℃下的MD方向及CD方向的拉伸弹性模量均为100~700MPa。

    保护膜形成用复合片及半导体芯片的制造方法

    公开(公告)号:CN111107994A

    公开(公告)日:2020-05-05

    申请号:CN201880060878.0

    申请日:2018-10-25

    Abstract: 本发明为一种保护膜形成用复合片,其含有支撑片与设置在该支撑片上的能量射线固化性的保护膜形成用膜,所述保护膜形成用复合片中,该保护膜形成用膜含有能量射线固化性成分(a0)及非能量射线固化性聚合物(b),该支撑片的与该保护膜形成用膜接触的层含有树脂成分(X),该能量射线固化性成分(a0)与该非能量射线固化性聚合物(b)的HSP距离R23A为6.5以下,该能量射线固化性成分(a0)与该树脂成分(X)的HSP距离R13A为2.2以上。

    切割片
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110211912A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201910444689.X

    申请日:2015-05-18

    Abstract: 本发明为一种切割片,所述切割片(1)具备:基材(2)、叠层于基材(2)的第1面侧的粘合剂层(3)和叠层于粘合剂层(3)的与基材(2)相反面侧的剥离片(6),其中,基材(2)的第2面的算术平均粗糙度(Ra1)为0.2μm以上,在将切割片(1)在130℃下加热2小时后,基材(2)的第2面的算术平均粗糙度(Ra2)为0.25μm以下。

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