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公开(公告)号:CN102902059B
公开(公告)日:2017-04-12
申请号:CN201210251682.4
申请日:2012-07-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J3/0291 , G01J3/0208 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G01J3/32 , G01J3/44 , G01J3/51 , G02B5/284 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、滤光器模块以及光分析装置。该波长可变干涉滤波器具备:固定基板;可动基板,与固定基板相对;第一反射膜,形成于固定基板的与可动基板相对的面;第二反射膜,设置于可动基板,并与第一反射膜有间隙地对置;第一电极,设置于固定基板的与可动基板相对的面;第二电极,设置于可动基板,并与第一电极相对;接合部,设置于固定基板和可动基板互相对置的面,接合固定基板与可动基板;以及槽部,设置于固定基板和可动基板彼此相对的面中的至少一个面,其中,形成第一反射膜与第二反射膜之间的间隙的空间与外部经由槽部连通。
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公开(公告)号:CN105323443A
公开(公告)日:2016-02-10
申请号:CN201510463692.8
申请日:2015-07-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
Abstract: 本发明提供了能取得高精度的分光图像的分光图像取得装置以及受光波长取得方法。分光照相机(1)具备:波长可变干涉滤波器(5);摄像部(133),具有二维阵列结构的多个受光元件(133A);以及波长取得部,通过摄像部(133)接收到参照光时,基于从各受光元件(133A)输出的信号值,取得各受光元件(133A)中的受光中心波长。参照光在规定波段中的各波长成分的光量在面内均等,通过受光元件(133A)接收各波长成分的光时的信号值在每个波长成分不同。
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公开(公告)号:CN103969727A
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201410042294.4
申请日:2014-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/027 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G01N21/35 , G01N21/658 , G01N2021/3144
Abstract: 本发明涉及光学模块以及电子设备。其中,光学模块具有固定基板(51)、可动基板(52)、设在固定基板(51)的固定反射膜(54)、设在可动基板(52)并与固定反射膜(54)相对的可动反射膜(55)、在滤波器俯视观察中设在固定反射膜(54)的外侧的第一控制电极(571)、在滤波器俯视观察中设在可动反射膜(55)的外侧且与第一控制电极(571)相对的第二控制电极(572)、以及使第一控制电流流过第一控制电极(571)、使在滤波器俯视观察中与第一控制电流方向相反的第二控制电流流过第二控制电极(572)的倾斜控制部。
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公开(公告)号:CN103217732A
公开(公告)日:2013-07-24
申请号:CN201310012209.5
申请日:2013-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/284 , G01J1/0488 , G02B5/0808 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括:隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括:Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜,其中,按原子数计,Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1%以上0.5%以下的Sm,含有0.1%以上0.5%以下的Cu,且Sm以及Cu的合计为1.0%以下,Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1%以上3.0%以下的Bi,含有0.1%以上5.0%以下的Nd,上述Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
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公开(公告)号:CN102540311A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110406763.2
申请日:2011-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置。该可变波长干涉滤波器具备:第一电极,其设在第一基板上;第二电极,其设在具有可动部的第二基板上,并与第一电极对置;第一电极线,其被设置成从第一电极向第一基板的外周边缘延伸出;第二电极线,其被设置成从第二电极向第二基板的外周边缘延伸出;第一对置电极线,其被设置成与第一电极线相对且与第二电极绝缘;以及第一导通部,其导通第一电极线和第一对置电极线,其中,第二电极线和第一对置电极线在从第二基板的厚度方向看的俯视图中,被形成为沿通过以可动部的中心点为中心的假想圆的中心点、并以等角度间隔分割假想圆的方向延伸出。
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公开(公告)号:CN108955877B
公开(公告)日:2021-02-09
申请号:CN201810768082.2
申请日:2013-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01J3/02 , G01J3/06 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/28 , G01J3/32 , G01J3/42 , G01J3/50 , G02B26/00
Abstract: 本发明提供了驱动方法以及分光测定方法,该驱动方法用于驱动波长可变滤波器,所述驱动方法包括:向致动器施加与作为m+1次光的第一测定光的波长对应的第一电压,m是自然数;获取所述第一测定光的光量;在获取到所述第一测定光的光量后,向所述致动器施加与作为m次光的第二测定光的波长对应的第二电压;以及获取所述第二测定光的光量,所述第一电压小于所述第二电压。
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公开(公告)号:CN105323443B
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:CN201510463692.8
申请日:2015-07-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
Abstract: 本发明提供了能取得高精度的分光图像的分光图像取得装置以及受光波长取得方法。分光照相机(1)具备:波长可变干涉滤波器(5);摄像部(133),具有二维阵列结构的多个受光元件(133A);以及波长取得部,通过摄像部(133)接收到参照光时,基于从各受光元件(133A)输出的信号值,取得各受光元件(133A)中的受光中心波长。参照光在规定波段中的各波长成分的光量在面内均等,通过受光元件(133A)接收各波长成分的光时的信号值在每个波长成分不同。
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公开(公告)号:CN103969727B
公开(公告)日:2018-03-09
申请号:CN201410042294.4
申请日:2014-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/027 , G01J3/26 , G01J3/51 , G01N21/31 , G01N21/35 , G01N21/658 , G01N2021/3144
Abstract: 本发明涉及光学模块以及电子设备。其中,光学模块具有固定基板(51)、可动基板(52)、设在固定基板(51)的固定反射膜(54)、设在可动基板(52)并与固定反射膜(54)相对的可动反射膜(55)、在滤波器俯视观察中设在固定反射膜(54)的外侧的第一控制电极(571)、在滤波器俯视观察中设在可动反射膜(55)的外侧且与第一控制电极(571)相对的第二控制电极(572)、以及使第一控制电流流过第一控制电极(571)、使在滤波器俯视观察中与第一控制电流方向相反的第二控制电流流过第二控制电极(572)的倾斜控制部。
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公开(公告)号:CN102193186B
公开(公告)日:2016-03-16
申请号:CN201110064935.2
申请日:2011-03-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 松下友纪
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B6/29346 , G02B6/29395
Abstract: 本发明涉及滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备。该滤光器具有对置的第1反射膜和第2反射膜、第1电极、第2电极、第3电极、第4电极、电位差控制部,第1电极和第3电极隔开第1距离地对置,第2电极和第4电极隔开与第1距离不同的第2距离地对置,通过电位差控制部使第1电极和第3电极之间产生电位差来使第1电极和第3电极抵接,使第2电极和第4电极之间产生电位差来使第2电极和上述第4电极抵接,从而能够高精度地控制第1反射膜和第2反射膜之间的间隙。
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公开(公告)号:CN102540311B
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201110406763.2
申请日:2011-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置。该可变波长干涉滤波器具备:第一电极,其设在第一基板上;第二电极,其设在具有可动部的第二基板上,并与第一电极对置;第一电极线,其被设置成从第一电极向第一基板的外周边缘延伸出;第二电极线,其被设置成从第二电极向第二基板的外周边缘延伸出;第一对置电极线,其被设置成与第一电极线相对且与第二电极绝缘;以及第一导通部,其导通第一电极线和第一对置电极线,其中,第二电极线和第一对置电极线在从第二基板的厚度方向看的俯视图中,被形成为沿通过以可动部的中心点为中心的假想圆的中心点、并以等角度间隔分割假想圆的方向延伸出。
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