公开(公告)号：KR100610081B1

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：KR1020040039973

申请日：2004-06-02

Applicant: 기아자동차주식회사

Inventor： 심재훈

IPC: G01P15/02

Abstract: 본 발명은 차량의 주행중 선회시 가속도 측정 향상을 위한 트랜스듀서 구조로서, 그 구조는
차체에 고정 장착되며, 사다리꼴 형상으로 오목한 형상의 전극편이 다수 형성된 제1,2 고정전극;
상기 제1,2 고정전극 사이에 위치하며, 상기 제1,2 고정전극의 전극편에 대응되게 사다리꼴 형상으로 볼록한 형상의 전극편이 다수 형성되어 차량의 주행상태에 따라 변위를 일으키는 이동전극;
상기 이동전극의 변위를 지지하기 위해 이동전극의 양측단부에 각각 장착되는 제1,2 탄성체; 및
상기 제1,2 탄성체를 지지하기 위해 차체에 고정 장착되는 제1,2 고정부로 구성되는 것을 특징으로 한다.
가속도, 트랜스듀서, 전극, 가속도계

公开(公告)号：KR1020050027363A

公开(公告)日：2005-03-21

申请号：KR1020030063604

申请日：2003-09-15

Applicant: 기아자동차주식회사

Inventor： 심재훈

IPC: G01N27/00

Abstract: A resonant sensor for diagnosing a working fluid is provided to ensure a travelling stability by continuously checking and confirming a state of a working fluid through accurate information, such as deterioration or dilution of the working fluid of an automobile. A resonant sensor for diagnosing a working fluid includes a silicon substrate(10). A lower electrode(20) having a plurality of strings is positioned at an upper surface of the silicon substrate(10). A bottom space(11) is formed at a bottom of the silicon substrate(10) by taking influence of a squeeze film effect for a high Q-factor into consideration. A plurality of lower electrodes(20) are installed while spaces(21) are maintaining a predetermined distance from each other. A micro mechanical electrical structure is positioned at an upper surface of the silicon substrate(10) in order to sense variation according to deterioration of a working fluid.

Abstract translation: 提供用于诊断工作流体的谐振传感器，以通过诸如汽车的工作流体的劣化或稀释之类的准确信息连续地检查和确认工作流体的状态来确保行驶稳定性。 用于诊断工作流体的谐振传感器包括硅衬底（10）。 具有多个串的下电极（20）位于硅衬底（10）的上表面。 通过考虑到高Q因子的挤压膜效应的影响，在硅衬底（10）的底部形成底部空间（11）。 安装多个下电极（20），同时空间（21）彼此保持预定的距离。 微机电结构位于硅衬底（10）的上表面，以便根据工作流体的劣化感测变化。