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公开(公告)号：KR101751271B1
公开(公告)日：2017-06-29
申请号：KR1020150084785
申请日：2015-06-16
Applicant: 광주과학기술원
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/186 , C23C16/01 , C23C16/0209 , C23C16/0281 , C23C28/322 , C23C28/343 , C25D5/50 , C30B23/066 , C30B25/18 , C30B29/02 , H01L21/02491 , H01L21/02527 , H01L21/0262
Abstract: 다층그래핀의제조방법이제공된다. 구체적으로, 기판상에촉매금속층을형성하는단계, 상기촉매금속층상에메탄가스를공급하며열처리하는단계및 상기열처리된촉매금속층상에다층그래핀을합성하는단계를수행하여다층그래핀을제조할수 있다. 상기와같이, 본발명은그래핀합성단계이전에메탄가스를이용하여촉매금속층을열처리함으로써대면적의다층그래핀을기판상에직접성장시킬수 있다. 또한, 종래의단층그래핀의합성및 전사공정을통한다층그래핀제조방법에비해제조공정의간소화및 제조비용절감을실현할수 있다. 아울러, 그래핀합성시간을조절하여그래핀의층수를제어할수 있어, 원하는층수를가진다층그래핀을용이하게제조할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170044529A
公开(公告)日：2017-04-25
申请号：KR1020150144332
申请日：2015-10-15
IPC: G01N27/407 , G01N27/12 , C01B31/04 , G01N33/00 , C08L71/02 , C08L101/00 , H01L29/16
Abstract: 본발명은 n-타입도핑고분자및 흡습성고분자를포함하는코팅층을포함하는이산화탄소감지용그래핀소자에관한것이다. 또한, 본발명은상기이산화탄소감지용그래핀소자의제조방법및 상기그래핀소자를포함하는이산화탄소감지센서에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测二氧化碳的，包括含n型掺杂的聚合物的涂层和吸湿聚合物石墨烯器件。 本发明还涉及包含的制造方法和用于检测二氧化碳的石墨烯器件的石墨烯器件二氧化碳传感器。
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公开(公告)号：KR101641255B1
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：KR1020140131871
申请日：2014-09-30
IPC: C01B31/04
Abstract: 본발명은화학반응을통해리튬이도핑된그래핀을제조하기위한조성물및 이를이용하여리튬이도핑된그래핀을합성하는방법에관한것이다. 이에, 리튬이도핑된그래핀을합성하는시간을크게단축할수 있으며, 화재와폭발의위험을제거할수 있다. 부수적으로화학적으로리튬이도핑된그래핀용액을제조함으로써다양한응용을기대할수 있다.
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公开(公告)号：KR101795783B1
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020160072067
申请日：2016-06-10
Applicant: 광주과학기술원
IPC: H01L21/768 , H01L21/285 , H01L21/324
CPC classification number: H01L21/76864 , H01L21/76843 , H01L21/76879 , H01L23/5226 , H01L23/53209 , H01L23/53276 , H01L21/76847 , H01L21/28556 , H01L21/324 , H01L21/76834 , H01L21/76876 , H01L21/76883 , H01L29/1606
Abstract: 본발명은금속-그래핀이종접합금속배선, 이의형성방법및 이를포함하는반도체소자에관한것으로 (A) 기판의상면에탄소소스를증착하여탄소소스층을형성하는단계; (B) 상기탄소소스층위에금속촉매를증착하여금속촉매층을형성하는단계; 및 (C) 상기탄소소스층및 금속촉매층을포함하는기판을열처리하는단계;를포함함으로써, 층수에무관하게단 1회의열처리만으로그래핀을형성할수 있으므로금속배선의제조시간및 제조비용이감소하며열처리에의한금속배선의손상이발생하지않는다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020160148165A
公开(公告)日：2016-12-26
申请号：KR1020150084785
申请日：2015-06-16
Applicant: 광주과학기술원
CPC classification number: C23C16/26 , C01B32/186 , C23C16/01 , C23C16/0209 , C23C16/0281 , C23C28/322 , C23C28/343 , C25D5/50 , C30B23/066 , C30B25/18 , C30B29/02 , H01L21/02491 , H01L21/02527 , H01L21/0262
Abstract: 다층그래핀의제조방법이제공된다. 구체적으로, 기판상에촉매금속층을형성하는단계, 상기촉매금속층상에메탄가스를공급하며열처리하는단계및 상기열처리된촉매금속층상에다층그래핀을합성하는단계를수행하여다층그래핀을제조할수 있다. 상기와같이, 본발명은그래핀합성단계이전에메탄가스를이용하여촉매금속층을열처리함으로써대면적의다층그래핀을기판상에직접성장시킬수 있다. 또한, 종래의단층그래핀의합성및 전사공정을통한다층그래핀제조방법에비해제조공정의간소화및 제조비용절감을실현할수 있다. 아울러, 그래핀합성시간을조절하여그래핀의층수를제어할수 있어, 원하는층수를가진다층그래핀을용이하게제조할수 있다.
