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公开(公告)号:KR1020170005253A
公开(公告)日:2017-01-12
申请号:KR1020150094352
申请日:2015-07-01
Applicant: 고려대학교 산학협력단
IPC: H01L51/00 , H01L21/02 , H01L21/314
Abstract: 본발명은플렉시블가스배리어막의제조방법및 이에의하여제조된플레시블가스배리어막에관한것이다. 본발명은, 기판의표면을개질하여음전하를띠도록하는제1 단계, 기판을양전하띠는제1 용액에침지하는제2 단계및 기판을음전하띠는제2 용액에침지하는제3 단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면외부로부터유입되는산소와수분등을효과적으로차단할수 있고, 대면적공정적용이가능하고, 친환경적이며, 양산적용에용이하여경제적인효과를얻을수 있는가스배리어막을구현할수 있다.