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公开(公告)号：CN104748846B
公开(公告)日：2018-01-05
申请号：CN201410815568.9
申请日：2014-12-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/0202 , G01J3/0235 , G01J3/027 , G01J3/0272 , G01J3/0289 , G01J3/0291 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32
Abstract: 本发明涉及分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法。分光测量系统具备：拍摄装置(3)，具备拍摄图像的拍摄元件(312)；以及分光模块(2)，具备波长可变干涉滤波器以及安装部(8)，安装部(8)保持波长可变干涉滤波器，并装卸自如地安装于拍摄装置(3)，在向拍摄装置(3)进行安装时，安装部(8)能够将该波长可变干涉滤波器配置于向拍摄元件(312)入射的入射光的光路上。
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公开(公告)号：CN105334561A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201510783816.0
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
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公开(公告)号：CN105022160A
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201510487456.X
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与第一基板相对配置的第二基板；配置在第一、第二基板之间的第一反射镜；配置在第一反射镜和第二基板之间的第二反射镜；配置在第一、第二基板之间的第一电极；以及配置在第一电极和第二基板之间的第二电极，其中，第一基板具有与第二基板相对配置的第一电极面、与第一电极面交叉配置的第一面和第二面、与第二面交叉并朝向第一基板的外周配置的第三面，第二基板具有与第一电极面相对配置的第二电极面，第一电极配置在第一、第二电极面之间，并覆盖第二面的至少一部分和第三面的至少一部分，第二电极在第一、第二电极面之间与第一电极通过接触而电连接。
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公开(公告)号：CN102221744B
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201110098336.2
申请日：2011-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供了一种滤光器元件、滤光器模块及分析设备。该滤光器元件具有设置在第一基板上的第一电极、设置在第二基板上并与上述第一基板相对的第二电极、与上述第一电极连接的一对第一引出电极以及设置在上述第二基板上并与上述第二电极连接的一对第二引出电极。
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公开(公告)号：CN104516100A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410488590.7
申请日：2014-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , B81B7/008 , B81B2207/03 , H02N1/006
Abstract: 本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备：各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15)，电压控制部(15)具备：数字控制器(17)，其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2)；第一DAC(181)，其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1)；以及第二DAC(182)，其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103969728A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410043550.1
申请日：2014-01-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B6/29358 , G02B26/0841
Abstract: 本发明提供具有高分辨率的光学模块、电子设备以及分光照相机。其中，光学模块（10）具备：固定反射膜（541），可动反射膜（542），具有在俯视观察中通过施加电压可分别独立驱动的多个部分驱动部的第一驱动单元，使固定反射膜（541）与可动反射膜（542）之间的间隙尺寸变化的第二驱动单元，以及向部分驱动部施加第一驱动电压、向上述第二驱动单元施加第二驱动电压的电压控制部（15），电压控制部（15）施加根据改变间隙尺寸时的固定反射膜（541）和可动反射膜（542）的平行度、按每个部分驱动部设定的第一驱动电压。
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公开(公告)号：CN103376545A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310129984.9
申请日：2013-04-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 佐野朗
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供了一种波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备，该波长可变干涉滤波器具备：设置有固定反射膜的固定基板、设置有可动反射膜的可动基板、第一静电致动器以及能与第一静电致动器独立驱动的第二静电致动器，其中，构成第一静电致动器的两个第一部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置，构成第二静电致动器的两个第二部分致动器在俯视时分别具有相同的形状，且相对于滤波器中心点等角度间隔且相同距离地配置。
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公开(公告)号：CN103116208A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201210359300.X
申请日：2012-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G02B26/001
Abstract: 本发明公开了一种滤光器装置、光模块以及电子设备，该滤光器装置具备：波长可变干涉滤波器，具有固定基板、可动基板、固定反射膜以及可动反射膜；以及框体，在内部收容波长可变干涉滤波器。框体具备：底部基板；盖板，与该底部基板接合，在与该底部基板之间形成内部空间；以及盖板侧玻璃基板，闭塞设在盖板上的光通过孔。而且，盖板侧玻璃基板的基板端缘位于光通过孔的外周边缘之外，从光通过孔的外周边缘到基板端缘的区域与盖板接合。
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公开(公告)号：CN102645741A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210034461.1
申请日：2012-02-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G01J3/51 , G01N21/25 , H01L27/14621
Abstract: 提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。
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公开(公告)号：CN102608689A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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