Abstract translation: 提供了一种合成多层石墨烯的方法。 具体地说，多层石墨烯可以通过在基板上形成催化金属层的步骤，在提供甲烷气体的同时对基板上的催化金属层进行热处理的步骤，以及将合成多层石墨烯的步骤 热处理催化金属层。 如上所述，在合成石墨烯的步骤之前，可以通过使用甲烷气体对催化金属层进行热处理，直接在基板上生长具有大面积的多层石墨烯。 此外，由于可以通过改变多层石墨烯的合成时间来控制多层石墨烯的层数，所以可以容易地制备具有所需层数的多层石墨烯。
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公开(公告)号：KR101626776B1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140149013
申请日：2014-10-30
Applicant: 광주과학기술원
IPC: C01B31/04
Abstract: 금속촉매층이형성된기판및 액상의벤젠을포함하는카본소스를준비하는단계; 상기카본소스에캐리어가스및 희석가스중 1종이상을주입하여상기금속촉매층에카본소스를공급하는단계; 및상기금속촉매층에수소를추가로공급한후 1차열처리하여그래핀을 1차성장시키는단계를포함하는, 벤젠을이용한그래핀의합성방법이제공된다. 본발명에따르면, 저온공정을통해기판의열적손상없이대면적·고품질의그래핀을합성할수 있으며, 그래핀을실제배선구조에응용하여구리배선의미세화로인한한계점을극복하고, 배선물질및 구조에손상없이그래핀을선택적으로직접합성할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150128524A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：KR1020140149013
申请日：2014-10-30
Applicant: 광주과학기술원
IPC: C01B31/04
CPC classification number: C01B32/184 , C01B32/186
Abstract: 금속촉매층이형성된기판및 액상의벤젠을포함하는카본소스를준비하는단계; 상기카본소스에캐리어가스및 희석가스중 1종이상을주입하여상기금속촉매층에카본소스를공급하는단계; 및상기금속촉매층에수소를추가로공급한후 1차열처리하여그래핀을 1차성장시키는단계를포함하는, 벤젠을이용한그래핀의합성방법이제공된다. 본발명에따르면, 저온공정을통해기판의열적손상없이대면적·고품질의그래핀을합성할수 있으며, 그래핀을실제배선구조에응용하여구리배선의미세화로인한한계점을극복하고, 배선물질및 구조에손상없이그래핀을선택적으로직접합성할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种使用苯合成石墨烯的方法，该方法包括以下步骤：制备其上形成有金属催化剂层的基材和含有液相的苯的碳源; 将来自载气和稀释气体的至少一种注入碳源，然后将碳源供给到金属催化剂层; 并且首先通过在向金属催化剂层另外供给氢之后进行第一热处理而生长石墨烯。 根据本发明，可以通过低温工艺合成具有大面积和高质量的石墨烯，而不会对基材造成热损伤; 通过将石墨烯应用于实际的布线结构可以克服由细铜布线导致的限制; 并且石墨烯可以选择性地和直接地合成而不损坏材料和布线的结构。
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公开(公告)号：KR102071663B1
公开(公告)日：2020-01-30
申请号：KR1020180069031
申请日：2018-06-15
Applicant: 광주과학기술원
IPC: C01B32/186 , H01L21/027 , H01L21/324
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20.发明授权저온 소결 염료감응 태양전지 광전극용 이산화티타늄 페이스트의 제조방법, 이에 의해 제조된 이산화티타늄 페이스트, 및 이를 이용하는 염료감응 태양전지 광전극의 제조방법 有权低温共烧二氧化钛糊的光学电极的染料敏化太阳能电池的制造方法，因此二氧化钛糊剂，以及用于制造使用由产生的相同的光的染料敏化太阳能电池用电极的方法
公开(公告)号：KR101787529B1
公开(公告)日：2017-10-18
申请号：KR1020140148339
申请日：2014-10-29
Applicant: 광주과학기술원
IPC: C01G23/053 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/542
Abstract: 염료감응태양전지광전극용이산화티타늄페이스트의제조방법을제공할수 있다. 상세하게는, 산성용액, 용매, 및이산화티타늄전구체를수열합성시켜이산화티타늄콜로이드용액을형성하는단계, 상기이산화티타늄콜로이드용액을초음파로분산시켜이산화티타늄슬러리로농축시키는단계, 및상기이산화티타늄슬러리에암모니아수용액을첨가하여이산화티타늄페이스트를형성하는단계를포함하며, 상기암모니아수용액은상기이산화티타늄슬러리를기준으로 0.015중량부내지 0.020중량부를첨가하는것을특징으로하는염료감응태양전지광전극용이산화티타늄페이스트의제조방법을제공할수 있다. 이에, 본발명의염료감응태양전지광전극용이산화티타늄페이스트는바인더없이고점도의특성을가질수 있어, 원하는두께의광전극박막층을형성할수 있다. 또한, 본발명의염료감응태양전지광전극용이산화티타늄페이스트는저온(150℃이하)에서도소결이가능하여유연성기판에도용이하게형성할수 있다.
Abstract translation: 染料敏化太阳能电池可以容易地提供制造用于光电极的氧化钛浆料的方法。 具体地，酸溶液中的溶剂，和二氧化钛前体进行水热合成，随后分散，以形成二氧化钛胶体溶液，与在步骤超声二氧化钛胶体溶液，并且将其浓缩到二氧化钛浆液中的二氧化钛浆液 包含氨的水溶液的步骤中加入，以形成二氧化钛糊剂，氨水溶液是染料敏化太阳能电池的光电极容易氧化钛糊还包括通过相对于重量增加至0.020份0.015份份的二氧化钛浆液的工序 可以提供。 因此，本发明的染料敏化太阳能电池的光电极容易氧化钛浆料具有高粘度的这样的特性，不用粘合剂，它可以在一个所需厚度的光电极薄膜层来形成。 此外，染料敏化太阳能电池的本发明的光电极容易氧化钛糊料，并且可以甚至在低温（低于150℃）可以在柔性衬底能够容易地形成被烧结。
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